真空鍍膜基礎(chǔ)知識

1、真空及薄膜基礎(chǔ) 麥田烏鴉.,我們生產(chǎn)的為非晶硅薄膜太陽能電池，了解PECVD設(shè)備及工藝需要對真空鍍膜有一個了解，并且對半導(dǎo)體物理及薄膜知識有一定的認(rèn)識。 我們先對薄膜的概念做一個粗略的了解。 薄膜：在嚴(yán)格的學(xué)術(shù)意義上，認(rèn)為只有聚集厚度小于某一特征厚度的材料才是真正的薄膜，否則便是一般的薄材料。 特征厚度：是利用物質(zhì)的某些基本性質(zhì)在物質(zhì)聚集厚度很薄的情況下會發(fā)生異常變化的現(xiàn)象而確定的，即當(dāng)被。

2、真 空 及 薄 膜 基 礎(chǔ) 我 們 生 產(chǎn) 的 為 非 晶 硅 薄 膜 太 陽 能 電 池 ， 了 解 PECVD設(shè) 備 及 工 藝 需 要 對 真 空 鍍 膜 有 一 個了 解 ， 并 且 對 半 導(dǎo) 體 物 理 及 薄 膜 知 識 有。