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1、磁控濺射鍍膜工藝簡介2014.6.6 尖端放電： 通常情況下空氣是不導(dǎo)電的，但是如果電場特別強(qiáng)，空氣分子中的正負(fù)電荷受到方向相反的強(qiáng)電場力，有可能被“撕”開，這個(gè)現(xiàn)象叫做空氣的電離。由于電離后的空氣中有了可以自由移動的電荷，空氣就可以導(dǎo)電了。空氣電離后產(chǎn)生的負(fù)電荷就是電子，失去電子的原子帶正電，叫做正離子。 由于同種電荷相互排斥, 導(dǎo)體上的靜電荷總是分布在表面上，而且一般說來分布是不均勻的(圖2)，導(dǎo)體尖端的電荷特別密集, 所以尖端附近空氣中的電場特別強(qiáng), 使得空氣中殘存的少量離子加速運(yùn)動。這些高速運(yùn)動的離子撞擊空氣分子，使更多的分子電離。這時(shí)空氣成為導(dǎo)體，于是產(chǎn)生了尖端放電現(xiàn)象. 一、名詞解
2、釋 輝光放電： 低壓氣體中顯示輝光的氣體放電(空氣中的電子大概在1000對/cm3,由于高壓放電現(xiàn)象在低氣壓狀態(tài)下會產(chǎn)生輝光現(xiàn)象）現(xiàn)象，即是稀薄氣體中的自激導(dǎo)電現(xiàn)象。在置有板狀電極的玻璃管內(nèi)充入低壓（約幾毫米汞柱）氣體或蒸氣，當(dāng)兩極間電壓較高（約1000伏）時(shí)，稀薄氣體中的殘余正離子在電場中加速，有足夠的動能轟擊陰極，產(chǎn)生二次電子，經(jīng)簇射過程產(chǎn)生更多的帶電粒子，使氣體導(dǎo)電。輝光放電的特征是電流強(qiáng)度較小（約幾毫安），溫度不高，故電管內(nèi)有特殊的亮區(qū)和暗區(qū)，呈現(xiàn)瑰麗的發(fā)光現(xiàn)象。一、名詞解釋 等離子體： 將氣體加熱，當(dāng)其原子達(dá)到幾千甚至上萬攝氏度時(shí)，電子就會被原子“甩”掉，原子變成只帶正電荷的離子。此
3、時(shí)，電子和離子帶的電荷相反，但數(shù)量相等，這種狀態(tài)稱做等離子態(tài) 。大家常見的霓虹燈，在它點(diǎn)亮以 后，燈管里的氣體就被電離了，成為電子與離子的混合物等離子體。極光，是我們看見的大自然里的等離子體。 一、名詞解釋 Sputter濺鍍定義：在一相對穩(wěn)定真空狀態(tài)下，陰陽極間產(chǎn)生輝光放電，極間氣體分子被離子化而產(chǎn)生帶電電荷，其中正離子受陰極之負(fù)電位加速運(yùn)動而撞擊陰極上之靶材，將其原子等粒子濺出，此濺出之原子則沉積于陽極之基板上而形成薄膜，此物理現(xiàn)象即稱濺鍍。而透過激發(fā)、解離、離子化等反應(yīng)面產(chǎn)生的分子、原子、受激態(tài)物質(zhì)、電子、正負(fù)離子、自由基、UV光（紫外光）、可見光等物質(zhì)，而這些物質(zhì)混合在一起的狀態(tài)就稱之為電漿（Plasma）。下圖為Sputter濺鍍模型（類似打臺球模型）：一、名詞解釋 二、濺射原理解釋 二、濺射原理解釋 二、濺射原理解釋 二、濺射原理解釋 三、磁控濺射原理解釋 三、磁控濺射原理解釋 三、磁控濺射原理解釋 三、磁控濺射原理解釋 三、磁控濺射原理解釋 使靶材原子或分子等濺射出來并在管面經(jīng)過吸附、凝結(jié)、表面擴(kuò)散遷移、碰撞結(jié)合形成穩(wěn)定晶核。然后再通過吸附使晶核長大成小島，島長大后互相聯(lián)結(jié)聚結(jié)，最后形成連續(xù)狀薄膜。三、磁控濺射原理解釋 四、反應(yīng)濺射 四、反應(yīng)濺射 四、反應(yīng)濺射 五、常見薄膜 五、常見薄膜 六、影響薄膜質(zhì)量的因素 請批評指正，謝謝！
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