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2012半導(dǎo)體物理學(xué)期末試題
一、選擇填空(22分)
1、在硅和鍺的能帶結(jié)構(gòu)中,在布里淵中心存在兩個極大值重合的價帶,外面的能帶( B ),
對應(yīng)的有效質(zhì)量( C ),稱該能帶中的空穴為( E )。
A. 曲率大; B. 曲率?。? C. 大;D. 小; E. 重空穴;F. 輕空穴
2、如果雜質(zhì)既有施主的作用又有受主的作用,則這種雜質(zhì)稱為( F )。
A. 施主 B. 受主 C.復(fù)合中心 D.陷阱 F. 兩性雜質(zhì)
3、在通常情況下,GaN呈( A )型結(jié)構(gòu),具有( C ),它是( F )半導(dǎo)體
2、材料。
A. 纖鋅礦型; B. 閃鋅礦型; C. 六方對稱性;D. 立方對稱性;E.間接帶隙; F. 直接帶隙。
4、同一種施主雜質(zhì)摻入甲、乙兩種半導(dǎo)體,如果甲的相對介電常數(shù)εr是乙的3/4, mn*/m0值是乙的2倍,那么用類氫模型計算結(jié)果是( D )。
A.甲的施主雜質(zhì)電離能是乙的8/3,弱束縛電子基態(tài)軌道半徑為乙的3/4
B.甲的施主雜質(zhì)電離能是乙的3/2,弱束縛電子基態(tài)軌道半徑為乙的32/9
C.甲的施主雜質(zhì)電離能是乙的16/3,弱束縛電子基態(tài)軌道半徑為乙的8/3
D.甲的施主雜質(zhì)電離能是乙的32/9,的弱束縛電子基態(tài)軌道半徑為乙的3/8
5、.一塊半導(dǎo)體壽命τ=
3、15s,光照在材料中會產(chǎn)生非平衡載流子,光照突然停止30s后,其中非平衡載流子將衰減到原來的( C )。 A.1/4 ; B.1/e ; C.1/e2 ; D.1/2
6、對于同時存在一種施主雜質(zhì)和一種受主雜質(zhì)的均勻摻雜的非簡并半導(dǎo)體,在溫度足夠高、ni >> /ND-NA/ 時,半導(dǎo)體具有 ( B ) 半導(dǎo)體的導(dǎo)電特性。 A. 非本征 B.本征
7、在室溫下,非簡并Si中電子擴(kuò)散系數(shù)Dn與ND有如下圖 (C ) 所示的最恰當(dāng)?shù)囊蕾囮P(guān)系:
Dn ?。模睢 ? Dn
4、 Dn
ND ?。危摹 。危摹 ?
ND
A B C D
8、在純的半導(dǎo)體硅中摻入硼,在一定的溫度下,當(dāng)摻入的濃度增加時,費米能級向( A )移動;當(dāng)摻雜濃度一定時,溫度從室溫逐步增加,費米能級向( C )移動。A.Ev ; B.Ec ; C.Ei; D. EF
9、把磷化鎵在氮氣氛中退火,會有氮取代部分的磷,這會在磷化鎵中出現(xiàn)( D )。
A.改變禁帶寬度 ; B.產(chǎn)生復(fù)合中心 ;
5、 C.產(chǎn)生空穴陷阱 ; D.產(chǎn)生等電子陷阱。
10、對于大注入下的直接復(fù)合,非平衡載流子的壽命不再是個常數(shù),它與( C )。
A.非平衡載流子濃度成正比 ; B.平衡載流子濃度成正比;
C.非平衡載流子濃度成反比; D.平衡載流子濃度成反比。
11、雜質(zhì)半導(dǎo)體中的載流子輸運過程的散射機(jī)構(gòu)中,當(dāng)溫度升高時,電離雜質(zhì)散射的概率和晶格振動聲子的散射概率的變化分別是( B )。
A.變大,變小 ; B.變小,變大; C.變小,變??; D.變大,變大。
12、如在半導(dǎo)體的禁帶中有一個深雜質(zhì)能級位于禁帶中央,則它對電子的俘獲率( B )空穴的
6、俘獲率,它是( D )。 A.大于 ; B.等于; C.小于; D.有效的復(fù)合中心; E. 有效陷阱。
13、在磷摻雜濃度為21016cm-3的硅襯底(功函數(shù)約為4.25eV)上要做出歐姆接觸,下面四種金屬最適合的是( A )。A. In (Wm=3.8eV) ; B. Cr (Wm=4.6eV); C. Au (Wm=4.8eV); D. Al (Wm=4.2eV)。
14、在硅基MOS器件中,硅襯底和SiO2界面處的固定電荷是( B ),它的存在使得半導(dǎo)體表面的能帶( C )彎曲,在C-V曲線上造成平帶電壓( F )偏移。
A.鈉離子 ; B.過剩的硅離子;
7、 C.向下; D.向上; E. 向正向電壓方向; F. 向負(fù)向電壓方向。
二、簡答題:(5+4+6=15分)
躍遷過程1 (0.5分)
Ec (0.5分)
Ec (0.5分)
1、用能帶圖分別描述直接復(fù)合、間接復(fù)合過程。(4分)
躍遷過程2 (0.5分)
Ec (0.5分)
Et(或:雜質(zhì)或缺陷能級)(0.5分)
Ec (0.5分)
躍遷過程Ec (0.5分)
2、對于摻雜的元素半導(dǎo)體Si、Ge中,一般情形下對載流子的主要散射機(jī)構(gòu)是什么?寫出其主要散射機(jī)構(gòu)所決定的散射幾率和溫度的關(guān)系。(4分)
答:對摻雜的元素半導(dǎo)體材料Si、G
8、e,其主要的散射機(jī)構(gòu)為長聲學(xué)波散射(1分)和電離雜質(zhì)散射
其散射幾率和溫度的關(guān)系為:
聲學(xué)波散射:,電離雜質(zhì)散射:(根據(jù)題意,未含Ni也可)
3、如金屬和一n型半導(dǎo)體形成金屬-半導(dǎo)體接觸,請簡述在什么條件下,形成的哪兩種不同電學(xué)特性的接觸,說明半導(dǎo)體表面的能帶情況,并畫出對應(yīng)的I-V曲線。(忽略表面態(tài)的影響)(6分)
答:在金屬和n型半導(dǎo)體接觸時,如金屬的功函數(shù)為Wm, 半導(dǎo)體的功函數(shù)為Ws。
當(dāng)Wm>W(wǎng)s時,在半導(dǎo)體表面形成阻擋層接觸,是個高阻區(qū),能帶向上彎曲;(2分)
當(dāng)Wm<Ws時,在半導(dǎo)體表面形成反阻擋層接觸,是個高電導(dǎo)區(qū),能帶向下彎曲;(2分)
對應(yīng)的 I-V曲線分別為
9、:
V
I
V
I
(1分) (1分)
三、在300K時,某Si器件顯示出如下的能帶圖:(6+4+4=14分)
0 x1?。蹋场。病 。玻蹋场 ? L x
(1)平衡條件成立嗎?試證明之。(6分) ?。牛纾?
EF
Ei
Ec
Ev
答:成立。(4分)
因為費米能級處處相等的半導(dǎo)體處于熱平衡態(tài)(即 )(2分)
或 EFn=EFp=EF (2分)
或 np=ni2 (2分)
或 J=0 (2分)
(2)在何處附近半
10、導(dǎo)體是簡并的?(4分)
答:在靠近x=L附近 (4分)或 分為三個區(qū)域,每個區(qū)各為 2分
或 2L/3
11、少數(shù)載流子在100μs的時間內(nèi)移動了1cm,求少數(shù)載流子的漂移速率、遷移率和擴(kuò)散系數(shù)。(kT=0.026eV)(6分)
解:在電場下少子的漂移速率為:
遷移率為:
擴(kuò)散系數(shù)為:
六、 摻雜濃度為ND=1016cm-3的n型單晶硅材料和金屬Au接觸,忽略表面態(tài)的影響,已知:WAu=5.20eV, χn=4.0eV, Nc=1019cm-3,ln103=6.9 在室溫下kT=0.026eV, 半導(dǎo)體介電常數(shù)εr=12, ε0=8.85410-12 F/m,q=1.610-19 庫,試計算:(4+4+4=12分)
⑴ 半導(dǎo)體的功函數(shù);(4分)
⑵
12、 在零偏壓時,半導(dǎo)體表面的勢壘高度,并說明是哪種形式的金半接觸,半導(dǎo)體表面能帶的狀態(tài);
⑶ 半導(dǎo)體表面的勢壘寬度。(4分)
解:⑴由得: (1分)
(1分)
⑵ 在零偏壓下,半導(dǎo)體表面的勢壘高度為:
對n型半導(dǎo)體,因為Wm>W(wǎng)s,所以此時的金半接觸是阻擋層(或整流)接觸(1分),半導(dǎo)體表面能帶向上彎曲(或:直接用能帶圖正確表示出能帶彎曲情況)(1分)。
⑶ 勢壘的寬度為:
(2分)
七、T=300 K下,理想MOS電容,其能帶圖如下圖所示。所施加的柵極偏壓使得能帶彎曲,在Si-SiO2界面EF=Ei。Si的電子親合勢為4.0 eV
13、,Nc=1019cm-3。利用耗盡近似,回答下列問題:(5+5+5+5+6=26分)
EFm
Ec
Ev
x
ρ
0.29eV
0.59 eV
Ei
EFs
(1.5分) (1.5分)
1. 半導(dǎo)體中達(dá)到了平衡嗎?為什么?(5分)
答:達(dá)到了平衡。因為半導(dǎo)體中EF處處相等(或EFn=EFp=EF,或np=ni2, 或J=0 )。
2. 求出半導(dǎo)體Si-SiO2界面EF=Ei處的電子濃度?同時繪出與該能帶圖對應(yīng)的定性電荷塊圖。
(1分) (0.5分) (0.5分)
或
14、
電荷塊圖見上圖(評分標(biāo)準(zhǔn)在電荷塊圖下方)
3. 求出ND?(5分)
4. 寫出VG詳細(xì)表達(dá)式?(5分)
或
如果兩個n型半導(dǎo)體構(gòu)成的MOS結(jié)構(gòu)除了器件1是Al柵,器件2是Au柵,其它參數(shù)都相同,將導(dǎo)致這兩個MOS結(jié)構(gòu)的高、低頻C-V特性曲線發(fā)生什么定性變化?試?yán)L出定性高、低頻C-V特性曲線。已知WAl=4.25 eV,WAu=4.75 eV。(6分)
(1)VFB(Al)<0, VFB(Au)>0
或:直接在C-V圖中VG坐標(biāo)上明確標(biāo)出VFB(Al)位于VG坐標(biāo)軸負(fù)方向(1分),VFB(Au) 位于VG坐標(biāo)軸正方向(1分)
(2)判題時請注意,如果考生將兩個C-V曲線分別繪在兩個坐標(biāo)圖中,注意VFB(Al)是否位于VG坐標(biāo)軸負(fù)方向(1分)、VFB(Au) 是否位于VG坐標(biāo)軸正方向
Al柵C-V:2分(高頻C-V 1分+低頻C-V 1分)
Au柵C-V:2分(高頻C-V 1分+低頻C-V 1分)
Al柵(低頻各1分) Au柵
VFB(Au)
VFB(Al)
VG
C
(高頻各1分)
專心---專注---專業(yè)