真空磁控濺射鍍膜設(shè)備用戶手冊(cè).doc

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真空磁控濺射鍍膜控制系統(tǒng) 用 戶 手 冊(cè) 2008-07-09 V1.1  目 錄 1.系統(tǒng)簡述 4 1.1真空系統(tǒng) 4 1.2 傳送系統(tǒng) 4 1.3 加熱系統(tǒng) 4 1.4 濺射電源 4 1.5 冷卻水 4 1.6 工藝氣路 5 2.系統(tǒng)供電 5 2.1 柜體通電前檢查 5 2.2 現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備通電前檢查 5 2.3 電源送電順序 5 2.3.1 PLC控制柜 5 2.3.2 電加熱柜 6 2.3.3 泵組柜 6 3.PLC運(yùn)行程序 6 3.1 環(huán)境模式 7 3.2 工作模式 7 3.3 安全連鎖 9 3.4 系統(tǒng)報(bào)警 10 4.上位機(jī)軟件操作 12 4.1 上位機(jī)畫面 12 4.1.1 介紹 12 4.1.1.1 圖例 12 4.1.2總貌 14 4.1.3 真空 15 4.1.4 傳動(dòng) 17 4.1.5加熱 19 4.1.6 參數(shù)設(shè)定 21 4.1.7 濺射電源 23 4.1.8 控制模式 25 4.1.9 分子泵使能操作 27 4.1.10 歷史報(bào)警 28 4.1.11 框架信息 29 4.1.12運(yùn)行注意事項(xiàng) 30 4.1.12.1 開機(jī)注意事項(xiàng) 30 4.1.12.1 停機(jī)注意事項(xiàng) 31 5. 工程維護(hù) 31 5.1 傳輸設(shè)置 31 5.1.1 傳輸工程文件 32 5.2 WINGP運(yùn)行 33 6.變量地址表 34  1.系統(tǒng)簡述 TFT系統(tǒng)需要實(shí)現(xiàn)玻璃在真空環(huán)境下自動(dòng)化的連續(xù)鍍膜，生產(chǎn)線布置為“回”字型矩形結(jié)構(gòu)，生產(chǎn)線劃分為4個(gè)區(qū)，位于生產(chǎn)線左右側(cè)的上片區(qū)和下片區(qū)，位于上下片平臺(tái)間的工藝區(qū)和回傳區(qū)，其中呈”->”方向移動(dòng)的區(qū)域?yàn)楣に噮^(qū)，呈”<-“方向移動(dòng)的區(qū)域?yàn)榛厮蛥^(qū)。TFT控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)生產(chǎn)過程中的真空、加熱、傳動(dòng)、電源、冷卻水、工業(yè)氣體在鍍膜過程中的連續(xù)控制。 1.1真空系統(tǒng) 真空系統(tǒng)設(shè)備集中于真空室區(qū)域，由抽氣設(shè)備（機(jī)械泵、羅茨泵、分子泵）檢測(cè)設(shè)備（PG表，CG表）、安全閥（分子泵前蝶閥、機(jī)械泵羅茨泵間自吸閥、管道閥和破空閥）；通過機(jī)械泵 ->羅茨泵->分子泵接力抽氣，將腔室內(nèi)壓力由大氣變?yōu)檎婵?，并在生產(chǎn)過程中保持適合生產(chǎn)的真空環(huán)境； 1.2 傳送系統(tǒng) 傳送系統(tǒng)共24臺(tái)操作電機(jī)，上下片平臺(tái)各4臺(tái)，工藝區(qū)11臺(tái)，回傳區(qū)5臺(tái)傳動(dòng)電機(jī)，除上下片平臺(tái)各有2臺(tái)電機(jī)可實(shí)現(xiàn)雙向傳動(dòng)外，其余電機(jī)均為單向傳動(dòng)；其中除M3 –M9 可以通過端子通斷和模擬量信號(hào)協(xié)同控制電機(jī)轉(zhuǎn)速外，其余電機(jī)的傳動(dòng)速度由端子通斷直接控制； 1.3 加熱系統(tǒng) 加熱系統(tǒng)共66臺(tái)，在連續(xù)生產(chǎn)過程中，逐段加熱工藝區(qū)腔室內(nèi)的溫度，以確保在玻璃在鍍膜過程中的環(huán)境溫度，加熱系統(tǒng)進(jìn)行PID運(yùn)算，通過固態(tài)繼電器的電壓脈沖控制加熱器的加熱頻率； 1.4 濺射電源 在工藝區(qū)有4個(gè)濺射室，室內(nèi)配置MF中頻濺射電源和DC直流濺射電源，通過電源產(chǎn)生的高電壓電離氣體分子； 1.5 冷卻水 機(jī)械泵、分子泵、濺射電源冷卻管路安裝有壓力檢測(cè)設(shè)備，通過水流開關(guān)檢測(cè)冷卻水壓力是否符合設(shè)備冷卻的要求； 1.6 工藝氣路 氣路由供氣管道，流量計(jì)和切斷閥組成； 2.系統(tǒng)供電 2.1 柜體通電前檢查 柜間連接線校核； 所有斷路器，熔斷器處于斷開狀態(tài)； 檢查泵組柜，電加熱柜一次主排、母排絕緣和是否短路； 檢查泵組柜，PLC柜，電加熱柜，電源柜是否短路； 2.2 現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備通電前檢查 電纜接線的校核； 接線的電源電壓等級(jí)是否與設(shè)備匹配； 機(jī)械泵，羅茨泵，傳動(dòng)電機(jī)通電前進(jìn)行三相對(duì)地絕緣（電阻>0.5M歐）測(cè)試； 其它現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備是否有短路現(xiàn)象，例如分子泵，閥門等； 控制回路的功能測(cè)試； 2.3 電源送電順序 2.3.1 PLC控制柜 傳動(dòng)控制柜PLC模塊電源供電(220V) QF51->SB54（面板）->QF81; PLC控制柜及PLC模塊觸摸屏供電(220V) QF51->SB54（面板）->QF82; 檢修插座供電(220V) QF51->SB54（面板）->QF86; 傳動(dòng)控制柜I/O模塊供電(24V) QF51->SB54->QF71->QF74; PLC控制柜I/O模塊供電(24V) QF51->SB54->QF71->QF71.1; 流量計(jì)供電(15V) QF51->SB54->QF61; 溫度控制器供電(24V) QF51->SB54->QF64->QF64.1; 中頻/直流控制電源(24V) QF51->SB54->QF64->QF66; 閥門，機(jī)械泵氣鎮(zhèn)，油鎮(zhèn)供電(24V) QF51->SB54->QF84->QF84.1; 光電開關(guān)及真空計(jì)電源(24V) QF51->SB54->QF84->QF85; 傳動(dòng)電機(jī)供電(380V) QF51(泵組控制柜)-->QF165(泵組控制柜)-->(QF52-QF311) 2.3.2 電加熱柜 電加熱供電(220V) QF51(泵組控制柜)->QF166(泵組控制柜)->(QF54~QF185) 2.3.3 泵組柜 機(jī)械泵供電(380V) QF51->QF111(進(jìn)片室) QF51->QF114(工藝區(qū)) QF51->QF116(出口室) 羅茨泵供電(380V) QF51->QF112(進(jìn)片室) QF51->QF115(工藝區(qū)) QF51->QF118(出口室) 分子泵供電(380V) QF51->(QF111-QF162) 中頻濺射電源供電(380V) QF411->(QF412-QF416) 直流濺射電源供電(380V) QF411->(QF421-QF432) 3.PLC運(yùn)行程序 PLC程序采用三菱GX Works2 1.31H開發(fā)。依據(jù)TFT生產(chǎn)工藝，軟件設(shè)計(jì)有以下的工作模式； 3.1 環(huán)境模式 工作環(huán)境可設(shè)定為大氣環(huán)境和真空環(huán)境； 設(shè)計(jì)大氣環(huán)境的主要目的用于檢查設(shè)備的運(yùn)行狀況，如傳動(dòng)是否存在卡架的現(xiàn)象，門閥開關(guān)限位是否到位等； 真空環(huán)境為設(shè)備正常工作所達(dá)到的必需條件； 在大氣模式下除分子泵外，所有設(shè)備都可以手動(dòng)測(cè)試； 注意：在手動(dòng)模式下傳動(dòng)始終以低速運(yùn)行，只有在自動(dòng)運(yùn)行時(shí)，傳動(dòng)才以不同的速度運(yùn)轉(zhuǎn)； 3.2 工作模式 工作模式分抽氣模式，生產(chǎn)模式，保壓模式和停止模式；只有環(huán)境模式設(shè)置為真空模式后，工作模式才可以進(jìn)行選擇； 抽氣模式 抽氣模式使生產(chǎn)線達(dá)到具備生產(chǎn)條件的真空度，抽氣模式的運(yùn)行的規(guī)程為： 1.所有帶限位設(shè)備的開限位檢查（門、管道閥、分子泵閥、破空閥）； 2.確認(rèn)開限位檢查通過后，對(duì)以上設(shè)備進(jìn)行關(guān)限位檢查； 3.確認(rèn)關(guān)限位檢查通過后,關(guān)閉1#,6#門，打開2#,3#,4#,5#室門； 4.確認(rèn)以上門開、關(guān)到位后，啟動(dòng)所有機(jī)械泵； 5.確認(rèn)所有機(jī)械泵啟動(dòng)并熱泵完成后（熱泵時(shí)間5分鐘），打開機(jī)械泵對(duì)應(yīng)的管道閥； 6．確認(rèn)管道閥打開后，在管道真空度滿足的條件下，啟動(dòng)羅茨泵； 7.確認(rèn)羅茨泵啟動(dòng)后，在腔室內(nèi)壓力小于50Pa，管道壓力小于10Pa，開分子泵閥； 8.待分子泵閥全部打開后，滿足分子泵啟動(dòng)條件，啟動(dòng)各腔室分子泵； 9.分子泵全部開啟（部分開啟，設(shè)備未使能系統(tǒng)會(huì)默認(rèn)為分子泵已開啟）等待約8分鐘（分子泵由速度0達(dá)到全速旋轉(zhuǎn)）后，關(guān)閉2,3,4,5#門，程序提示抽氣結(jié)束； 10．抽氣完成前，系統(tǒng)設(shè)計(jì)有180秒的等待時(shí)間，如在該時(shí)間內(nèi)沒有將工作模式由抽氣轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)模式，則抽氣模式將自動(dòng)轉(zhuǎn)換為保壓模式； 生產(chǎn)模式 生產(chǎn)模式由抽氣模式完成后（提示抽氣已完成）才能實(shí)現(xiàn)切換，生產(chǎn)模式執(zhí)行的規(guī)程為： 1.復(fù)核室門是否已關(guān)閉，復(fù)核破空閥和放氣閥是否已關(guān)閉； 2.待確認(rèn)以上設(shè)備已完成后，復(fù)核所有機(jī)械泵是否已啟動(dòng)； 3.確認(rèn)機(jī)械泵已啟動(dòng)，且已經(jīng)過完全熱泵，復(fù)核所有管道閥是否已開啟； 4.確認(rèn)管道閥已開啟后，復(fù)核羅茨泵和分子泵閥是否已開啟； 5.確認(rèn)羅茨泵與分子泵閥開啟無誤，復(fù)核所有分子泵是否已運(yùn)行； 6.復(fù)核分子泵已運(yùn)行，且達(dá)到全速運(yùn)轉(zhuǎn)（默認(rèn)8分鐘），確認(rèn)無誤后，系統(tǒng)進(jìn)入正常生產(chǎn)階段； 按生產(chǎn)工藝的要求，順序開/關(guān)各腔室門，管道閥、破空閥等，順序啟動(dòng)傳動(dòng)電機(jī)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)； 保壓模式 保壓模式可以在抽氣模式或者生產(chǎn)模式下切換，保壓模式主要工作為依次序停止泵組，停止后不打開放氣閥；保壓模式運(yùn)行的規(guī)程為： 1.首先將傳動(dòng)設(shè)置為停止運(yùn)行；系統(tǒng)關(guān)閉1#，6#室門，打開2#,3#,4#,5#室門；關(guān)閉破空閥； 2.確認(rèn)1-6#門開關(guān)已就位，確認(rèn)進(jìn)、出片室破空閥已關(guān)閉，停止所有分子泵運(yùn)行； 3.確認(rèn)所有分子泵已完全停止（叢完全運(yùn)行到停止約需8-10分鐘），關(guān)閉分子泵閥； 4.確認(rèn)所有分子泵已全部停止后，關(guān)閉分子泵前級(jí)閥； 5.確認(rèn)分子泵閥已關(guān)閉，關(guān)閉管道閥； 6. 確認(rèn)所有管道閥已關(guān)閉，系統(tǒng)停止羅茨泵； 7.確認(rèn)羅茨泵已停止，系統(tǒng)關(guān)閉機(jī)械泵； 8.確認(rèn)機(jī)械泵已關(guān)閉后，打開管道放氣閥，自動(dòng)放氣30秒后，管道放氣閥自動(dòng)關(guān)閉； 放氣模式 停止模式只能在保壓模式下切換；停止模式運(yùn)行的一般規(guī)則為： 1.確認(rèn)腔室內(nèi)加熱溫度，如腔室內(nèi)溫度大于70度，系統(tǒng)將不允許由保壓模式切換為停止模式； 2．放氣模式在放氣前執(zhí)行與保壓模式相同的操作； 3.確認(rèn)泵組已完全停止，分子泵閥和管道閥在關(guān)閉的條件下，打開破空閥，執(zhí)行放氣程序； 4．待真空計(jì)顯示為大氣狀態(tài)，關(guān)閉放氣閥； 3.3 安全連鎖 系統(tǒng)安全連鎖條件為： 分子泵 當(dāng)分子泵出現(xiàn)運(yùn)行故障，系統(tǒng)停止分子泵運(yùn)行，關(guān)斷分子泵前級(jí)閥； 當(dāng)分子泵出現(xiàn)水流異常，系統(tǒng)檢測(cè)到無水信號(hào)后如30S水流檢測(cè)仍無信號(hào)，系統(tǒng)停止分子泵運(yùn)行； 羅茨泵 羅茨泵（熱繼電器17A）出現(xiàn)電流過大，系統(tǒng)停止羅茨泵運(yùn)行，關(guān)斷分子泵前蝶閥，停止分子泵運(yùn)行； 機(jī)械泵 機(jī)械泵（熱繼電器）出現(xiàn)電流過大，系統(tǒng)停止機(jī)械泵運(yùn)行，然后依次關(guān)斷分子泵前蝶閥，停止分子泵運(yùn)行；停止羅茨泵運(yùn)行；打開機(jī)械泵與羅茨泵之間的自吸閥，執(zhí)行自動(dòng)放氣程序后30S關(guān)閉自吸閥； 壓力檢測(cè) 在生產(chǎn)過程中，當(dāng)管道內(nèi)真空度（壓力）因不明原因快速上升超過安全限值（500Pa），系統(tǒng)關(guān)斷分子泵前蝶閥，停止分子泵運(yùn)行； 濺射靶 當(dāng)出現(xiàn)冷卻水中斷（信號(hào)由1變?yōu)?），持續(xù)超過30S，如為計(jì)算機(jī)遠(yuǎn)程控制，計(jì)算機(jī)停止相應(yīng)靶的運(yùn)行； 系統(tǒng)急停 按下面板（工藝區(qū)）或者是外部的急停按鈕，系統(tǒng)將停止傳動(dòng)的運(yùn)行； 3.4 系統(tǒng)報(bào)警 當(dāng)系統(tǒng)內(nèi)出現(xiàn)設(shè)備異常，系統(tǒng)觸發(fā)蜂鳴器，提示用戶關(guān)注設(shè)備運(yùn)行異常，系統(tǒng)內(nèi)設(shè)定的報(bào)警可分為以下幾類： 系統(tǒng)報(bào)警 系統(tǒng)報(bào)警主要提示用戶CPU及PLC硬件系統(tǒng)本身存在故障，告知用戶關(guān)注并及時(shí)解決出現(xiàn)的問題，這些問題包括： 出現(xiàn)輸入輸出模塊校驗(yàn)出錯(cuò)，請(qǐng)檢查所有I/O模塊，如發(fā)現(xiàn)未供電或者模塊紅燈閃爍，請(qǐng)檢查供電線路或者停電更換該模塊； 出現(xiàn)電池電量不足，請(qǐng)更換CPU存儲(chǔ)器電池； 出現(xiàn)自檢測(cè)出錯(cuò)，請(qǐng)將CPU（RESET鍵）為復(fù)位狀態(tài)，讓后再重新上電； 出現(xiàn)CPU運(yùn)行故障，系統(tǒng)故障代碼1001，將CPU運(yùn)行開關(guān)切換至停止（STOP）狀態(tài)，將CPU置為復(fù)位狀態(tài)，停止3-5秒后，重新將（RESET）置位，然后重新上電； 過程報(bào)警 包括機(jī)械泵（熱繼），羅茨泵（熱繼），分子泵故障報(bào)警，冷卻水報(bào)警，直流電源、中頻電源故障報(bào)警，電機(jī)故障報(bào)警，門、閥開關(guān)過程報(bào)警； 機(jī)械泵和羅茨泵報(bào)警信號(hào)取自于交流接觸器下端的熱繼器，出現(xiàn)用電設(shè)備電流（羅茨泵17A）超過熱繼允許范圍，產(chǎn)生報(bào)警； 分子泵報(bào)警信號(hào)取自于分子泵本身，分子泵出現(xiàn)旋轉(zhuǎn)異常、水冷卻異常，分子泵面板橙色燈常亮，產(chǎn)生報(bào)警； 冷卻水報(bào)警信號(hào)取自于管道中的水流開關(guān)，信號(hào)1表示水流正常，0信號(hào)產(chǎn)生報(bào)警； 直流電源報(bào)警信號(hào)取自于電源的啟動(dòng)標(biāo)志，電源在本地/遠(yuǎn)程模式下已正常啟動(dòng)，則不產(chǎn)生報(bào)警，如已啟動(dòng)，而設(shè)備未啟動(dòng)則產(chǎn)生報(bào)警； 中頻電源報(bào)警信號(hào)取自于電源的報(bào)警輸出，電源在運(yùn)行過程中出現(xiàn)報(bào)警，輸出報(bào)警信號(hào)； 注意：如中頻電源未供電，該報(bào)警信號(hào)一直存在； 電機(jī)故障信號(hào)取自于變頻器故障輸出，變頻器出現(xiàn)輸出故障，扭矩過載，產(chǎn)生報(bào)警； 門閥開關(guān)（分子泵閥、管道閥、破空閥，門）超時(shí)報(bào)警，以上設(shè)備均有開、關(guān)到位的信號(hào)，在指定時(shí)間（5S）內(nèi)設(shè)備執(zhí)行開關(guān)動(dòng)作，如果沒有由開->關(guān)或者由關(guān)->開,系統(tǒng)產(chǎn)生超時(shí)報(bào)警，提示用戶進(jìn)行處理； 傳動(dòng)異常報(bào)警 框架在行進(jìn)過程出現(xiàn)卡架、電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)異常、框架信息丟失、光電開關(guān)未感應(yīng)等情況產(chǎn)生此報(bào)警，該報(bào)警為緊急報(bào)警，如出現(xiàn)該報(bào)警提示用戶盡快進(jìn)行處理； 報(bào)警產(chǎn)生的條件信號(hào)取自于框架在傳動(dòng)輥道上實(shí)際運(yùn)行的速度（需實(shí)際測(cè)算得來）： 其中從進(jìn)片過渡室->出片過渡室之間的7個(gè)腔室，異常報(bào)警信號(hào)取每個(gè)感應(yīng)光電的信號(hào)，如在計(jì)算時(shí)間內(nèi)，電機(jī)在運(yùn)轉(zhuǎn)，而光電感應(yīng)開關(guān)一直存在被遮擋的情況，則表示該點(diǎn)的傳送存在問題，產(chǎn)生傳送異常報(bào)警； 除以上7個(gè)腔室外，其余的異常報(bào)警信號(hào)取自于框架信息的傳送時(shí)間，在計(jì)算時(shí)間內(nèi)，電機(jī)旋轉(zhuǎn)，而框架信息沒有傳送至下一段，則系統(tǒng)認(rèn)為傳送故障，產(chǎn)生傳送異常報(bào)警； 注意：傳送異常報(bào)警計(jì)算出準(zhǔn)確的傳送速度，特別是工藝區(qū)的濺射速度，因此，最好經(jīng)常觀察并修正相應(yīng)的補(bǔ)償系數(shù)； 電機(jī)線速度計(jì)算公式：電機(jī)轉(zhuǎn)速（1420r/min）/減速比（15:1）*3.1415(圓周)*輥道直徑（0.08米）=23.79米/分鐘（工頻速度） 實(shí)際測(cè)試速度：2.46米（隔離室長度）/133秒*60（秒）=1.08（米/分鐘） 1.08(米/分鐘)/（4.5變頻器輸出）*50（工頻）=12米（分鐘） 23.79/12=1.9(補(bǔ)償系數(shù)) 單個(gè)報(bào)警點(diǎn)計(jì)算公式：1.7（架子長度）/線速度設(shè)定值*1.2（放大時(shí)間倍數(shù)） 4.上位機(jī)軟件操作 TFT上位機(jī)采用Proface公司APL-3900系列工控機(jī)。屏幕顯示分辨率為1280*1024。畫面編輯采用GP-Pro EX，畫面運(yùn)行軟件為WinGP。 4.1 上位機(jī)畫面 上位機(jī)畫面由總貌、真空、傳動(dòng)、加熱、工藝氣路，濺射電源，參數(shù)設(shè)定，使能操作、報(bào)警、趨勢(shì)畫面和設(shè)備操作彈出窗口組成。 畫面布局采用頂部、中間區(qū)域、底部組成的布局模式，所有畫面頂部和底部是相同的，中部區(qū)域顯示各不相同，真空頁面顯示與真空度密切關(guān)聯(lián)的泵組、壓力，傳動(dòng)頁面實(shí)現(xiàn)與傳動(dòng)相關(guān)聯(lián)的傳動(dòng)電機(jī)、限位開關(guān)、光電開關(guān)、框架信息等； 頂部區(qū)域設(shè)計(jì)為上部工具條，顯示的部件有工程信息、通訊狀態(tài)顯示、環(huán)境模式、系統(tǒng)操作模式，泵組、傳動(dòng)運(yùn)行指示、時(shí)間與用戶信息和工藝畫面切換按紐； 底部區(qū)域設(shè)計(jì)為下部工具條，顯示的部件為歷史報(bào)警、管理畫面的切換按紐； 4.1.1 介紹 4.1.1.1 圖例 ①傳動(dòng)電機(jī) 電機(jī)背景色顯示為灰色表示電機(jī)處于停止?fàn)顟B(tài)，背景色顯示為綠色表示當(dāng)前電機(jī)正在運(yùn)行，背景色顯示為黃色且不斷閃爍表示傳動(dòng)電機(jī)存在運(yùn)行故障，提示用戶查找并處理該故障； 注意：待查明原因處理后，電機(jī)不能通過彈出操作頁面進(jìn)行操作，需要對(duì)故障進(jìn)行一次復(fù)位； ②門限位開關(guān) 門限位開關(guān)顯示開到位，背景色顯示為紅色表示門已經(jīng)關(guān)到位狀態(tài)，背景色顯示為綠色表示門已經(jīng)開到位，灰色表示設(shè)備沒有開到位也沒有關(guān)到位，正在執(zhí)行開關(guān)動(dòng)作，顯示為黃色不斷閃爍表示門在開關(guān)過程時(shí)出現(xiàn)超時(shí)故障（默認(rèn)為5S）； 注意：對(duì)于氣壓驅(qū)動(dòng)的設(shè)備，出現(xiàn)開關(guān)超時(shí)故障的現(xiàn)象，大多數(shù)情況屬于短時(shí)氣壓不足引起的，一般的操作步驟，將出現(xiàn)的故障復(fù)位，系統(tǒng)將再次執(zhí)行（或手動(dòng)執(zhí)行）開關(guān)動(dòng)作，再次出現(xiàn)超時(shí)故障，則需要檢查設(shè)備； ③光電開關(guān) 背景色顯示為綠色表示當(dāng)前檢測(cè)位置存在框架（光電開關(guān)被架子擋?。?，顯示灰色表示當(dāng)前檢測(cè)位置無傳送框架； ④機(jī)械泵 背景色顯示為綠色表示機(jī)械泵正在運(yùn)行，灰色表示機(jī)械泵停止，顯示黃色且閃爍表示泵熱繼電器運(yùn)行過載； ⑤羅茨泵 羅茨泵狀態(tài)顯示方式與機(jī)械泵相同； ⑥分子泵 分子泵正在旋轉(zhuǎn)顯示背景色顯示為綠色，顯示為灰色表示設(shè)備已完全停止旋轉(zhuǎn)，顯示為藍(lán)色表示設(shè)備停止命令已輸出但設(shè)備正在停止中，完全停止約需8-10分鐘，背景色顯示為黃色并閃爍表示分子泵運(yùn)行故障； 注意：分子泵出現(xiàn)的故障只能在設(shè)備上進(jìn)行復(fù)位，面板上橙色燈常亮表示設(shè)備存在故障，橙色燈閃爍，表示存在警告，手動(dòng)進(jìn)行復(fù)位即可； ⑦RF中頻電源 背景色顯示為綠色表示中頻電源中處于運(yùn)行狀態(tài)，灰色表示中頻電源處于停止?fàn)顟B(tài)，顯示黃色且閃爍表示中頻電源運(yùn)行故障； ⑧DC直流電源 直流電源的顯示方式與中頻電源相同； ⑨閥 總貌畫面顯示了管道閥、破空閥、自吸閥和薄膜計(jì)閥，閥背景色顯示為綠色表示閥門打開，背景色為灰色表示閥門關(guān)閉，顯示為黃色表示閥門在開關(guān)過程中存在超時(shí)故障； ⑩ 框架信息顯示，綠色表示當(dāng)前腔室存在框架和片，灰色表示當(dāng)前位置只存在框架； 4.1.2總貌 總貌頁面顯示TFT生產(chǎn)線的主要設(shè)備信息，顯示傳動(dòng)，真空，濺射的設(shè)備信息，總貌頁面只做顯示用，其表示的設(shè)備不帶操作彈出窗體，需要對(duì)設(shè)備進(jìn)行操作需切換至對(duì)應(yīng)的操作頁面； 總貌頁面顯示設(shè)備的真空度，生產(chǎn)線使用了4種真空檢測(cè)計(jì)： 7只PSG500電阻規(guī)，使用在進(jìn)片室、進(jìn)片緩沖室、出片室、出片緩沖室、進(jìn)片室管道、出片室管道和工藝區(qū)管道，PSG500檢測(cè)量程為5*10-2Pa < P <1*105 Pa; 5只PEG100電離規(guī)，使用在進(jìn)片緩沖室、進(jìn)片過渡室、中間過渡室、出片過渡室、出片緩沖室，PEG量程范圍為1.0e-09 < P <1.00e-02 mbar； 4只CDG045薄膜計(jì)，使用在MF濺射室、DC濺射室，CDG045薄膜計(jì)的量程范圍為0.0 分級(jí)空開，單個(gè)加熱器空開，PLC柜內(nèi)空開是否已合閘； 供電確認(rèn)后，開啟PLC和啟動(dòng)計(jì)算機(jī)，啟動(dòng)后，確認(rèn)以下外部狀況； ① 氣壓是否存在異常； ② 水壓是否存在異常； ③各級(jí)水路是否存在報(bào)警； ④上片、卸片、回送、工藝區(qū)急停按鈕是否被按下； ⑤設(shè)備是否存在故障； 以上外部狀況確認(rèn)后，執(zhí)行以下操作： ① 確認(rèn)框架信息，手動(dòng)操作傳送電機(jī)，記錄框架位置，補(bǔ)齊框架信息； ② 切換至真空頁面，對(duì)單個(gè)分子泵閥操作使能； ③在真空頁面，點(diǎn)擊分子泵，對(duì)單個(gè)分子泵進(jìn)行供電； ④切換至分子泵使能頁面，對(duì)分子泵操作使能； ⑤切換至參數(shù)設(shè)定頁面，確認(rèn)啟動(dòng)參數(shù)和流量供給； ⑥切換至模式切換頁面，確認(rèn)上片、卸片等待時(shí)間； 4.1.12.1 停機(jī)注意事項(xiàng) ①確認(rèn)直流、中頻電源已關(guān)閉； ②確認(rèn)腔室內(nèi)溫度已低于70℃； ③確認(rèn)所有泵組已停止運(yùn)行； ④確認(rèn)框架已在回傳區(qū)排架； ⑤確認(rèn)1#、6#門已關(guān)閉，2#、3#、4#、5#門已打開； ⑥關(guān)閉計(jì)算機(jī)； ⑦停止水、氣等設(shè)備； ⑧關(guān)閉供電； 　5. 工程維護(hù) 5.1 傳輸設(shè)置 打開Pro-Face軟件，選擇工程菜單下->傳輸工程->傳輸設(shè)置; 在通訊端口設(shè)置內(nèi)設(shè)置傳輸端口為LAN，端口設(shè)置為8000，傳輸工程設(shè)置為全部傳輸； 5.1.1 傳輸工程文件 在Pro-Face軟件界面，選擇工程菜單下->傳輸工程->其他傳輸； 在傳輸工具頁面右側(cè)，點(diǎn)擊”選擇工程”按鈕，選擇需要傳輸?shù)墓こ?，點(diǎn)擊”發(fā)送工程”； 在彈出”選擇人機(jī)界面”窗體顯示局域網(wǎng)絡(luò)中存在的安裝有Win GP的網(wǎng)絡(luò)用戶，如出現(xiàn)地址欄為空的現(xiàn)象，可能代表2種情況，網(wǎng)絡(luò)內(nèi)沒有正在運(yùn)行的WinGP人機(jī)界面的計(jì)算機(jī)或者網(wǎng)絡(luò)用戶采用動(dòng)態(tài)IP分配。出現(xiàn)第二種情況，需要手動(dòng)添加網(wǎng)絡(luò)用戶；點(diǎn)擊添加按鈕； 在添加IP地址欄內(nèi)輸入安裝有Win GP的用戶地址； 添加完成后，選中需要傳輸?shù)腎P地址，點(diǎn)擊”確定”； 完成后，點(diǎn)”確定”關(guān)閉傳輸。 　5.2 WINGP運(yùn)行 雙擊桌面WinGP圖標(biāo)，系統(tǒng)彈出運(yùn)行界面，如相應(yīng)的工程文件沒有下載至系統(tǒng)內(nèi)，軟件的初始界面為空白，顯示為日文字體，如相應(yīng)工程文件已下載，則直接進(jìn)入工程運(yùn)行界面； WinGP軟件為授權(quán)運(yùn)行版，計(jì)算機(jī)沒有安裝軟件授權(quán)，只能運(yùn)行3小時(shí)。 6.變量地址表 見附件1