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薄膜的物理氣相聚積法PPT課件

薄膜的物理氣相沉積法物理氣相沉積法的共同特點(diǎn):1 需要使用固態(tài)的或者熔融態(tài)的物質(zhì)作為沉積過程的源物質(zhì)2 源物質(zhì)經(jīng)過物理過程而進(jìn)入氣相3 需要相對較低的氣體壓力環(huán)境4 在氣相中及在襯底表面并不發(fā)生化學(xué)反應(yīng)吱脅約愛嗚舜探炭低牙暑塘簾宰壹忌譏卒迄,

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1、薄膜的物理氣相沉積法物理氣相沉積法的共同特點(diǎn):1 需要使用固態(tài)的或者熔融態(tài)的物質(zhì)作為沉積過程的源物質(zhì)2 源物質(zhì)經(jīng)過物理過程而進(jìn)入氣相3 需要相對較低的氣體壓力環(huán)境4 在氣相中及在襯底表面并不發(fā)生化學(xué)反應(yīng)吱脅約愛嗚舜探炭低牙暑塘簾宰壹忌譏卒迄。

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