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畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實(shí)填寫） 第10周
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運(yùn)用知識(shí)、方案設(shè)計(jì)、論文寫作、外文應(yīng)用、實(shí)驗(yàn)、指出存在問題及解決辦法等簡況）
本次是共性的要求：
1、將零件圖全部掃尾，轉(zhuǎn)入下一部工作；
2、按每個(gè)人任務(wù)書要求，進(jìn)入設(shè)計(jì)說明書或者論文的寫作；
3、注意查閱所提供的各類文獻(xiàn)資料以及老師提供的參考書；
4、工藝方案分析比較要細(xì)，然后確定所需磨具的結(jié)構(gòu)，這是本次設(shè)計(jì)的關(guān)鍵；
5、時(shí)間要求：5月20日前后初步提交老師初審。
指導(dǎo)教師簽名： 20**年4月25日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
在說明書編寫過程中將隨時(shí)上網(wǎng)交流，請教老師。
學(xué)生簽名： 20**年4月26日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實(shí)填寫） 第11周
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運(yùn)用知識(shí)、方案設(shè)計(jì)、論文寫作、外文應(yīng)用、實(shí)驗(yàn)、指出存在問題及解決辦法等簡況）
1、布置學(xué)生按規(guī)定的格式編寫論文，注意重點(diǎn)及論文的要求。
指導(dǎo)教師簽名： 20**年5月5日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、隨時(shí)與指導(dǎo)老師在網(wǎng)上交流。
2、多查閱文獻(xiàn)。
學(xué)生簽名： 20**年5月6日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實(shí)填寫） 第12周
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運(yùn)用知識(shí)、方案設(shè)計(jì)、論文寫作、外文應(yīng)用、實(shí)驗(yàn)、指出存在問題及解決辦法等簡況）
1、重點(diǎn)指導(dǎo)校核及計(jì)算。
指導(dǎo)教師簽名： 20**年5月9日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、我先復(fù)習(xí)所學(xué)過的有關(guān)課程。
2、要寫的內(nèi)容很多。
3、計(jì)算量較大。
學(xué)生簽名： 20**年5月9日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實(shí)填寫） 第13周
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運(yùn)用知識(shí)、方案設(shè)計(jì)、論文寫作、外文應(yīng)用、實(shí)驗(yàn)、指出存在問題及解決辦法等簡況）
1、繪制一張手工零件圖。
指導(dǎo)教師簽名： 20**年5月16日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、根據(jù)指導(dǎo)老師要求，手工繪制一張A3圖紙。
學(xué)生簽名： 20**年5月16日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實(shí)填寫） 第14周
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運(yùn)用知識(shí)、方案設(shè)計(jì)、論文寫作、外文應(yīng)用、實(shí)驗(yàn)、指出存在問題及解決辦法等簡況）
1、零件圖中少線條；
指導(dǎo)教師簽名： 20**年5月23日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、檢查零件圖中錯(cuò)誤；
2、將零件圖中缺少的線條補(bǔ)全。
學(xué)生簽名： 20**年5月23日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實(shí)填寫） 第15 周
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運(yùn)用知識(shí)、方案設(shè)計(jì)、論文寫作、外文應(yīng)用、實(shí)驗(yàn)、指出存在問題及解決辦法等簡況）
1、修改格式及字體；
2、檢查自己的任務(wù)是否完成；
3、熟悉圖紙和論文內(nèi)容；
4、準(zhǔn)備答辯
指導(dǎo)教師簽名： 20** 年5月30日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
先熟悉圖紙，再熟悉文章，仔細(xì)檢查再把大概熟悉一下。
學(xué)生簽名： 20**年5月30日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實(shí)填寫）
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運(yùn)用知識(shí)、方案設(shè)計(jì)、論文寫作、外文應(yīng)用、實(shí)驗(yàn)、指出存在問題及解決辦法等簡況）
1、交外文翻譯（與專業(yè)相關(guān)的外文資料）漢字3000左右（含譯文與原文）
2、公布本次畢業(yè)設(shè)計(jì)有關(guān)題目，選題。
3、題目：全自動(dòng)真空包裝機(jī)設(shè)計(jì)。
3、擬開題報(bào)告初稿。
指導(dǎo)教師簽名： 20** 年2月22日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、按照要求交外文翻譯漢字3000左右；
2、搜索并初步了解全自動(dòng)真空包裝機(jī)設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)組織；
3、根據(jù)課題，擬定開題報(bào)告初稿。
學(xué)生簽名： 年 月 日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實(shí)填寫）
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運(yùn)用知識(shí)、方案設(shè)計(jì)、論文寫作、外文應(yīng)用、實(shí)驗(yàn)、指出存在問題及解決辦法等簡況）
1、開題報(bào)告格式按照有關(guān)規(guī)定進(jìn)行調(diào)整。
2、下達(dá)畢業(yè)設(shè)計(jì)任務(wù)書。
3、初步檢查開題報(bào)告編寫進(jìn)度。
指導(dǎo)教師簽名： 20**年 2 月 29日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、 按照規(guī)定對開題報(bào)告格式進(jìn)行調(diào)整；
2、 仔細(xì)閱讀畢業(yè)設(shè)計(jì)任務(wù)；
3、 初步完成開題報(bào)告。
4、
學(xué)生簽名： 年 月 日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實(shí)填寫）
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運(yùn)用知識(shí)、方案設(shè)計(jì)、論文寫作、外文應(yīng)用、實(shí)驗(yàn)、指出存在問題及解決辦法等簡況）
1、本次采用的方式：網(wǎng)上指導(dǎo)。
2、譯文格式，字體、段落要重新處理一下。
3、開題報(bào)告內(nèi)容的大框架還可以，有的地方需細(xì)化。
指導(dǎo)教師簽名： 20**年3 月7 日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、按照要求將外文翻譯的格式，字體、段落要重新處理一下；
2、開題報(bào)告的細(xì)節(jié)進(jìn)行修改。
學(xué)生簽名： 年 月 日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實(shí)填寫）
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運(yùn)用知識(shí)、方案設(shè)計(jì)、論文寫作、外文應(yīng)用、實(shí)驗(yàn)、指出存在問題及解決辦法等簡況）
本次現(xiàn)場統(tǒng)一布置和講解：
1、主要講解每位所設(shè)計(jì)的題目，如何開始進(jìn)行設(shè)計(jì)和構(gòu)思。
2、統(tǒng)一設(shè)計(jì)時(shí)使用的圖紙標(biāo)題欄要求。
3、設(shè)計(jì)時(shí)使用CAD軟件繪圖，除cad繪圖外必須有手工繪制的一張3號(hào)裝配圖。
指導(dǎo)教師簽名： 20**年3月14日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、聽從老師對設(shè)計(jì)題目的講解，對全自動(dòng)真空包裝機(jī)有個(gè)初步的構(gòu)思。
2、對設(shè)計(jì)時(shí)使用的圖紙標(biāo)題欄的統(tǒng)一要求進(jìn)行了解。
3、聽從老師安排，知道設(shè)計(jì)的任務(wù)量。
學(xué)生簽名： 年 月 日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實(shí)填寫）
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運(yùn)用知識(shí)、方案設(shè)計(jì)、論文寫作、外文應(yīng)用、實(shí)驗(yàn)、指出存在問題及解決辦法等簡況）
1、查閱資料，參考同類產(chǎn)品的基礎(chǔ)上構(gòu)思自己所設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)。
1）傳動(dòng)方案的選擇，保證傳動(dòng)的穩(wěn)定性及正確性。
2）在基本參數(shù)和受力分析的條件下，確定各軸的基本尺寸。
3）確真空包裝機(jī)機(jī)構(gòu)中電機(jī)、軸承、鍵型號(hào)。
4）軸承類型的選擇。
2、去圖書館查閱相關(guān)資料，啟發(fā)設(shè)計(jì)思路。
3、認(rèn)真閱讀所提供參考書的相關(guān)章節(jié)，了解真空包裝機(jī)原理。
指導(dǎo)教師簽名： 20** 年3 月 21 日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、查閱相關(guān)資料，參考同類產(chǎn)品，構(gòu)思自己的設(shè)計(jì)，對傳動(dòng)方案進(jìn)行選擇，確定各軸尺寸，真空包裝機(jī)機(jī)構(gòu)中電機(jī)、軸承、鍵型號(hào)，以及軸承類型選擇。
2、在圖書館查閱資料，了解設(shè)計(jì)的基本思路。
3、閱讀相關(guān)參考書，了解真空包裝機(jī)的基本工作原理。
學(xué)生簽名： 年 月 日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實(shí)填寫）
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運(yùn)用知識(shí)、方案設(shè)計(jì)、論文寫作、外文應(yīng)用、實(shí)驗(yàn)、指出存在問題及解決辦法等簡況）
該生因工作缺席指導(dǎo)。
指導(dǎo)教師簽名： 20** 年3 月28 日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、根據(jù)上周查閱的相關(guān)資料，對總裝圖進(jìn)行大體的繪制；
2、對圖紙進(jìn)行簡單的標(biāo)注。
學(xué)生簽名： 年 月 日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實(shí)填寫）
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運(yùn)用知識(shí)、方案設(shè)計(jì)、論文寫作、外文應(yīng)用、實(shí)驗(yàn)、指出存在問題及解決辦法等簡況）
網(wǎng)上指導(dǎo)：
1、總裝圖總體布置合理，視圖選擇正確，表達(dá)方法正確，投影規(guī)律正確，但一些細(xì)節(jié)結(jié)構(gòu)表達(dá)有問題或未表達(dá)。
2、標(biāo)注上有一些問題。
3、貫徹國標(biāo)要加強(qiáng)。
指導(dǎo)教師簽名： 20**年4月4 日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、在一些細(xì)節(jié)結(jié)構(gòu)的表達(dá)進(jìn)行修改。
2、對標(biāo)注上出現(xiàn)的小問題進(jìn)行修正。
3、深入了解貫徹國標(biāo)。
學(xué)生簽名： 年 月 日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實(shí)填寫）
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運(yùn)用知識(shí)、方案設(shè)計(jì)、論文寫作、外文應(yīng)用、實(shí)驗(yàn)、指出存在問題及解決辦法等簡況）
本周集中指導(dǎo)，主要講解共性的問題。
1、從整體情況看圖紙?jiān)O(shè)計(jì)進(jìn)度基本一致，但大部分同學(xué)零件圖設(shè)計(jì)方面還有少量尺寸遺漏，粗糙度標(biāo)的不完善，回去仔細(xì)檢查一下。
2、總裝圖還有尺寸標(biāo)注問題。
3、技術(shù)要求要標(biāo)注清楚。
4、抓緊時(shí)間處理完圖紙問題，接下去著手論文寫作。
指導(dǎo)教師簽名： 20**年4月11日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、 對圖紙上出現(xiàn)的少量尺寸遺漏，粗糙度標(biāo)的不完善進(jìn)一步進(jìn)行完善，檢查仔細(xì)。
2、 對總裝圖的尺寸標(biāo)注問題進(jìn)行修正。
3、 標(biāo)明技術(shù)要求。
4、 處理完圖紙問題，為論文寫作做準(zhǔn)備。
學(xué)生簽名： 年 月 日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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畢業(yè)設(shè)計(jì)（論文）指導(dǎo)情況記錄表
（本表由學(xué)生和指導(dǎo)教師按指導(dǎo)情況分別如實(shí)填寫） 第9周
教師指導(dǎo)意見及指導(dǎo)方式（教師填寫）：（指導(dǎo)學(xué)生開題、查閱文獻(xiàn)資料、綜合運(yùn)用知識(shí)、方案設(shè)計(jì)、論文寫作、外文應(yīng)用、實(shí)驗(yàn)、指出存在問題及解決辦法等簡況）
1、總裝圖一些細(xì)小結(jié)構(gòu)有錯(cuò)誤。
2、標(biāo)準(zhǔn)件應(yīng)采用新標(biāo)準(zhǔn)，用caxa中的標(biāo)準(zhǔn)即可。
指導(dǎo)教師簽名： 20**年 4月 18日
學(xué)生意見（任務(wù)完成情況及需要解決的問題）：
1、修改了錯(cuò)誤；
2、標(biāo)準(zhǔn)件按新標(biāo)準(zhǔn)重新選用。
學(xué)生簽名： 20**年4月18日
注：此頁可根據(jù)需要自行復(fù)制，每指導(dǎo)一次，填寫一次，不受頁數(shù)限制。
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晶圓級(jí)MEMS真空包裝
R. Gooch,a) T. Schimert, W. McCardel, and B. Ritchey
雷聲系統(tǒng)公司，微軟35，達(dá)拉斯，德克薩斯州75243
D. Gilmour and W. Koziarz
空軍研究實(shí)驗(yàn)室/ IFTE，羅馬，紐約13441-4505
(1998年10月12日?1999年4月26日)
真空包裝的高性能紅外（IR）的MEMS非制冷探測器和陣列，慣性MEMS加速度計(jì)和陀螺儀，射頻（RF）MEMS諧振器是一個(gè)技術(shù)發(fā)展道路，以低成本，高容量的MEMS生產(chǎn)中的關(guān)鍵問題。傳送到晶圓廠的晶圓級(jí)真空包裝，包裝操作。它是中性的產(chǎn)品使MEMS商用化的技術(shù)，為家庭，工業(yè)，汽車，環(huán)境監(jiān)測應(yīng)用。 4英寸晶圓級(jí)真空包裝已被證明使用紅外MEMS測輻射熱計(jì)和結(jié)果將在這篇文章中提出。除了晶圓級(jí)封裝，組件級(jí)陶瓷真空包真空包裝的可靠性得到的結(jié)果也將提交。 ?1999美國真空學(xué)會(huì)。[S0734-2101?99！21204-3]
1、 引言
真空包裝的高性能紅外（IR）的MEMS非制冷探測器和陣列，以及慣性MEMS加速度計(jì)和陀螺儀，射頻（RF）MEMS諧振器是在技術(shù)發(fā)展道路的關(guān)鍵問題，以低成本，高容量的MEMS生產(chǎn)。大多數(shù)非致冷探測器技術(shù)采用細(xì)長的熱隔離腿支撐基板薄，熱響應(yīng)暫停膜像素設(shè)計(jì)熱隔離。典型的懸浮膜熱阻的熱隔離衡量ED是，即熱導(dǎo)。這樣的隔熱水平，需要分10毫托真空的真空環(huán)境，消除通過氣導(dǎo)包中的熱損失 。
圖1、組件級(jí)和晶圓級(jí)真空包裝比較方法
在這篇文章中，晶圓級(jí)紅外MEMS非制冷探測器的真空包裝的最新研究成果，提出了一個(gè)組件級(jí)陶瓷真空包裝方法的對比。組件級(jí)和晶圓級(jí)封裝方法的比較示于圖1。組件級(jí)真空包裝過程中涉及到MEMS晶圓切割和安裝在個(gè)別其后密封和測試的陶瓷封裝的MEMS芯片。在waferlevel包裝方法，MEMS模具密封在一個(gè)密封的過程，并隨后在晶圓級(jí)測試。晶圓被切割成個(gè)別真空包裝死于測試完成后。晶圓級(jí)真空包裝方法的主要優(yōu)點(diǎn)是大大降低了成本和相對較高的卷吞吐量組件級(jí)的真空包裝方法。晶圓級(jí)封裝還提供低成本微小型化和系統(tǒng)集成方面的關(guān)鍵優(yōu)勢。
圖2（a）1英寸晶圓級(jí)真空包裝，密封環(huán)結(jié)構(gòu)（b）1及（c）英寸晶圓，4英寸晶圓
結(jié)果晶圓級(jí)真空包裝的a-Si微測陣列。分10毫托真空晶圓級(jí)封裝陣列已被證明。從正在進(jìn)行的密封式晶圓級(jí)封裝測試的結(jié)果表明，迄今沒有退化包真空包7個(gè)月的壽命。一個(gè)4英寸晶圓級(jí)真空包78％的晶圓密封產(chǎn)量的過程中已被證明。
還提出了一個(gè)84針0.7*0.7英寸腔和16針0.2*0.3英寸腔CERDIP封裝陶瓷真空包的可靠性結(jié)果。一個(gè)抗反射涂層的硅或鍺蓋密封陶瓷封裝。分10毫托真空包裝的a-Si微測陣列已被證明。此外，陶瓷真空包裝的微測陣列已受到烘烤的高溫穩(wěn)定性測試，在150°為在空軍研究實(shí)驗(yàn)室，紐約，羅馬，1500?沒有包真空退化。陶瓷真空包裝已使用可靠的a-Si微測陣列封裝熱阻接近輻射限制的包熱隔離 。
圖3、1英寸晶圓級(jí)<10毫托真空的真空包裝
二、晶圓級(jí)真空包裝
晶圓級(jí)真空包裝，低成本，高容量的紅外MEMS慣性MEMS，RF MEMS應(yīng)用正在開發(fā)中。1英寸，4英寸晶圓鋸的零件進(jìn)行了初步發(fā)展。的晶圓級(jí)封裝過程現(xiàn)在已經(jīng)擴(kuò)大到4英寸晶圓。近日，4英寸晶圓級(jí)真空包裝示范使用的a-Si微測陣列晶片已進(jìn)行了密封晶圓產(chǎn)量的78％。
如圖1英寸晶圓級(jí)封裝2（a）。1英寸的一部分，有獨(dú)立包裝的死，硅微測每個(gè)密封環(huán)，見圖6。2（b）一個(gè)1英寸晶圓包含四個(gè)雙通道微測封裝模具和兩個(gè)四通道封裝模具，分別用于在紅外氣體傳感器的應(yīng)用。密封的熱輻射計(jì)腔如圖密封下運(yùn)行使用金屬互連解決。2（b）互連密封圈電絕緣氮化層分離。一個(gè)4英寸微測晶圓顯示密封圈結(jié)構(gòu)如圖2（c）。
晶圓級(jí)真空包裝，結(jié)果表明包真空<10毫托如圖3。為了獲得精確的校準(zhǔn)在晶圓級(jí)真空包裝模具的細(xì)胞壓力，孔鉆在一個(gè)密封包裝和包被放置在一個(gè)真空杜瓦獲得微測信號(hào)與真空壓力校準(zhǔn)曲線顯示在弄清楚。使用曲線，在密封包裝的信號(hào)（54毫伏）對應(yīng)到9毫托密封的真空度 。
圖4。晶圓級(jí)封裝超過7個(gè)月期間的穩(wěn)定
六個(gè)打包的穩(wěn)定真空度測量死在1英寸晶圓級(jí)封裝[圖2（B）]已進(jìn)行了7個(gè)月的期間內(nèi)沒有任何包裝模具的微測信號(hào)的退化。圖所示為真空晶圓級(jí)封裝123號(hào)穩(wěn)定結(jié)果如圖4。在五六個(gè)包模的微測信號(hào)顯示超過7個(gè)月的試驗(yàn)表明，晶圓級(jí)封裝真空并沒有惡化的時(shí)期保持穩(wěn)定。一個(gè)短的開發(fā)在封裝模具1號(hào)之后的第三次測量的數(shù)據(jù)不可用。這些結(jié)果是一個(gè)長期可靠的非致冷探測器真空晶圓級(jí)封裝的第一個(gè)示范。該軟件包將繼續(xù)進(jìn)行監(jiān)測，評(píng)估延長一段時(shí)間的晶圓級(jí)真空包裝的完整性。
晶圓級(jí)封裝過程已擴(kuò)大到4英寸晶圓[圖2（c）條]近4英寸的a-Si輻射熱計(jì)晶圓級(jí)真空包裝示范參展密封產(chǎn)量的78％，整個(gè)功能模晶圓。密封4英寸晶圓鋸的個(gè)別模具，如圖9以下討論三 。
圖5。84引腳陶瓷封裝（a）顯示安裝陣列（二）密封
3、 用于組件級(jí)陶瓷真空包裝的可靠性研究
圖6。 84引腳陶瓷封裝結(jié)果
在本節(jié)中，將真空包裝的穩(wěn)定性和可靠性都高，高溫烘烤穩(wěn)定和組件級(jí)陶瓷封裝長期的真空穩(wěn)定性試驗(yàn)獲得的研究。 84針陶瓷真空包裝，為大面積的MEMS開發(fā)，如圖5。如圖0.7開放84針氧化鋁陶瓷封裝*0.7英寸腔面積。 5（a）與兩個(gè)256*78A硅微測陣列安裝在腔。如圖焊接密封抗反射（AR）涂層鍺窗口（8-12微米的光譜帶通）包5（b）。 GE窗口，因?yàn)樗?-12微米波段的透明度。此外，低的熱膨脹系數(shù)（CTE）不匹配之間的氧化鋁陶瓷封裝()和GE窗口(~)是產(chǎn)量高，質(zhì)量可靠焊接密封使用這種大包的過程中的一個(gè)關(guān)鍵要求。
真空包裝在一個(gè)密封的84引腳封裝，得到的結(jié)果如圖6。至于與晶圓級(jí)封裝，真空校準(zhǔn)進(jìn)行封裝后密封，在密封包裝的蓋子上鉆一個(gè)孔，并放置在真空杜瓦包，獲得了微測信號(hào)與真空度的校準(zhǔn)曲線測試。大面積的84引腳陶瓷真空包裝后密封與真空度的微測信號(hào)校準(zhǔn)曲線如圖6。在這種情況下的密封包裝測輻射熱計(jì)的信號(hào)水平是101毫伏。從圖中的校準(zhǔn)曲線，這相當(dāng)于3毫托的真空密封包裝。
圖7。150℃烘烤84引腳陶瓷封裝的穩(wěn)定結(jié)果
兩個(gè)84引腳的陶瓷真空包裝，含雙256* 78陣列都受到高溫烘烤穩(wěn)定性測試，在空軍研究實(shí)驗(yàn)室，紐約，羅馬。在測試中，593和595包，以150℃烤1500?。結(jié)果，如圖所示。7，顯示為兩個(gè)通道，在每包（-6，-8）的輻射熱計(jì)的信號(hào)水平。該軟件包進(jìn)行了測試后共100小時(shí)，在150°C烘烤和復(fù)檢后，共有350個(gè)，1000和1500?，分別在150°?烤。 100小時(shí)后，在這兩個(gè)探測器的渠道表現(xiàn)出輻射熱計(jì)信號(hào)略有增加。?1500年之后，這兩個(gè)包中的探測器通道593基本保持不變。在595包，是一個(gè)信號(hào)后小幅回落350?由于部分分層抗反射涂層。然而，最后兩個(gè)通道的信號(hào)電平與初始信號(hào)電平，表示沒有真空包退化。
據(jù)悉，在圖的a-Si微測信號(hào)電平第7兩至三次較大，如圖6。相同的條件下進(jìn)行了測量兩套。圖改進(jìn)的信號(hào)電平第7，由于最近的a-Si微測熱隔離像素增強(qiáng)。在這些的像素單元，大大提高熱電阻(熱導(dǎo)。已經(jīng)取得了比較以前的報(bào)告。
圖8。29日每月17 CERDIP封裝真空包裝真空穩(wěn)定的結(jié)果
最后，對于長期包真空，它指出，84引腳的陶瓷真空包裝的最古老的，現(xiàn)在超過12月齡，表明沒有真空退化的跡象。此外，從長期（29月），真空包裝的穩(wěn)定性試驗(yàn)的結(jié)果進(jìn)行了AR涂層的硅蓋密封包裝，年齡在圖使用以前開發(fā)的組件級(jí)別的16引腳cerdip真空。8。在圖中，最終微測信號(hào)的比例（29個(gè)月后）的初始信號(hào)顯示，基本上仍然是統(tǒng)一測試表明微測信號(hào)沒有退化，因此包真空超過29個(gè)月期間，為17個(gè)包。
圖9顯示了六個(gè)WLVP模具從密封4英寸晶圓被鋸掉，安裝和測試包進(jìn)行他們通過同一套陶瓷包裝的輻射熱計(jì)陣列的環(huán)境試驗(yàn)。評(píng)價(jià)是目前正在進(jìn)行。都死了幾百小時(shí)150°?烘烤后存活不變。
圖9。六WLVP模具在評(píng)價(jià)的84針包
四、 概要
真空包裝的高性能紅外MEMS的非制冷探測器和陣列，以及慣性MEMS加速度計(jì)和陀螺儀，射頻MEMS諧振器是一個(gè)低成本，大批量MEMS生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展路徑中的關(guān)鍵問題。在這篇文章中，晶圓級(jí)紅外MEMS非制冷探測器的真空包裝的最新研究成果進(jìn)行了介紹和對比與組件級(jí)陶瓷真空包裝方法。在MEMS的晶圓級(jí)封裝方法，模具密封在一個(gè)密封的過程，并隨后在晶圓級(jí)測試。晶圓被切割成個(gè)別真空包裝死于測試完成后。晶圓級(jí)真空包裝方法的主要優(yōu)點(diǎn)是大大降低了成本和相對較高的卷吞吐量組件級(jí)別的真空包裝方法。晶圓級(jí)封裝還提供低成本微小型化和系統(tǒng)集成方面的關(guān)鍵優(yōu)勢。
晶圓級(jí)真空包裝的a-Si微測陣列的結(jié)果。分10毫托真空晶圓級(jí)封裝陣列進(jìn)行了論證。從正在進(jìn)行的密封式晶圓級(jí)封裝測試的結(jié)果表明，迄今沒有退化包真空包7個(gè)月的壽命。一個(gè)4英寸晶圓級(jí)真空包78％的晶圓密封產(chǎn)量的過程中被證明。
還介紹了一個(gè)84針的0.7英寸*0.7英寸腔和16針0.2英寸*0.3英寸腔CERDIP封裝陶瓷真空包的可靠性結(jié)果。一個(gè)抗反射涂層的硅或鍺蓋密封陶瓷封裝。分10毫托真空包裝的a-Si微測陣列已被證明。此外，陶瓷真空包裝的微測陣列受到高溫穩(wěn)定性烤測試包真空中沒有退化為1500?150℃。
致謝
真空包裝的開發(fā)工作，支持DARPA的合同號(hào)F30602-97-C-0127，“MEMS真空包裝，COTR，杜安吉爾莫，美國空軍研究實(shí)驗(yàn)室，DARPA的ETO項(xiàng)目經(jīng)理，埃利亞斯Towe; DARPA的駐MEMS項(xiàng)目經(jīng)理，鋁皮薩諾。作者感謝卡洛斯·卡斯特羅有益的討論和支持。他們還感謝貝蒂莫西爾，簡·亨利，約翰·克拉克，馬克Gulsvig，蘇珊·燕子和諾米·威廉姆斯，他們的技術(shù)援助。
1T。 schimert，R·古奇，W. McCardel，R.特里爾，S.萊羅，J.惠特尼，P.克羅格，和Ahne答，1996年環(huán)境和過程監(jiān)控，空氣及廢物的光學(xué)傳感技術(shù)的國際專業(yè)會(huì)議論文集管理協(xié)會(huì)，1997年，第67-77頁。
7
任務(wù)書
題 目
全自動(dòng)真空包裝機(jī)設(shè)計(jì)
論文時(shí)間
20**年2月20日至 20**年6月1日
課題的主要內(nèi)容及要求(含技術(shù)要求、圖表要求等)
根據(jù)以下參數(shù)，設(shè)計(jì)一種全自動(dòng)真空包裝機(jī)計(jì)，完成總裝圖及零件。編寫設(shè)計(jì)說明書；完成專業(yè)外文資料翻譯1份。
1. 真空室的最低絕對壓強(qiáng);
2. 袋寬，袋長，袋厚；
3. 封口寬度；
4. 工作循環(huán)標(biāo)準(zhǔn)周期20秒，可調(diào)節(jié)；
5. 熱風(fēng)時(shí)間調(diào)節(jié)范圍1-5秒；
6. 額定總功率3.75KW；
7. 水平位置即可傾斜度1-20；
8. 外形尺寸（長寬高）.
課題的實(shí)施的方法、步驟及工作量要求
設(shè)計(jì)方法：學(xué)生在指導(dǎo)教師的指導(dǎo)下，利用所學(xué)的課程并自學(xué)有關(guān)知識(shí)，掌握機(jī)械設(shè)計(jì)的特點(diǎn)、方法，借助《機(jī)械設(shè)計(jì)手冊》等技術(shù)資料，完成本機(jī)設(shè)計(jì)。
設(shè)計(jì)步驟：調(diào)研收集設(shè)計(jì)資料——根據(jù)所給定的參數(shù)制定總體設(shè)計(jì)方案——完成總裝圖及部裝圖——完成零件圖——編寫設(shè)計(jì)說明書。
工作量要求：設(shè)計(jì)圖紙工作量合計(jì)3張零號(hào)圖紙，A0圖紙2張，A1圖紙2張，A3圖紙1張；畢業(yè)設(shè)計(jì)說明書不少于8000漢字；外文資料原文(與課題相關(guān)的1萬印刷符號(hào)左右)，外文資料翻譯譯文（約3000漢字）。
指定參考文獻(xiàn)
[1]濮梁貴、紀(jì)名剛主編.機(jī)械設(shè)計(jì)[M].北京：高等教育出版社出版.2001-6-1
[2]徐灝主編.機(jī)械設(shè)計(jì)手冊[M](第一卷).北京：機(jī)械工業(yè)出版社.2004-4-1
[3]江耕華主編.機(jī)械傳動(dòng)設(shè)計(jì)手冊(上、下）[M].北京：煤炭工業(yè)版.1997-7-1
[4]張聰主編.自動(dòng)化食品包裝機(jī)[J].廣東科技出版社.2003-5-1
[5]成大先.機(jī)械設(shè)計(jì)手冊（第七卷）[M].北京:化學(xué)工業(yè)出版社,2002
[6]Uffe Hindhede .Machine Design Fundamentals — A Practical Approach[J].New York：Wiley出版社，1983.
畢業(yè)設(shè)計(jì)(論文)進(jìn)度計(jì)劃(以周為單位)
第 1 周（20**年 2月20日----20**年 2 月 26 日）：
下達(dá)設(shè)計(jì)任務(wù)書，明確任務(wù)，熟悉課題，收集資料，上交外文翻譯、參考文獻(xiàn)和開題報(bào)告。
第2周——第8周（20**年 2 月 27 日----20**年4 月 15 日）：
制定總體方案，繪制總裝圖草圖。
第 9 周——第14周（20**年4月16 日----20**年 5月 27日）：
修改并完成總裝圖及部裝圖，完成有關(guān)零件圖的設(shè)計(jì)。
第15 周（20**年 5 月28日----20**年 6 月5 日）：
編寫設(shè)計(jì)說明書
第 16 周（20**年 6月 6日----20**年6 月 8 日）：
準(zhǔn)備答辯
備注
開題報(bào)告
題 目
全自動(dòng)真空包裝機(jī)設(shè)計(jì)
學(xué)生姓名、學(xué)號(hào)
專業(yè)
指導(dǎo)教師姓名
職稱
一、選題的目的意義
包裝機(jī)械是指能完成全部或部分產(chǎn)品和商品包裝過程的機(jī)械。
包裝過程包括充填、裹包、封口等主要工序，以及與其相關(guān)的前后工序，如清洗、堆碼和拆卸等。此外，包裝還包括計(jì)量或在包裝件上蓋印等工序。使用機(jī)械包裝產(chǎn)品可提高生產(chǎn)率,減輕勞動(dòng)強(qiáng)度,適應(yīng)大規(guī)模生產(chǎn)的需要，并滿足清潔衛(wèi)生的要求。
包裝過程包括充填、裹包、封口等主要工序，以及與其相關(guān)的前后工序，如清洗、堆碼和拆卸等。包裝機(jī)械此外，包裝還包括計(jì)量或在包裝件上蓋印等工序。使用機(jī)械包裝產(chǎn)品可提高生產(chǎn)率，減輕勞動(dòng)強(qiáng)度，適應(yīng)大規(guī)模生產(chǎn)的需要，并滿足清潔衛(wèi)生的要求。
包裝機(jī)械有多種分類方法。按功能可分為單功能包裝機(jī)和多功能包裝機(jī)；按使用目的可分為內(nèi)包裝機(jī)和外包裝機(jī)；按包裝品種又可分為專用包裝機(jī)和通用包裝機(jī)；按自動(dòng)化水平分為半自動(dòng)機(jī)和全自動(dòng)機(jī)等。
成型-充填-封口包裝機(jī)是一種多功能的包裝機(jī)。物料進(jìn)入包裝機(jī)的頂部后，計(jì)量部分將定好數(shù)量的產(chǎn)品依次送入物料通道。卷筒包裝材料在通過物料通道的外壁時(shí)，被成形器卷繞成筒狀，縱封器將其縱向縫焊封牢固。橫封器完成包裝袋的頂封和下一個(gè)袋子的底封，成為兩道焊縫。由于下料通道被包裝袋裹住，底封封焊后就可直接向袋內(nèi)下料，隨之移動(dòng)一個(gè)工位完成頂封封口，并用切刀切斷，完成包裝工序。
卷筒包裝材料有單層的和復(fù)合的。單層的如防潮玻璃紙、聚乙烯、聚丙烯、高密度聚乙烯，復(fù)合的如拉伸聚丙烯／聚乙烯、聚乙烯／玻璃紙／鋁箔。此外還有可熱封的材料等。包裝封口型式有枕式封口、三邊封口和四邊封口等。裝盒機(jī)用于產(chǎn)品銷售的包裝。
包裝機(jī)械裝盒機(jī)是用于產(chǎn)品銷售包裝的機(jī)械，它將經(jīng)過計(jì)量的一份定量物料裝入盒中，并把盒的開口部分閉合或封固。裝箱機(jī)用于完成運(yùn)輸包裝，它將包裝成品按一定排列方式和定量裝入箱中，并把箱的開口部分閉合或封固。裝盒機(jī)和裝箱機(jī)均有容器成形(或打開容器)、計(jì)量、裝入、封口等功能。
傳統(tǒng)的包裝存在著一些缺點(diǎn):一是包裝的方法老舊，二是包裝浪費(fèi)時(shí)間，還有就是包裝的手動(dòng)占很大的部分，造成勞動(dòng)力的浪費(fèi)，所以現(xiàn)存的包裝機(jī)不能快速高科技節(jié)省勞動(dòng)力的對對象進(jìn)行自動(dòng)化包裝，因此我們就此進(jìn)行設(shè)計(jì).
本包裝機(jī)主要是用于對包裝物進(jìn)行包裝，使被包裝物達(dá)到相對密封，從而起到良好的保護(hù)和裝飾作用。設(shè)計(jì)爭取采用新的機(jī)器包裝后能完成對包裝物的自動(dòng)包裝.并具有包裝速度快，包裝范圍廣泛，操作簡便等特點(diǎn)。并且能達(dá)到提高工作效率，節(jié)省工作時(shí)間，減少產(chǎn)品包裝成本，提高產(chǎn)品檔次，從而利用高新科技達(dá)到接生成本.完成包裝物的纏繞包裝.這樣使包裝機(jī)的使用壽命也能大大加強(qiáng).包裝機(jī)的包裝的可靠性也會(huì)大大加強(qiáng).達(dá)到社會(huì)上要求的標(biāo)準(zhǔn).提高社會(huì)生產(chǎn)力。
2、 國內(nèi)外研究現(xiàn)狀
國家發(fā)展改革委批準(zhǔn)! 項(xiàng)包裝行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)經(jīng)國家發(fā)展改革委批準(zhǔn)，《包裝容器20mm口徑鋁氣霧罐》等4項(xiàng)包裝行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)將于2004年6月1日起實(shí)施，并于近日由國家標(biāo)準(zhǔn)出版社出版發(fā)行。
可熱灌裝的塑料瓶：
德國一家公司推出一種可灌裝熱至95°C食品的聚酯塑料瓶。這種塑料瓶在制造過程中，將液態(tài)的聚酯吹入一熱膜中，聚酯在與熱膜接觸時(shí)形成結(jié)晶，變得更具有彈性，不會(huì)因受熱而變形。同時(shí)，還在塑料瓶上增加了豎向的增強(qiáng)力，可抑制瓶壁向內(nèi)收縮。由于食品進(jìn)行熱灌裝，因而有利于食品的保鮮和保存。
全自動(dòng)真空包裝機(jī)：
法國一家公司制成了一種全自動(dòng)真空包裝機(jī)，適用于食品和藥品的包裝。該包裝機(jī)由圓盤型聚乙烯密封器與卡盤式過濾器的雙向瓣構(gòu)成，利用超聲波密封由各種多層材料制成的包裝袋或硬質(zhì)容器蓋。在密封前需抽出容器內(nèi)部的殘留空氣，使其保持-0.098兆pa的真空狀態(tài)，并用以全自動(dòng)方式或簡單的手槍操作注入一種或數(shù)種中性氣體（氮或碳酸氣），然后進(jìn)行密封。密封處理容量為,10-2000L的乙烯類包裝或硬質(zhì)容器包裝。食品等物品經(jīng)這種真空包裝機(jī)處理后，能防止微生物的分解、細(xì)菌的繁殖和抑制氧化、蒸發(fā)等現(xiàn)象產(chǎn)生。
塑料軟容器的循環(huán)使用：
目前用于裝飲料的塑料軟容器大多是用PET制成的，通常不宜重復(fù)用于再裝飲料，因?yàn)樗_(dá)不到嚴(yán)格的凈化標(biāo)準(zhǔn)。
美國一家公司采用甲醇分解技術(shù)，使上述塑料容器能夠循環(huán)使用。處理部門先將回收的塑料瓶碾成聚酯片，作為再循環(huán)的原料。此原料添加甲醇后進(jìn)行熱處理，使之分解成聚酯的組成成份--對酞酸二甲酯和乙二醇。然后，把對酞酸二甲酯放在離心機(jī)中進(jìn)行長時(shí)間的旋轉(zhuǎn)，使其中的雜質(zhì)被分離掉。乙二醇則置于大槽中煮沸，以除去其中的雜質(zhì)。添加的甲醇可以回收。
被完全提純的對酞酸二甲酯隨即運(yùn)往制瓶廠，再次把它浸在乙二醇內(nèi)，最后合成新的PET塑料。美國可口可樂公司已經(jīng)采用了含有這種再生塑料成分的容器。
能延長啤酒保質(zhì)期的瓶蓋:
美國一家公司開發(fā)出一種新型啤酒瓶蓋，它能夠延長啤酒保質(zhì)期。
啤酒怕氧化，氧氣多了就容易變質(zhì)。美國開發(fā)的這種新型瓶蓋具有吸氧功能。在瓶蓋內(nèi)嵌入了一種吸收氧的化合物襯墊，可通過襯墊上的小孔吸收啤酒瓶頂空隙處的氧氣。使用這種瓶蓋，能使啤酒的保質(zhì)期延長二、三個(gè)月。
目前在我國，受經(jīng)濟(jì)條件和技術(shù)水平的限制，手動(dòng)和半自動(dòng)進(jìn)行包裝仍是我國中最常用的包裝方式。由于投資成本較低，我國勞動(dòng)力豐富，且操作簡單甲所以在中小型企業(yè)獲得了廣泛應(yīng)用。
隨著科技的不斷發(fā)展，傳統(tǒng)的包裝技術(shù)難以滿足現(xiàn)今的包裝要求。國外普遍利用全自動(dòng)包裝機(jī)等來替代老舊的包裝技術(shù)，這種全自動(dòng)包裝在工業(yè)發(fā)達(dá)國家已開始推廣使用。在國內(nèi)包裝行業(yè)中，近年來開始嘗試采用全自動(dòng)機(jī)包裝機(jī)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的手工包裝的方法，已經(jīng)初步推廣。
全自動(dòng)包裝機(jī)在完成包裝技術(shù)的同時(shí)也能節(jié)能環(huán)保，同時(shí)使用時(shí)間長久，但是鑒于它的設(shè)備體積大、功率因數(shù)低、費(fèi)用較高等原因，在中小型工廠上多不用。把傳統(tǒng)的全自動(dòng)包裝機(jī)改成更加節(jié)能，占地小，功率高全自動(dòng)包裝質(zhì)量優(yōu)良，價(jià)格合理的包裝機(jī)器是全自動(dòng)包裝機(jī)發(fā)展的一個(gè)重要工程。
三、設(shè)計(jì)任務(wù)要求
根據(jù)給定的設(shè)計(jì)參數(shù)，設(shè)計(jì)性能可靠，結(jié)構(gòu)合理的真空包裝機(jī)。
1. 翻譯一萬字符的外文資料。
2. 編訂詳細(xì)的設(shè)計(jì)說明書。
3. 完成總裝配圖，上箱部件圖及氣路圖。
四、設(shè)計(jì)依據(jù)
1. 真空室的最低絕對壓強(qiáng);
2. 袋寬，袋長，袋厚；
3. 封口寬度；
4. 工作循環(huán)標(biāo)準(zhǔn)周期20秒，可調(diào)節(jié)；
5. 熱風(fēng)時(shí)間調(diào)節(jié)范圍1-5秒；
6. 額定總功率3.75KW；
7. 水平位置即可傾斜度1-20；
8. 外形尺寸（長寬高）。
五、主要參考文獻(xiàn)及資料
[1]濮梁貴、紀(jì)名剛主編.機(jī)械設(shè)計(jì)[M].北京：高等教育出版社出版.2001-6-1
[2]徐灝主編.機(jī)械設(shè)計(jì)手冊[M](第一卷).北京：機(jī)械工業(yè)出版社.2004-4-1.
[3]江耕華主編.機(jī)械傳動(dòng)設(shè)計(jì)手冊(上、下）[M].北京：煤炭工業(yè)版.1997-7-1.
[4]張聰主編.自動(dòng)化食品包裝機(jī)[J].廣東科技出版社.2003-5-1.
[5]成大先.機(jī)械設(shè)計(jì)手冊（第七卷）[M].北京:化學(xué)工業(yè)出版社,2002.
[6]Uffe Hindhede .Machine Design Fundamentals — A Practical Approach[J].New York：Wiley出版社，1983.
學(xué)生簽名： 年 月 日
指導(dǎo)教師批閱意見
（指導(dǎo)教師應(yīng)對課題研究的思路、方法、對策、措施和預(yù)期成效等做出評(píng)價(jià)，并提出具體的改進(jìn)意見）
指導(dǎo)教師簽名： 年 月 日
注：理工類學(xué)生偏重于對課題相關(guān)知識(shí)的理解和實(shí)施方案的框架結(jié)構(gòu)，文管類學(xué)生偏重于對文獻(xiàn)資料的理解與綜述。表格欄高不夠可自行增加。
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