S4800掃描電鏡(SEM)操作手冊.ppt
《S4800掃描電鏡(SEM)操作手冊.ppt》由會員分享,可在線閱讀,更多相關《S4800掃描電鏡(SEM)操作手冊.ppt(36頁珍藏版)》請在裝配圖網上搜索。
HitachiS 4800型掃描電鏡簡易操作指南 國家納米科學中心納米檢測實驗室 注意 本文件的目的在于幫助用戶記憶培訓的內容 不能代替培訓 有意自己操作掃描電鏡的用戶請到現場參加培訓 為了把此文件的篇幅限制在一個合理程度 文件內容難于面面俱到 歡迎各位對本文件的內容提出寶貴意見 S 4800掃描電鏡外觀 S 4800掃描電鏡剖面圖 S 4800主要技術參數 掃描電鏡使用時的安全注意事項 掃描電鏡及其附屬設備中有高壓電 低溫 高溫 高壓氣流等危險因素 因此不正確的使用有可能造成人身傷亡 請您正確操作儀器 不要打開儀器的面板或試圖接觸培訓過程中未允許您操作的部分 即使您對自己的操作很有信心 未獲得授權的用戶請勿操作電鏡 請勿用掃描電鏡觀察磁性樣品 磁性樣品有可能給電鏡造成嚴重傷害 如您的樣品帶有磁性或操作過程中遇到意外情況 請垂詢技術員彭開武 郭延軍 Tel 82545516 S 4800掃描電鏡的基本操作過程 1 啟動操作程序PC SEM 打開顯示器Display的開關 系統(tǒng)啟動 要求輸入系統(tǒng)的用戶名和密碼 核實用戶名和密碼后 電鏡操作程序PC SEM自動啟動 要求輸入程序的用戶名和密碼 核實用戶名和密碼后 電鏡操作程序打開 2 加載樣品 1 將樣品裝在樣品托 specimenstub 上 1 根據樣品大小選擇合適尺寸的樣品托 15mm 1inch 1 5inch 2inch 2 用碳導電膠帶或銀導電膠將樣品粘在樣品托上 注意 a 對于不導電或導電性不好的樣品 需要進行噴金等的導電處理 b 當在較高倍率下觀察時 大于等于10萬倍 建議使用銀導電膠 可以防止樣品漂移 用了導電膠的樣品需要用臺燈烤干或用吹風機吹干后再插入樣品室 2 加載樣品 2 將樣品托裝在樣品架 specimenholder 上 1 把樣品托安裝在樣品架的頂端 2 調整樣品的高度 使得樣品的上表面與樣品高度計的下面盡量相平 注意 a 取放樣品操作時必須帶手套以減少污染 b 必須使用樣品高度計調節(jié)樣品的高度 使WD與Z盡量保持一致 這樣不僅操作性好 而且有利于保護儀器和樣品 c 注意調節(jié)螺桿 adjustingscrew 不要從樣品架底座下面伸出來 這樣會造成機械故障 2 加載樣品 3 將樣品架插入樣品室插入樣品之前需要確認 a 樣品臺的位置處于交換位置 并且沒有處于鎖定狀態(tài) Lock開關的燈不亮 b 加速電壓處于OFF狀態(tài) 1 按交換室操作部分的AIR鍵 使交換室放氣 2 峰鳴器響后 對應鍵的燈不閃 將交換室打開 3 輕輕推入交換棒 此時保證交換棒后端的旋鈕處于UNLOCK狀態(tài) 4 用一只手拿著交換棒的旋鈕 另一只手將樣品插入交換棒中 2 加載樣品 5 按逆時針方向旋轉交換棒的旋鈕到LOCK狀態(tài) 然后將交換棒完全拉出 6 關閉交換室 按EVAC鍵 交換室抽真空 7 峰鳴器響后 按OPEN鍵 打開樣品室與交換室之間的門 氣閥 8 峰鳴器響后 一邊探視里面 一邊將樣品架充分地插入樣品臺的槽中 交換棒推到底 9 按順時針方向旋轉交換棒至UNLOCK位置 卸下樣品 然后將交換棒完全拉出 10 按CLOSE鍵 氣閥關閉 3 加高壓及條件設定 1 設定樣品尺寸點擊STAGE設定鍵 在SPECIMEN窗口畫面 點擊SET鍵 設定樣品的尺寸 2 設定加速高壓和發(fā)射電流點擊加速電壓顯示部分 設定所需要的加速電壓和發(fā)射電流 發(fā)射電流一般設為10 A3 加高壓點擊ON鍵 出現確認樣品尺寸對話框 確定后 開始自動加電壓 3 加高壓及條件設定 4 條件設定 1 選擇圖形信號及探測器類型 SE BSE 2 設定工作距離WD 3 設定高度ZZ與WD密切相關 它們設定的先后順序并不重要 最終目的是在Z與WD的允許范圍內使圖像聚焦清楚 為安全起見 本機高度Z應在3mm以上 范圍3 30 4 調節(jié)電子光學系統(tǒng) 加高壓后即可尋找感興趣的區(qū)域觀察圖像了 為了獲得高質量的圖像 通常要進行電子光學系統(tǒng)的調節(jié) 也稱為合軸或對中 Alignment 1 點擊ALIGN鍵 出現合軸畫面 2 主要的合軸有 a 電子束合軸 BeamAlign目標 把光圈調到中心b 物鏡光欄合軸 ApertureAlign目標 把圖像晃動量調到最小c 象差校正合軸 StigmaAlignX Y目標 把圖像晃動量調到最小 3 操作 調節(jié)操作面板的STIGMA ALIGNMENTX和Y 5 觀察樣品 1 移動樣品可以通過操作面板上的滾動球來實現 在低倍下尋找感興趣的區(qū)域 然后到合適的放大倍數觀察和記錄圖像 2 亮度和對比度調節(jié)使用操作面板上的BRIGHT和CONTRAST旋鈕 或點擊ABCC進行自動調整 3 聚焦樣品使用操作面板上的FOCUS 包括粗調COARSE和微調FINE 4 校正象散使用操作面板上的STIGMA ALIGNMENT 不在Align窗口時 6 記錄圖像 1 捕捉并保存可以在任一種掃描模式 TV FAST SLOW 下記錄圖像 每一種模式又包括幾種條件 可以在拍照前具體設定 設定好后 先點擊所需要的掃描模式 然后按CAPTURE鍵 捕捉只是指將圖像暫時保存在CapturedImage中 選中需要保存的圖像 然后點擊SAVE按鈕 會出現一個對話框 可以設定圖片被保存的位置及文件名稱 類型等信息 可以選中所有的圖片進行全部保存 6 記錄圖像 2 直接保存點擊工具欄的SAVE按鈕 可以將顯示的圖像凍結并直接保存至硬盤 7 圖像處理 如果需要 可以對圖像進行處理 點擊UTILITY設定鍵 在Signalprocessing窗口畫面 可以選擇Smoth Sharpen EdgeEnhance等選項 8 SEM數據管理器 對于已保存的圖像 可以使用SEM數據管理器 SEMDataManager 功能進行管理 包括檢索 顯示 圖像處理 編輯 打印等 9 取出樣品 1 點擊加速電壓顯示部分的OFF鍵 關閉加速電壓2 確認樣品臺沒有處于鎖定狀態(tài) 使樣品臺位置回到交換位置 操作順序 先手動調整T 0 和Z 8mm 然后點擊HOME 使X Y R回到交換位置 3 按交換室操作部分的OPEN鍵 峰鳴器響后 交換室與樣品室之間的氣閥被打開4 確認交換棒處于UNLOCK狀態(tài) 完全推入交換棒 按逆時針方向旋轉交換棒的旋鈕鎖住樣品架 LOCK 5 把樣品交換棒完全拉出 按CLOSE鍵 關閉氣閥6 按AIR鍵 使交換室放氣7 峰鳴器響后 打開交換室 輕輕推出交換棒 按順時針方向UNLOCK樣品架 將樣品架取下8 將交換棒完全拉出 關閉交換室 按EVAC鍵 使交換室抽真空 10 刻錄光盤 本機提供的唯一數據拷貝方式是刻錄光盤 請大家自己準備光盤 11 結束操作 1 關機操作點擊S 4800主窗口的關閉鍵 或從FILE菜單選擇EXIT 退出程序 然后關閉Windows 最后關閉顯示器的Display開關 2 實驗記錄操作結束后 請認真填寫實驗記錄并清理樣品托及桌面 觀測條件的選擇 1 加速電壓的選擇從電子光學的角度講 隨著加速電壓的升高 電鏡的分辨率也提高 但是電壓越高 電子束在樣品中擴散范圍就越大 同時放電和輻照損傷現象也越嚴重 因此要根據樣品的種類及所要得到的信息 適當地選擇加速電壓 對于導電性好的樣品 可以選擇較高的加速電壓 相反 對于導電性較差的樣品 則應選擇較低的加速電壓 觀測條件的選擇 2 工作距離 WD 的設定WD workingdistance 是指物鏡下端面到焦點面之間的距離 WD越小 圖像的分辨率越高 而景深越淺 做能譜時 WD必須設定為15mm 觀測條件的選擇 3 探測器的選擇S 4800配備有上下兩個二次電子探測器 在WD較小時 10 推薦使用下探測器 如果選擇MIX 則同時使用兩個探測器 在整個WD的可變范圍內 信號量不會發(fā)生極端的變化 觀測條件的選擇 4 信號選擇SE信號分辨率高 有利于得到表面信息 但是易受放電的影響 而且圖像的邊緣對比度有時過強 低角度背散射電子BSE L信號能反應組分信息 而且受放電的影響小 圖像的邊緣對比度弱 在成像時引入一定比例的BSE L信號 可以抑制放電的影響和尖銳邊緣過強的亮度 BSE H信號應用比較有限 圖像記錄方式的選擇 采用慢掃描的方式能夠提高圖像的信噪比 從而提高圖像的質量 因此通常采用慢掃描方式記錄圖像 但是掃描速度越慢 樣品的放電現象越顯著 所以 如果樣品放電現象比較嚴重 不能采用慢掃描方式記錄圖像 這時可以采用多次快速掃描疊加的方式記錄圖像 同樣可以提高信噪比 但是對于漂移明顯的樣品無法采用這種技術 對于既放電又漂移的樣品 采用單次快速掃描的方式反而可以獲得最高質量的圖像 樣品臺 樣品臺以通過其表面中心的法線為軸做平面內旋轉 是靠馬達驅動的 自動 樣品臺旋轉Rotation R 360 連續(xù) 樣品臺旋轉Rotation R Eucentric 當選中時 表示樣品臺旋轉后 觀察區(qū)域仍然保持在當前位置 Abs 絕對角度正值0 360 Rel 相對角度 始終以當前位置為0 可以輸入正值0 360 順時針 負值0 360 逆時針 光柵旋轉RasterRotation R Rotation 360 連續(xù) 通過旋轉電子束的掃描方向 實現對圖像的旋轉 樣品臺并沒有旋轉 樣品臺傾轉Tilt T 樣品臺以其平面內的一個特定方向的直徑為軸做傾轉 是手動的 樣品臺傾轉Tilt T 傾轉范圍與樣品臺尺寸及高度z有關最大傾轉范圍 5 70 傾轉操作之前必須計算當前條件下允許傾轉的范圍Tilt Zcalculation 設定樣品臺尺寸 加高壓前設定 PriorityZ 計算在給定的高度Z下樣品臺可以傾轉的范圍PriorityT 計算在給定的傾轉角度T下高度Z的允許范圍傾轉操作 手動調節(jié) 樣品臺傾轉Tilt T 傾轉注意 a 千萬不要超過允許的傾轉范圍 為了安全起見 不要傾轉到極限 應留有一定的余量 至少1 b 如果進行了傾轉操作 當結束操作后使樣品臺回到交換位置時 一定要先把T調回到0 然后再調Z到8mm 減速功能 本機附加減速功能 通過在樣品表面施加與加速電壓相反方向的電壓 使到達樣品表面的電子發(fā)生減速 抑制電荷積累現象 適合對不導電樣品的高分辨率觀察 Weareatyourservice- 配套講稿:
如PPT文件的首頁顯示word圖標,表示該PPT已包含配套word講稿。雙擊word圖標可打開word文檔。
- 特殊限制:
部分文檔作品中含有的國旗、國徽等圖片,僅作為作品整體效果示例展示,禁止商用。設計者僅對作品中獨創(chuàng)性部分享有著作權。
- 關 鍵 詞:
- S4800 掃描電鏡 SEM 操作手冊
裝配圖網所有資源均是用戶自行上傳分享,僅供網友學習交流,未經上傳用戶書面授權,請勿作他用。
鏈接地址:http://m.appdesigncorp.com/p-7550923.html