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電子科技大學(xué)二零 一零 至二零 一一 學(xué)年第 一 學(xué)期期 末 考試
1.對于大注入下的直接輻射復(fù)合,非平衡載流子的壽命與(D )
A. 平衡載流子濃度成正比 B. 非平衡載流子濃度成正比
C. 平衡載流子濃度成反比 D. 非平衡載流子濃度成反比
2.有3個硅樣品,其摻雜情況分別是:
1. 含鋁110-15cm-3 乙.含硼和磷各110-17cm-3 丙.含鎵110-17cm-3
室溫下,這些樣品的電阻率由高到低的順序是(C )
A. 甲乙丙 B. 甲丙乙 C
2、. 乙甲丙 D. 丙甲乙
3.題2中樣品的電子遷移率由高到低的順序是( B )
4. 題2中費米能級由高到低的順序是( C )
5. 歐姆接觸是指( D )的金屬一半導(dǎo)體接觸
A. Wms = 0 B. Wms < 0
C. Wms > 0 D. 阻值較小且具有對稱而線性的伏安特性
6.有效復(fù)合中心的能級必靠近( A )
A. 禁帶中部 B.導(dǎo)帶 C.價帶 D.費米能級
7.當(dāng)一種n型半導(dǎo)體的少子壽命由直接輻射復(fù)合決定時,其小
3、注入下的少子壽命正比于(C )
A.1/n0 B.1/△n C.1/p0 D.1/△p
8.半導(dǎo)體中載流子的擴(kuò)散系數(shù)決定于其中的( A )
A.散射機(jī)構(gòu) B. 復(fù)合機(jī)構(gòu)
C.雜質(zhì)濃變梯度 D.表面復(fù)合速度
9.MOS 器件絕緣層中的可動電荷是( C )
A. 電子 B. 空穴 C. 鈉離子 D. 硅離子
10.以下4種半導(dǎo)體中最適合于制作高溫器件的是( D )
A. Si
4、 B. Ge C. GaAs D. GaN
得 分
二、解釋并區(qū)別下列術(shù)語的物理意義(30 分,7+7+8+8,共4 題)
1. 有效質(zhì)量、縱向有效質(zhì)量與橫向有效質(zhì)量(7 分)
答:有效質(zhì)量:由于半導(dǎo)體中載流子既受到外場力作用,又受到半導(dǎo)體內(nèi)部周期性勢場作用。有效概括了半導(dǎo)體內(nèi)部周期性勢場的作用,使外場力和載流子加速度直接聯(lián)系起來。在直接由實驗測得的有效質(zhì)量后,可以很方便的解決電子的運動規(guī)律。(3分)
縱向有效質(zhì)量、橫向有效質(zhì)量:由于k空間等能面是橢球面,有效質(zhì)量各向異性,在回旋共振實驗中,當(dāng)磁感應(yīng)強度相對晶軸
5、有不同取向時,可以得到為數(shù)不等的吸收峰。我們引入縱向有效質(zhì)量跟橫向有效質(zhì)量表示旋轉(zhuǎn)橢球等能面縱向有效質(zhì)量和橫向有效質(zhì)量。(4分)
2. 擴(kuò)散長度、牽引長度與德拜長度(7 分)
答:擴(kuò)散長度:指的是非平衡載流子在復(fù)合前所能擴(kuò)散深入樣品的平均距離。由擴(kuò)散系數(shù)和材料非平衡載流子的壽命決定,即L = Dτ。(2分)
牽引長度:指的是非平衡載流子在電場ε作用下,在壽命 τ 時間內(nèi)所漂移的距離,即L(ε) = εμτ (2分)
德拜長度:它是徳拜在研究電解質(zhì)表面極化層時提出的理論上的長度,用來描寫正離子的電場所能影響到電子的最遠(yuǎn)距離。對于半導(dǎo)體,表面空間電荷層厚度隨襯底摻雜濃度
6、介電常數(shù)、表面電勢等多種因素而改變,但其厚度的數(shù)量級用一個特稱長度——德拜長度LD表示。(3分)
3. 費米能級、化學(xué)勢與電子親和能(8 分)
答:費米能級與化學(xué)勢:費米能級表示等系統(tǒng)處于熱平衡狀態(tài),也不對外做功的情況下,系統(tǒng)中增加一個電子所引起系統(tǒng)自由能的變化,等于系統(tǒng)的化學(xué)勢。處于熱平衡的系統(tǒng)有統(tǒng)一的化學(xué)勢。這時的化學(xué)勢等于系統(tǒng)的費米能級。費米能級和溫度、材料的導(dǎo)電類型雜質(zhì)含量、能級零點選取有關(guān)。費米能級標(biāo)志了電子填充能級水平。費米能級位置越高,說明較多的能量較高的量子態(tài)上有電子。隨之溫度升高,電子占據(jù)能量小于費米能級的量子態(tài)的幾率下降,而電子占據(jù)能量大于費米能級的量子態(tài)的幾率增大
7、。(6分)
電子親和能:表示要使半導(dǎo)體導(dǎo)帶底的電子逸出體外所需的的最小能量。(2分)
4. 復(fù)合中心、陷阱中心與等電子復(fù)合中心(8 分)
答:復(fù)合中心:半導(dǎo)體中的雜質(zhì)和缺陷可以在禁帶中形成一定的能級,這些能級具有收容部分非平衡載流子的作用,雜質(zhì)能級的這種積累非平衡載流子的作用稱為陷阱效應(yīng)。把產(chǎn)生顯著陷阱效應(yīng)的雜質(zhì)和缺陷稱為陷阱中心。(4分)
等電子復(fù)合中心:在III- V族化合物半導(dǎo)體中摻入一定量與主原子等價的某種雜質(zhì)原子,取代格點上的原子。由于雜質(zhì)原子與主原子之間電性上的差別,中性雜質(zhì)原子可以束縛電子或空穴而成為帶電中心。帶電中心吸引與被束縛載流子符號相反的載流子,形成一個激子束
8、縛態(tài)。這種激子束縛態(tài)叫做等電子復(fù)合中心。(4分)
得 分
三、 問答題(共20分,10+10,共二題)
1. 如金屬和一p型半導(dǎo)體形成金屬-半導(dǎo)體接觸,請簡述在什么條件下,形成的哪兩種不同電學(xué)特性的接觸,說明半導(dǎo)體表面的能帶情況,并畫出對應(yīng)的I-V曲線。(忽略表面態(tài)的影響)(10分)
答:在金屬和p型半導(dǎo)體接觸時,如金屬的功函數(shù)為Wm, 半導(dǎo)體的功函數(shù)為Ws。
當(dāng)Wm<Ws時,在半導(dǎo)體表面形成阻擋層接觸,是個高阻區(qū),能帶向下彎曲;(3分)
當(dāng)Wm>W(wǎng)s時,在半導(dǎo)體表面形成反阻擋層接觸,是個高電導(dǎo)區(qū),能帶向上彎曲;(3分)
對應(yīng)的 I-V曲線分別為:
V
I
9、 V
I
(2分) (2分)
2.在一維情況下,描寫非平衡態(tài)半導(dǎo)體中載流子(空穴)運動規(guī)律的連續(xù)方程為:,請說明上述等式兩邊各個單項所代表的物理意義。(10分)
答:――在x處,t時刻單位時間、單位體積中空穴的增加數(shù);(2分)
――由于擴(kuò)散,單位時間、單位體積中空穴的積累數(shù);(2分)
――由于漂移,單位時間、單位體積中空穴的積累數(shù);(2分)
――由于復(fù)合,單位時間、單位體積中空穴的消失數(shù);(2分)
――由于其他原因,單位時間、單位體積中空穴的產(chǎn)生數(shù)。(2分)
得 分
四、 計算題(共30分,15
10、+15,共2題)
1、有一金屬與n型Si單晶接觸形成肖特基二極管,已知Wm=4.7eV,Xs=4.0eV,Nc=11019cm-3,ND=11015cm-3,半導(dǎo)體的相對介電常數(shù)εr=12。若忽略表面態(tài)的影響,試計算在室溫下:(ε0=8.8510-14,q=1.610-19C)
① 半導(dǎo)體Si的費米能級的位置;(3分)
② 在零偏壓時勢壘高度與接觸電勢差;(4分)
③ 勢壘寬度;(4分)
④ 在正偏壓為0.2eV時熱電子發(fā)射電流,設(shè)A*/A=2.1, A=120A/cm2. (4分)
解:(1)由ND=n0=NCexp?(-EC-EFK0T)可得:
EC-EF=K0TlnN
11、CND=0.026 ln=0.17(eV)
(2)WS=XS+(EC-EF)=4.17(eV)
所以勢壘高度:qVD=Wm-Ws=4.7-4.17=0.53(eV)
接觸電勢差:VD=0.53(eV)
(3)Xd=2εrε0 VDqND 12=2128.8510-140.531.610-191016 12=2.610-5(cm)
(4)金屬一邊的勢壘高度:q?ns=qVD+En=0.53+0.17=0.7(eV)
所以在V=0.2V時,
J=A*T2exp-q?nsK0T(exp?(qVK0T)-1)
=2.11203002 exp-0.70.026(exp?(0.20.026
12、)-1)=8.410-2(Acm2)
2.有一金屬板與n型Si相距0.4μm,構(gòu)成平行版電容器,其間的干燥空氣的相對介電常數(shù)εra=1,當(dāng)金屬端加負(fù)電壓時,半導(dǎo)體處于耗盡狀態(tài)。如圖所示。ND=1016cm-3。
(15分)
① 求耗盡層內(nèi)電勢的分布V(x);(7分)
② 當(dāng) Vs=0.4V時的耗盡層寬度Xd和最大耗盡寬度Xdm的表達(dá)式;(8分)
解:(1)根據(jù)耗盡層近似,空間電荷區(qū)的電荷密度為ρ(x)=qND,故泊松方程可寫為: d2vdx2=-qNDεrsε0 (1)
13、
因半導(dǎo)體內(nèi)電場強度為零,并假設(shè)體內(nèi)電勢為零,則右邊界條件
ε(x)∣x-xd = - dv dx∣x = xd = 0 (2)
V∣X=Xd = 0 (3)
則由式(1)與(2)、(3)得
dv(x) dx= --qNDεrsε0(xd-x)
V(x)= qND(xd-x)22εrsε0
14、
當(dāng)x=0時,即為表面勢Vs,即
Vs= -qND(xd)22εrsε0
(2)耗盡層寬度Xd為
Xd=2εrSε0 VSqND 12=2128.8510-140.41.610-101016 12=2.310-5(cm) = 23(μm)
最大耗盡層寬度時的表面勢Vsm=2VB,即
Vsm= 2k0TqlnNDni=20.26 ln10161.51010=0.697(V)
Xdm=2εrSε0 VSqND 12=2128.8510-140.6971.610-101016 12=3.0410-5(cm) = 30.4(μm)
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