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1 緒 論
1.1 非晶合金發(fā)展概述
非晶態(tài)合金不具備長程原子有序，也叫玻璃態(tài)合金，是新型材料研究的熱點之一。非晶合金具有優(yōu)異的力學性能（高的強度、硬度等），耐腐蝕性能，軟、硬磁性能以及儲氫性能等，在機械、通訊、航空航天、汽車工業(yè)乃至國防軍事上都具有廣泛的應用潛力。因此，開發(fā)塊體非晶合金成為這類材料實用化的重點。
1943年，德國物理學家Kramer用蒸發(fā)沉積的方法成功制備出了非晶態(tài)薄膜，自此，非晶的研究逐步開展。1951年，美國物理學家Turnbull通過水銀的過冷實驗，提出液態(tài)金屬可以過冷到遠離平衡熔點以下而不產生形核與長大，達到非晶態(tài)，Turnbull是非晶態(tài)合金的理論奠基人。
1960年Duwe等采用熔體快速冷卻方法首先制備出Au-Si非晶態(tài)合金。1969年，Pond等用扎輥發(fā)制備出了長達幾十米的非晶薄帶。20世紀70年代后，人們制備出厚度小于50μm、寬15cm的連續(xù)非晶薄帶。1974年Chen在約103K/s的冷卻速度條件下用Pd-Cu-Si熔體首次得到毫米級直徑的非晶。20世紀80年代前期，Turnbull等采用氧化物包覆技術以10K/s的冷卻速度制備出厘米級的Pd-Ni-P非晶。20世紀80年代，A.Inoue等在日本東北大學成功發(fā)現(xiàn)了La-Al-Ni和La-Al-Cu等三元合金。此后，又制備了厘米級的四元和五元塊體非晶合金。2000年Inoue課題組成功發(fā)展了高強度Cu-Zr-Hf-Ti和Co-Fe-Ta-B快體非晶合金。2003年，美國橡樹嶺國家實驗室Lu和Liu使Fe基非晶合金的尺寸從過去的毫米推進到厘米級，最大直徑可達12mm。此后哈工大沈軍等又將Fe基快體非晶合金尺寸提高到16mm。最近，中科院金屬所的Ma等發(fā)現(xiàn)了尺寸可達25mm的Mg-Cu-Ag-Pd非晶態(tài)合金。目前世界上最大的稀土基金屬玻璃材料—直徑為35mm的鑭基金屬玻璃系，由浙江大學蔣建中等研制成功。由此，發(fā)現(xiàn)具有大的非晶形成能力的非晶合金系是目前比較重要的。
鋯基非晶合金作為一種新型的非晶合金系列在近年來引起了人們的關注。多組元鋯基非晶合金系列都具有較低的臨界冷卻速度，采用傳統(tǒng)的方法如吸鑄法，水淬法等均可以將其制備成大塊非晶。目前，通過負壓鑄造法已制備出直徑達30mm的鋯基大塊非晶合金。鋯基非晶合金的研究主要集中在熱力學計算、晶化行為、短程和中程有序結構以及性能等幾個方面。鋯基多組元非晶合金由多種常用金屬或類金屬元素組成，其非晶形成的臨界冷卻速度遠低于傳統(tǒng)非晶合金，有些已經接近于傳統(tǒng)的氧化物玻璃。由于其具有熱穩(wěn)定性高、過冷液相區(qū)寬等諸多特點，因此在國際上引起了廣泛重視。
1.2 Zr基非晶合金的性能
1.2.1 力學性能
非晶合金的原子呈長程無序排列、沒有晶體缺陷, 使其具有獨特的變形行為和力學性能。一些典型鋯基非晶合金的力學性能如表1.1所示。
表1.1 Zr 基非晶合金的典型力學性能
1.2.1.1 彈性
雖然塊狀非晶合金的彈性模量由于合金體系的不同而有較大差別，但與相同成分的晶態(tài)合金相比他們的彈性模數(shù)值較低，彈性應變量卻很大，可達2%左右。Zr 基非晶合金具有極高的彈性比例，Howmen 公司已成功開發(fā)出Zr基非晶合金的高爾夫球桿。表1.2為典型Zr 基非晶合金的楊氏模量和斷裂強度。
表1.2 Zr 基大塊非晶合金的楊氏模量和強度
1.2.1.2 強度和硬度
圖1.1 為Zr基非晶合金與La-、Mg-、Pd-、Fe-基非晶合金, 以及一些典型的晶態(tài)合金的抗拉強度、硬度與彈性模量間的關系?？梢钥闯? Zr 基非晶合金具有較高的屈服強度和硬度, 遠高于晶態(tài)合金。
鑄態(tài) 非晶合金的屈服強度為1.56GPa, 斷裂強度為1.65 Gpa； (x=7.5%～12.5%)塊體非晶合金的壓縮斷裂強度和硬度分別1.73～1.86 GPa 和693～824 HV, 并隨Ti含量的增加而提高；經高強脈沖電流預處理的 大塊非晶在不發(fā)生晶化的條件下其抗壓強度最高達2.02GPa?？梢奪r基大塊非晶合金的強度仍有進一步提高的潛力。
對非晶合金的動態(tài)壓縮試驗表明, 在高應變速率(102～/s)下, 屈服強度對應變速率不敏感。Bruck 等人發(fā)現(xiàn), 試樣的長徑比對 非晶合金的壓縮屈服強度有較大影響。但在動態(tài)載荷作用下,壓縮強度對長徑比的變化不敏感。大塊非晶合金的強度還受制備方法的影響。如采用壓鑄法和銅模法制備的Zr-Al-Ni-Cu 非晶合金的彎曲強度, 前者要比后者高得多, 這是由于這兩種方法在冷卻過程中造成的殘余應力差別很大的緣故。Liu 等研究了一系列試驗環(huán)境下的拉伸和壓縮行為, 結果表明試驗環(huán)境并不影響塊狀非晶合金的強度和韌性。
1.2.1.3 塑性和韌性
室溫下非晶合金一般呈現(xiàn)脆性斷裂特征, 塑性變形量主要由應力狀態(tài)決定。在拉伸條件下, 非晶合金的變形局限于一狹窄的剪切帶內, 塑性變形也集中于剪切帶內, 而在試樣其他部分仍保持剛性狀態(tài)。在彎曲條件下可產生多個剪切帶, 相應地增大了伸長率。
Conner 等人和Gilbert 等人最早對塊狀 非晶合金的斷裂韌性()進行了測試。采用三點彎曲法, 試樣的厚度為2.2mm,測得約55。相當于高強鋼和Ti 合金的水平。2001 年,Xing采用真空吸鑄法制備出φ3mm 的非晶合金, 壓縮時的塑性變形為4.9%左右。2005 年, Jayanta研制出具有超高強度和較高塑性的CuZr 非晶合金材料, 斷裂強度達2265 MPa, 同時具有一般非晶材料中不具備的加工硬化效應和極大的延展性(延展率達20%)；隨后,Wang在2007 年研制出非晶合金, 它在室溫條件下同時具有超高塑性, 延展率達160%。
1.2.2 耐腐蝕性能
在腐蝕過程中, 由于晶體具有晶界、位錯和偏析等缺陷, 不易生成穩(wěn)定的鈍化膜, 成為腐蝕的源區(qū)。非晶合金沒有這些缺陷和不均勻性, 能夠形成均勻鈍化膜, 因此, 非晶合金具有良好的耐腐蝕性能。
Zr 基非晶合金比晶體合金更耐腐蝕, 它的耐腐蝕性是不銹鋼的100 倍, 有“超不銹鋼”的美譽。含有少量鈮或鈦的 非晶合金, 在NaC1 溶液中的具有良好的抗腐蝕性能。 鑄態(tài)非晶合金在水中具有良好的耐腐蝕性能, 但隨水溫的升高, 其耐腐蝕性能有所下降, 這主要是由于在室溫時, 非晶合金表面形成一層致密的保護膜, 而隨著水溫的升高膜越來越厚并形成多孔結構。
1.2.3 加工性能
非晶合金的塑性變形量受溫度和應力狀態(tài)影響很大, 在溫度低于玻璃轉變點Tg 時, 非晶合金以剪切方式變形。由于多數(shù)塊狀非晶合金都存在大的過冷液相區(qū), 當過冷液體的黏度達到Pa·s 數(shù)量級時, 過冷液體形成類似于氧化物玻璃的無序結構, 表現(xiàn)為牛頓流動狀態(tài), 可在較寬的應變率范圍內發(fā)生黏性流動, 獲得極高的塑性形成能力。
1.3 真空獲得設備發(fā)展概述
1.3.1 真空技術發(fā)展簡介
隨著真空技術在各行各業(yè)應用的日益寬泛和不可或缺,人們對實現(xiàn)和保證真空狀態(tài)下工藝過程的重復性可靠性及其技術進步,已在不斷地提出新的要求。這其中對真空成套設備,特別是對真空獲得設備的性能、性價比和服務最為關切,當然還有工藝軟件、管理技術等。真空獲得技術是一切真空應用的技術基礎,真空獲得設備關系到所有真空應用設備的運行和使用。真空獲得設備行業(yè)如何適應我們不斷發(fā)展的真空事業(yè),如何滿足人們在性能、性價比和服務方面不斷提出的新要求?本文試圖通過對我國真空設備行業(yè)制造的,在應用中量大面廣的水環(huán)泵、旋片泵、滑閥泵、羅茨泵、擴散泵等泵種的產能和質量分析對比,給出其量和質的基本狀況以及面對國內外激烈的市場競爭所應采取的對策
1.3.2 綜合評價
我們真空設備行業(yè)制造的系列低端真空獲得設備產品在量的方面能夠滿足我國國民經濟的需求,如往復泵、水環(huán)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等。這些泵種的技術經濟指標近10年來有了一定程度的提高,在性能方面也基本上能夠滿足不同工藝過程的要求,目前在國內有較高的市場占有率,在3~5年內會有一定的生命力。
這些泵種必須進一步改進和創(chuàng)新,提高其關鍵的技術指標,如抽速與效率、極限壓力、返油率、噪聲、要降低能耗以取悅用戶、要減輕重量以降低成本。特別是要積極開展可靠性或壽命的實驗研究,要有效開展減振、降噪、消煙等研究,以滿足日益嚴格的環(huán)保要求,這些都是未來與外商品牌爭奪市場份額最主要的戰(zhàn)場。
配套附件研發(fā)和備件供應是主機成熟的標志,如油霧撲集器、消音器、冷阱等。在國外這部分配套附件和易損備件的銷售收入接近主機銷售收入的60%,利潤空間大,又能滿足客戶需求,還能使主機性能得以充分發(fā)揮。我們應該重視配套附件研發(fā)和供應,并把這一工作列到主機的工作序列中去。
目前我國中外企業(yè)在生產品種上,除分子泵、少量的離子濺射泵外,其他高端真空獲得設備基本上是空白,如低溫泵、各式干泵等。我們可能有3~5年較為寬松的時空環(huán)境來研發(fā)高端真空獲得設備或提高其技術經濟指標。面對IT行業(yè)不斷增長的巨大需求,有條件的單位應早做打算。綜合上述,我認為未來3~5年是決定我國真空獲得設備制造行業(yè)各個企業(yè)命運走向的關鍵時段。
2 鋯基非晶合金真空熔煉壓力熔滲爐真空系統(tǒng)設計
2.1 工作原理及主要技術性能指標
① 真空感應熔煉技術：利用電磁感應與渦流熱的原理將金屬原材料融化，同時利用感應熔煉的電動力效應與攪拌原理使合金各組分分布均勻。
② 壓力熔滲技術：使鎢絲與塊體非晶合金復合材料之間的界面處于理想狀態(tài)。
③ 快速凝固技術：制備鎢絲增強的塊體非晶合金基復合材料。
本系統(tǒng)為三室立臥組合全不銹鋼式結構。主要由“真空獲得及測量系統(tǒng)”,“感應熔煉澆鑄系統(tǒng)”,“壓力熔滲系統(tǒng)及介質冷卻快淬系統(tǒng)”,“電控系統(tǒng)”，“工作氣體充氣排氣系統(tǒng)”，“工作臺架系統(tǒng)”、“冷卻水系統(tǒng)”等組成。
1極限真空度：熔煉室：6×10-4Pa（冷態(tài)）；熔滲室：6×10-4Pa（冷態(tài)）；快淬室6×10-1Pa；漏率<10-8Pa.L/s；
2感應熔煉坩堝容量：≤10Kg(Fe)；采用電動翻轉機構澆鑄方式；
3單爐每次產量5只鑄件；
4感應熔煉最高加熱溫度：1300℃；采用熱電偶測溫；
5感應熔煉電源：60Kw/4KHz(IGBT)，風冷；
6熔滲室內保溫爐加熱均溫區(qū)高度300mm；熔滲室保溫電阻爐加熱電源: 20KW低壓直流加熱電源；熔滲室加熱器采用鉬片電熱元件；鉬+不銹鋼組合金屬筒屏蔽保溫；
7熔滲室加熱溫度：1000℃±2℃；PID控溫；溶滲室保護性氣氛壓力最大50Bar;溶滲室上蓋電動升降。
8熔滲室保護氣氛：氬氣，通過氬氣瓶向熔滲室充氣；排氣時，氣體排入儲氣罐；
9熔滲室設有保護性的安全閥及由壓力傳感器和充排氣系統(tǒng)組成的壓力自動控制系統(tǒng)；
10鑄模管內部尺寸：?30×300；鑄模管石英件一套，鑄模管對開金屬模一套；
11控制模式分為手動繼電控制及計算機自動控制，兩種模式可切換；相關工藝參數(shù)及曲線可存儲及打?。?
12.重要冷卻部位單獨設有水流保護聯(lián)鎖裝置；
2.2 真空獲得系統(tǒng)
2.2.1 真空機組選用原則
1、真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的極限真空及工作壓強要求。如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設備真空度半個到一個數(shù)量級。
2、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍，如：擴散泵為10-3~10-7mmHg，在這樣寬壓強范圍內，泵的抽速隨壓強而變化，其穩(wěn)定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而，泵的工作點應該選在這個范圍之內，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強應小于1×10-5mmHg為好。
3、真空泵在其工作壓強下，應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。
4、正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的真空泵出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。
5、真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時，應該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。
6、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備，如冷凝器、除塵器等。
7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。
8、真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
9、真空泵的價格、運轉及維修費用。
2.2.2 真空泵工作壓力范圍
根據(jù)設計要求真空室冷態(tài)極限真空為6×10-4 Pa，該真空爐真空系統(tǒng)為高真空系統(tǒng)。表1為目前各種真空泵的工作壓力范圍，可獲得要求極限真空的泵有油擴散泵、鈦泵、渦輪分子泵、低溫泵。
鈦泵和低溫泵通常用在超高真空，在超高真空范圍，低溫泵是可以取代其它類泵的一種清潔抽氣設備。另外鈦泵由于鈦升華有污染，低溫泵在低溫下工作，因此這兩種泵都不適合作為此真空爐的主泵，此外這兩種泵價格也比較昂貴。油擴散泵抽氣速率大，也可滿足真空度的要求，缺點是有返油，使用起來也比較麻煩。
表1各種真空泵工作壓力范圍
我國分子泵的抽速有110、150、450、550、600、1200、1600和3500等多種規(guī)格，國際上渦輪分子泵抽速從50已發(fā)展到25000（日本）甚至達40000（俄羅斯）。此真空爐用分子泵為主泵可滿足設計要求，分子泵工作環(huán)境清潔，無油，能耗低，啟?？?，缺點是應避免抽除帶粉塵、腐蝕性或爆炸性氣體，價格較貴。
因此，該真空爐以分子泵為主泵，設計的真空系統(tǒng)如圖1所示。
1 旋片泵、 2 放氣閥、3羅茨泵 、4預抽泵閥I、5前級泵閥I、6分子泵I、7 高真空閥、8除塵器、9 熔煉室 、10 真空規(guī) 、11放氣閥I、 12壓力表閥、13壓力表、14 真空規(guī)II（ZDF-IV復合真空計）、15 真空規(guī)閥II 、16 放氣閥II、17 熔滲室、18預抽泵閥II、19高真空閥、20分子泵II、 21前級泵閥II、 22羅茨泵II 、23前級管道放氣閥、24旋片泵II、 25放氣閥、26旁通閥III 、27高真空閥 、28羅茨泵III 、29前級泵閥III 、30 前級管道放氣閥III、 31 2X-70旋片式真空泵、32 真空規(guī)III、 33高壓閥
圖1 真空獲得系統(tǒng)
真空獲得方案簡圖
2.2.3 旋片泵工作原理及其型號確定
2.2.3.1 旋片泵簡介
旋片式真空泵是利用轉子和可在轉子槽內滑動的旋片的旋轉運動以獲得真空的一種變容機械真空泵。當采用工作液來進行潤滑并填充泵腔死隙，分隔排氣閥和大氣時，即為通常所稱的油封旋片真空泵。無工作液時，即為干式旋片真空泵。在油封旋片真空泵中，國內習慣上稱帶傳動的為旋片真空泵，而把泵與電動機直接連接或用聯(lián)軸器連接的稱為直聯(lián)旋片真空泵。在每種泵中，又有單級和雙級之分。在單級泵中，由于選用的結構形式和參數(shù)不同，泵的極限壓力和用途也不同。它們的共同特點是結構較簡單，使用方便，能從大氣壓力下起動，可直接排人大氣，偏心質量較小，維護簡便，雙級系的極限壓力為6x10一2一lxro一ZPa，一種單級泵可達4Pa左右，另一種單級泵為50~200Pa左右。自1909年蓋德(W.Gaede)發(fā)明旋片泵并取得德國專利，1936年又發(fā)明氣鎮(zhèn)泵，1941年取得專利以來，旋片真空泵得到廣泛應用和不斷完善。20世紀60年代末，國際上出現(xiàn)了提高轉速，直聯(lián)的小型化趨勢，70年代初出現(xiàn)了直聯(lián)系列產品，到80年代初，又推出了改進的系列產品，有多種可供用戶選配的附件，可以保護泵或保護環(huán)境，泵本身結構也有改進而使可靠性提高。在泵的結構方面，為了能在停泵時防止返油，有的設有能自動切斷油路的止回閥，有的設有進氣通道截止閥，有的為了能在泵開氣鎮(zhèn)運轉突然停電時自動切斷氣路來保持泵口處于真空狀態(tài)而設有油泵和控制結構。在附件方面，有消霧器、氣味過濾器、阻擋碎玻璃等雜物用的擴口過濾器、灰塵過濾器、蒸汽凝結阱、化學阱，有控制泵溫以提高水蒸氣抽除率和保護泵的溫控水量調節(jié)閥。到了20世紀80年代末90年代初，又推出了油過濾器，能監(jiān)視油溫、油壓、油質等的電子顯示器，甚至可以與計算機聯(lián)結，進行自動控制，采用強制潤滑和風冷，使泵的連續(xù)工作人口壓力達10kPa，甚至更高，同一臺系的適用范圍因而更大。雙級旋片真空泵，可以廣泛用于冰箱，空調機，燈泡、日光燈、瓶膽生產和電子、冶金、醫(yī)藥、化工、濾油機、印刷機械、包裝機等工業(yè)，可作為擴散泵、羅茨泵、分子泵等的前級泵，供電子儀器、醫(yī)療儀器等配套和試驗研究應用。由于直聯(lián)泵沒有帶傳動摩擦的粉塵的污染，體積小，重量輕，材料節(jié)約，功能日趨完善，更被廣泛推廣應用。
2.2.3.2 旋片泵結構及工作原理
如圖為旋片泵的工作原理示意圖，旋片泵主要由定子、轉子、旋片、定蓋、彈簧等零件組成。其結構是利用偏心地裝在定子腔內的轉子（轉子的外圓與定子的內表面相切兩者之間的間隙非常小）和轉子槽內滑動的借助彈簧張力和離心力緊貼在定子內壁的兩塊旋片，當轉子旋轉時，始終沿定子的內壁滑動。
兩個旋片把轉子、定子內腔和定蓋所圍成的月牙型空間分隔成A、B、C三個部分，當轉子按圖示方向旋轉時，與吸氣口相通的空間A的容積不斷地增大，A空間的壓強不斷的降低，當A空間內的壓強低于被抽容器內的壓強，根據(jù)氣體壓強平衡的原理，被抽的氣體不斷地被抽進吸氣腔A，此時正處于吸氣過程。B腔的空間的容積正逐漸減小，壓力不斷地增大，此時正處于壓縮過程。而與排氣口相通的空間C的容積進一步地減小，C空間的壓強進一步的升高，當氣體的壓強大于排氣壓強時，被壓縮的氣體推開排氣閥，被抽的氣體不斷地穿過油箱內的油層而排至大氣中，在泵的連續(xù)運轉過程中，不斷地進行著吸氣、壓縮、排氣過程，從而達到連續(xù)抽氣的目的。
排氣閥浸在油里以防止大氣流入泵中，油通過泵體上的間隙、油孔及排氣閥進入泵腔，使泵腔內所有運動的表面被油覆蓋，形成了吸氣腔與排氣腔的密封，同時油還充滿了一切有害空間，以消除它們對極限真空的影響。
雙級旋片式真空泵由兩個工作室組成，兩室前后串聯(lián)，同向等速旋轉，Ⅰ室是低真空級，Ⅱ室是高真空級，被抽氣體由進氣口進入Ⅱ室，當進入的氣體壓力較高時，氣體經Ⅱ室壓縮，壓強急速增大，被壓縮的氣體不僅從高級排氣閥排出，而且經過中壁通道，進入Ⅰ室，在Ⅰ室被壓縮，從低級排氣閥排出；當進入Ⅱ室的氣體壓力較低時，雖經Ⅱ室的壓縮，也推不開高級排氣閥排出，氣體全部經中壁
通道進入Ⅰ室，經Ⅰ室的繼續(xù)壓縮，由低級排氣閥排出，因此雙級旋片式真空泵比單級旋片式真空泵的極限真空高
2.2.3.3 旋片泵型確定號
2XT-70機械泵一臺 2XT-30機械泵一臺
TRP-48機械泵一臺
2.2.4 羅茨泵工作原理及其型號確定
用于較高真空的羅茨真空泵(機械增壓泵)不能直排大氣，如直排大氣會造成羅茨真空泵吸氣口與排氣口壓差太大，從而使羅茨真空泵過載，如單純加大羅茨真空泵電機功率又會造成羅茨真空泵過熱以致羅茨真空泵轉子之間的微小間隙很快因熱膨脹而卡死。為保證羅茨真空泵能達到較高真空必須保證羅茨真空泵轉子之間的間隙。所以羅茨真空泵使用時必須設有前級泵，用前級泵將系統(tǒng)內壓力抽至一定范圍內時再啟動羅茨真空泵，如此可以避免羅茨真空泵過載。前級泵可以選用水(液)環(huán)式真空泵、旋片式真空泵、滑閥式真空泵、往復式真空泵等可直排大氣的真空泵。
羅茨泵－水環(huán)泵機組廣泛地用于化工、食品升華干燥、高空模擬試驗等的抽真空系統(tǒng)中。這類聯(lián)合機組，大致有如下幾種類型。
?。?）羅茨泵－水環(huán)泵：機組中水環(huán)泵的作用是造成羅茨泵所需的預備真空，因此要求該水環(huán)泵的最大允許排氣壓力，即是說，一方面要盡量提高水環(huán)泵的極限真空，另一方面，也要設法提高羅茨泵的最大允許排氣壓力。
一般情況，單級水環(huán)泵極限真空度不高，而目前我國生產的羅茨泵要求的預真空又較高，故實際上不用單級水環(huán)泵作為羅茨泵的前級泵，而用能提高極限真空度的雙級水環(huán)泵作為前級泵使用，采用雙級水環(huán)泵，還可以提高機組的極限真空度。
一臺羅茨泵的極限真空度是較低的，特別是當它與水環(huán)泵組合運行時，使用范圍受到限制，整個機組的極限真空度可能更低，但若用兩臺羅茨泵串聯(lián)再與水環(huán)泵組合，就能大大提高機組的極限真空度。
故在這種類型里通常見到的是兩臺羅茨泵串聯(lián)后再用雙級水環(huán)泵作前級泵組成機組。
（2）羅茨泵－水環(huán)泵－大氣泵機組：即使采用雙級水環(huán)泵，極限真空度的提高也只是在一定的范圍之內，這是因為受到水的飽和蒸汽壓的限制。水環(huán)泵的理論極限壓力就是水的飽和蒸汽壓。如果考慮氣體返流等因素的影響，實際上水環(huán)泵的極限壓力顯著比該水溫上的飽和蒸汽壓力為高。為了提高前級泵的極限真空度，還可以使水環(huán)泵與大氣泵組合使用。
見圖3-55這樣，串聯(lián)一級大氣泵后的極限真空度可達20~30Torr,如果水環(huán)泵與二級大氣泵組合，則極限真空可達2~10Torr。
?。?）羅茨泵－水環(huán)泵并聯(lián)機械真空泵：此機組主要用于需要處理大量水蒸汽，且極限真空度要求較高的抽真空系統(tǒng)，例如在真空干燥方面。
要求處理大量水蒸汽的真空系統(tǒng)中，使用水環(huán)泵是較合適的，但由于其極限真空度不高，致使整個機組的極限真空度較低。雖然在要求真空度較高的抽真空系統(tǒng)中，需要極限真空較高的機械真空泵作為前級泵使用。但由于水環(huán)泵的耗電量大，效率很低，噪聲高，在需要長時間的真空干燥系統(tǒng)中，用水環(huán)泵作為羅茨泵前級泵很不經濟。
在上述情況下，可將氣鎮(zhèn)機械真空泵與水環(huán)泵并聯(lián)，作為羅茨泵的前級泵。真空干燥時，先用水環(huán)泵進行預抽，直至水蒸汽大量減少時，再開動氣鎮(zhèn)機械真空泵，切斷水環(huán)泵。如需要較長時間才能完成干燥的場合，所需冷卻水和功率都較少，如圖3所示。
2.2.4.2 羅茨泵機組的運行
?。?）機組前裝冷凝器
為了盡量使機組的體積小些，可設法使待抽的蒸汽在進入泵機組之前冷凝，這樣剩下來的就是非可凝性氣體和微量殘余蒸汽。氣體降溫后在相同壓力下體積也減小。所以冷凝后所需抽氣量減小，相應地泵也可以選得小一些。
采用哪種方式較經濟？應視其具體情況而定，舉例說明如下：
冷凝蒸汽有兩種方式：一種是安裝一臺冷卻裝置，另一種是在機組的高壓級中裝一臺冷凝器，以便能用普通的水冷卻。
其系統(tǒng)需要每小時抽除50kg的水蒸汽量，在吸入壓力為1Torr時的容積流量為50000m3/h。
1)要抽吸上述的水蒸汽量，需要三個羅茨泵串聯(lián)，并用一臺水環(huán)泵作前級組成的機組，該機組的總功率90kW。
2）為了使蒸汽在到達真空泵之前冷凝，就要在位于A處裝一個冷凝器和一個功率為30000kcal/h的冷卻裝置，如圖4所示。在1Torr的吸入壓力下，水蒸汽的冷凝溫度均為-19℃，為了能保證連續(xù)工作，應取冷凝裝置的冷凝溫度為-25℃，且并聯(lián)安裝2臺冷凝器。根據(jù)非冷凝氣體的組成部分計算得，真空泵的抽氣量就可以降低到1000~2000m3/h，總機組（包括冷凝器的消耗功率）的功率同樣是90kW。
3）先用羅茨泵抽出水蒸汽，并在45Torr壓力下進行冷凝，該壓力下有的冷凝溫度約為36℃，于是可使冷凝器的冷凝溫度保持在30~35℃之間，可用普通冷卻水冷卻。冷凝器設在B處。這時總功率的消耗為75kW左右。
通過上述三組方式的比較可知，第三種方案最好，可減少15kW的動力消耗。
綜上所述，水蒸汽冷卻后只剩下非可凝性氣體。在壓力很低時，水蒸汽的比容相當大，這些可凝性蒸汽冷凝后，泵所需要的抽氣量顯然就大為降低了。另外，不論蒸汽是否冷凝，在同樣壓力下只要氣體溫度降低，其容積流量就會減少。例如化工流程中200~300℃溫度的氣體并不少見。若從300℃冷卻到50℃之后，干燥空氣的容積減少45%左右，這樣就可以選擇較小容量的抽氣真空泵機組裝置。
?。?）機組的操作順序：
1）機組中無旁通閥時，應先開動水環(huán)泵，被抽系統(tǒng)中的氣體由羅茨泵（氣體推動羅茨泵轉子自行轉動，如同流量計一般）進入水環(huán)泵后再排至大氣，待水環(huán)泵的吸入壓力（如串聯(lián)有大氣泵，則為大氣泵的吸入壓力）達到羅茨泵的起初規(guī)定值時（即允許排氣壓力），始啟動羅茨泵，機組正式運轉，開始工作。
2）機組中有旁通閥時，如圖所示，先啟動水環(huán)泵，接著開動羅茨泵，此時，羅茨泵進排氣壓差較大，旁通閥自動開啟，被抽容器中的氣體一部分經過旁通閥進入水環(huán)泵，另一部分在羅茨泵的作用下通過該泵也進入水環(huán)泵，顯然抽氣速率增加，這樣很快達到羅茨泵的預真空，進排氣壓差較小，閥門自動關閉（或人工關閉），機組正式工作。這種方法能大大縮短預抽時間，但設備較復雜。
?。?）機組－羅茨泵－前級泵性能關系
機組的性能與羅茨泵的性能密切相關，而羅茨泵的性能又隨前級泵的不同而有所不同。
1）由于羅茨泵的轉子與轉子之間、轉子與殼體之間存在著間隙，因此有返流存在，而這種返流受進口壓力和出口壓力的影響，即使是同一臺羅茨泵，使用不同的前級泵時，其抽氣速率也會有所不同。
羅茨泵的抽氣速率可由下式確定：
δ＝δ0(P2/P1/K)
式中：δ0－設計的抽氣速率；
P1－進口壓力；
P2－出口壓力；
K－固有常數(shù)，由該泵轉子的形狀、間隙量、轉子圓周速度和出口壓力來確定。
由上式可知，抽氣量受到出口壓力與進口壓力之比的影響，亦即若增加前級泵的抽氣速率，那么羅茨泵的抽氣速率也會增大。
?。?）極限壓力由泵的抽氣速率，各間隙的返流量，泵體泄漏量及高真空側的放氣量所決定。即：
P0＝(Q1+Q2+Q3)/δ 式中：P0－極限壓力；
δ－抽氣速率；
Q1－返流量；
Q2－泄漏量；
Q3－放氣量。
在這些參數(shù)中，Q1受排氣壓力即前級泵的極限壓力的影響很大，在用水環(huán)泵作前級泵時，羅茨泵的極限壓力隨水環(huán)的飽和蒸汽壓的不同而不同。
圖6是用同一臺羅茨泵配不同的前級泵時的性能比較。
從圖可見，前級泵的極限真空度愈高時，機組的極限真空度也隨之增高；兩級羅茨泵串聯(lián)使用，則能提高機組的極限真空度（實質上就是前一個羅茨泵為后一個羅茨泵的前級泵），且性能曲線平緩擴大，也即使用的范圍擴大（由曲線1與2，曲線3與5的比較而得）。機組1、2的曲線大致相同。同樣，機組3、4、5的曲線也有相同之處。然而1、2機組曲線和3、4、5機組曲線卻是完全不同的兩組曲線。這說明對于同一羅茨泵而言，選用不同的前級泵時，其機組的性能曲線有本質的差異。由此可見，前級泵對機組性能有相當大的影響。
?。?）水環(huán)泵的選擇
所謂水環(huán)泵就是用水作為液環(huán)的液環(huán)泵，用水作液環(huán)有很多優(yōu)點，如價廉、易得、不會污染環(huán)境等。但也有一個很大缺點，由于水的飽和蒸汽壓高，使得水環(huán)泵的吸入壓力也高。這時如改用飽和蒸汽壓低的液體作為液環(huán)，則可提高泵的極限真空度。如果某機組中羅茨泵最大允許的排氣壓力為10Torr，則用水作液環(huán)時還須加大氣泵才能作為該羅茨泵的前級泵，若改用礦物油作液環(huán)則不加大氣泵即可作為前級泵，這樣可以簡化裝置。
?。?）機組性能與羅茨泵允許排出壓力
機組的性能在很大程度上取決于羅茨泵的允許排出壓力。這種允許值越低，水環(huán)泵作為前級泵的可能性就越小。如果羅茨泵這種允許值為1~10Torr，而不論單、多級的水環(huán)泵極限壓力大大高于這個數(shù)值，因此就不可能單獨與這種羅茨泵組合使用，而需要加二級大氣泵。如果羅茨泵排出壓力允許值在100Torr以上，則前級的水環(huán)泵也可以作為羅茨泵的前級泵的前級泵，這就大大地擴充了前級泵的應用范圍。
（6）應用實例
某化纖產品的生產過程為：低分子－高分子－制成帶狀－切片－干燥（運用羅茨泵－水環(huán)泵機組進行真空干燥）－抽絲－牽伸、加熱－紡織－成品。
其中一個重要的工序是將5×5×5(mm)大小的切片進行干燥，以便進行抽絲，抽絲過程中理想的狀況是使水份含量為零，實際上由于不能達到這一目的，故要求水份含量不大于0.02%，如果水份超過這一要求，要高溫高壓下抽絲，會使高分子分解，影響產品的強度。
在干燥這一工序中所應用的羅茨泵－水環(huán)泵機組的抽真空系統(tǒng)裝置如圖7所示。機組中各泵的技術參數(shù)如下表。
名 稱
抽 氣 速 率
(m3/h)
轉子直徑
(mm)
轉 速
(r/min)
配用功率
(kW)
羅茨泵1
400
160
1450
2.2
羅茨泵2
200
102
2900
1.3
雙級水環(huán)泵
100
前級葉輪為后級之半
1450
5.5
主要設備的功用簡介如下：
?。?）真空閥 關閉真空閥，機組停止運行，可保持干燥系統(tǒng)一定的真空度。
?。?）自動氣動安全閥 為防止機組突然停車時水環(huán)泵系統(tǒng)中的水向羅茨泵及真空干燥系統(tǒng)中倒灌。
（3）壓差閥 機組開始運行時，先啟動水環(huán)泵，在壓差閥兩端逐漸產生壓差，達到一定值時，閥自動開啟，使系統(tǒng)中大部分氣體經此閥流進水環(huán)泵。當大氣逐漸通過大氣泵流進水環(huán)泵，壓差閥兩端壓力又逐漸減小，以致關閥，于是大氣泵隨即開始正常工作，壓差閥的作用是為了縮短大氣泵正常工作前的預抽時間。
2.2.5 羅茨泵真空機組抽氣速率
Qe=SP/T=SvPv/Tv (1)
羅茨泵的有效壓縮比為羅茨泵進出口壓力比,即
Ke=Pv/P (2)
羅茨泵的理論壓縮比Kth為羅茨泵的理論抽速與前級泵的抽速之比,即
Kth=Sth/Sv (3)
由(2)、(3)、式可得
(4)
將(3)、(6)式代入(7)式可得
(5)
羅茨泵的實際抽速與羅茨泵的理論抽速之比,即為羅茨泵的容積效率ηv,也即羅茨真空機組的容積效率。
(6)
化簡得
(7)
相應羅茨泵機組的抽速
(8)
根據(jù)前級泵的進口壓力Pv,羅茨泵在進口壓力P下的有效抽速,通過(8)式可變換為下式計算
當已知前級泵的抽氣速率,此時機組的有效抽速
2.2.6 分子泵工作原理及其型號確定
2.2.6.1 分子泵工作原理
分子泵是用高速旋轉的動葉輪將動量傳給氣體分子，使氣體產生定向流動而抽氣的真空泵。?
結構和工作原理
1958年，聯(lián)邦德國的W.貝克首次提出有實用價值的渦輪分子泵，以后相繼出現(xiàn)了各種不同結構的分子泵，主要有立式和臥式兩種,圖1為立式渦輪分子泵的結構圖。渦輪分子泵主要由泵體、帶葉片的轉子(即動葉輪)、靜葉輪和驅動系統(tǒng)等組成。動葉輪外緣的線速度高達氣體分子熱運動的速度(一般為150～400米／秒)。單個葉輪的壓縮比很小，渦輪分子泵要由十多個動葉輪和靜葉輪組成。動葉輪和靜葉輪交替排列。動、靜葉輪幾何尺寸基本相同,但葉片傾斜角相反。圖2為20個動葉輪組成的整體式轉子。每兩個動葉輪之間裝一個靜葉輪。靜葉輪外緣用環(huán)固定并使動、靜葉輪間保持1毫米左右的間隙,動葉輪可在靜葉輪間自由旋轉。
圖3為一個動葉片的工作示意圖。在運動葉片兩側的氣體分子呈漫散射。在葉輪左側(圖3a),當氣體分子到達A點附近時，在角度α1內反射的氣體分子回到左側；在角度β1內反射的氣體分子一部分回到左側，另一部分穿過葉片到達右側；在角度γ1內反射的氣體分子將直接穿過葉片到達右側。同理，在葉輪右側(圖3b),當氣體分子入射到B點附近時，在α2角度內反射的氣體分子將返回右側；在β2角度內反射的氣體分子一部分到達左側，另一部分返回右側；在γ2角度內反射的氣體分子穿過葉片到達左側。傾斜葉片的運動使氣體分子從左側穿過葉片到達右側，比從右側穿過葉片到達左側的幾率大得多。葉輪連續(xù)旋轉，氣體分子便不斷地由左側流向右側，從而產生抽氣作用。?
性能和特點
泵的排氣壓力與進氣壓力之比稱為壓縮比。壓縮比除與泵的級數(shù)和轉速有關外，還與氣體種類有關。分子量大的氣體有高的壓縮比。對氮(或空氣)的壓縮比為108～109;對氫為102～104；對分子量大的氣體如油蒸氣則大于1010。泵的極限壓力為10-9帕,工作壓力范圍為10-1～10-8帕,抽氣速率為幾十到幾千升每秒(1升＝10-3米3)。渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)(氣體分子的平均自由程遠大于導管截面最大尺寸的流態(tài))下工作才能顯示出它的優(yōu)越性,因此要求配有工作壓力為1～10-2帕的前級真空泵。分子泵本身由轉速為10000～60000轉／分的中頻電動機直聯(lián)驅動。
2.2.6.2 分子泵的優(yōu)點
1、優(yōu)點
由于渦輪分子在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴散泵表現(xiàn)得更優(yōu)越。故在一般情況下，多選用渦輪分子泵。它的優(yōu)點有：
（1）清潔，無油蒸汽返流
渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規(guī)程工作，就能為被抽容器提供一個極為清潔的真空環(huán)境，且不含有任何碳氫化合物。由于現(xiàn)代的渦輪分子泵除大泵外很少用油潤滑的了，對于小泵多用油脂潤滑，也有用空氣軸承的，但磁懸浮軸承用得較多。近幾年來也有不少干式前級泵出現(xiàn)，使渦輪分子泵系統(tǒng)不存在油蒸汽返流，使它真正成為一種清潔的干式高真空泵（如圖4）。
圖4??渦輪分子泵典型的殘余氣體的頻譜圖
極限壓力為2×10-7Pa
圖4渦輪分子泵典型的殘余氣體的頻譜圖
圖4表明渦輪分子泵系統(tǒng)中不含有碳氫化合物，曲線上17和18為OH+和H2O+。
（2）使用方便
在許多應用中，渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空。只是簡單地一按電鈕，泵便能開始工作。從大氣壓力可降至極限壓力。這種系統(tǒng)可以通過渦輪分子泵進行粗抽，可一直加速到工作速度為止。這樣就可以不用閥門、管道、阱、控制器等真空元件。同時也消除了這些元件所帶來的故障。因此渦輪分子泵系統(tǒng)所占的空間小，而且渦輪分子泵的安裝方向不受限制，可在任意方向安裝（用油潤滑的泵除外，它只能在垂直±5°范圍內工作）。這個特點，可用于安裝位置受限制的地方。
（3）氣體輸送能力強
大多數(shù)渦輪分子泵對于輸送輕氣體（如氫、氦）的能力很強。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對于那些富氫的工藝過程，氦質譜檢漏儀等場合均可得到應用。有專門設計用于抽除腐蝕性氣體的渦輪分子泵，適用于刻蝕、反應離子刻蝕，離子束加工，低壓化學氣相沉積，外延及離子注入等工藝操作。在這些工藝過程中，抽除的氣體會對低溫泵、離子泵、擴散泵油等有腐蝕作用。甚至也會破壞標準的未加保護的渦輪分子泵。由于渦輪分子泵屬于傳輸型泵，被抽氣體可穿膛而過，不在泵內積存。因而它適于氣體負荷高的工藝過程。如濺射、刻蝕等。
（4）適于超高真空應用
一臺密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級旋片泵（或同樣性能的干式前級泵），其極限真空一般可達到10-9～10-10Torr（即133.3～13.33nPa）之間。若一臺渦輪分子泵再串一臺渦輪分子泵，用金屬密封并除氣良好的泵，一般其極限壓力在1×10-10～1×10-11Torr（即13.33～1.333nPa）之間。而且不像低溫泵或離子泵那樣，渦輪分子泵在超高真空條件下能滿抽速運轉。這些性能再加上它有良好的清潔性（測不到碳氫化合物），顯然用戶會選擇渦輪分子泵用于高分辨率質譜儀，分子束外延設備及超高真空分析儀器等設備上的。
（5）高壓力下性能良好
有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1～10-3Torr（即13.33Pa～133.3mPa）之間運行。在這個壓力范圍內，離子泵不能應用，對于低溫泵需要節(jié)流抽速或經常再生，對擴散泵的工作也會變得不穩(wěn)定。
（6）循環(huán)的時間短
多數(shù)渦輪分子泵，尤其小一些的，要達到正常的運行速度的時間，一般需要1～3min。對于不同品種和型號的泵有所不同。并且能立即關閉，并可暴露大氣。這種快速循環(huán)特性在樣品輸入系統(tǒng)中很有用，尤其對手提式氦檢漏儀有用。
（7）正常使用時間長
在某些應用中，渦輪分子泵的正常使用時間要比其它泵優(yōu)越。因為在重氣體負荷和閥門漏氣的情況下，會引起低溫泵經常不定時的再生或離子泵經常修復，而渦輪分子泵使用還能消除因泵油對真空室的污染。
2.2.6.3 分子泵型號確定
FF250-1600C分子泵
F400/3500分子泵
3 熔煉室殼體計算
大多數(shù)真空室的殼體都是圓形的，原因是制造容易且強度好。真空室除用板材制造外，對于直徑較小的真空室筒體亦可用熱軋無縫鋼管制造。圓筒體焊制后應進行整形和矯直。本設計真空室殼體大小為φ800×750mm，采用1Cr18Ni9Ti作為真空室材料。
⑴ 計算殼體壁厚
圓筒殼體只承受外壓時，可按穩(wěn)定條件計算，其壁厚為：
p—外壓設計壓力[MPa]；真空容器選擇p=0.5MPa（加上水壓0.4MPa）；
L—圓筒長度[mm]；L=750mm；
Et—材料溫度為t時的彈性模量[MPa]；查表得Et=1.8×MPa；
代入公式計算得 ×=5.84mm；
壁厚附加量 ； (2.2)
式中 —鋼板的最大負公差附加量[mm]；查表取1mm；
—腐蝕裕度[mm]；查得為2mm；
—封頭沖壓時的拉伸減薄量；取值為1mm；
圓筒的實際壁厚應為 S=+C=5.84+1+2+1=9.84mm；取整為10mm；
⑵ 對真空室殼體進行強度計算
對真空室殼體強度計算應按薄殼理論進行驗算。所謂薄殼就是其厚度大大小于它的曲率半徑。
即應滿足 ≤0.04 (2.3)
則 = =0.0125≤0.04 即滿足使用條件。
4 熔滲爐的殼體設計與壁厚計算
4.1 殼體壁厚計算
設計壓力是指設定的容器頂部的最高壓力，與相應的設計溫度一起作為設計載荷條件。設計壓力從概念上說不同于容器的工作壓力。工作壓力是由工藝過程決定的，在工作過程中工作壓力可能是變動的，同時在容器的頂部和底部壓力也可能是不同的。
容器的工作壓力既然可能是變動的，所以將容器在正常操作情況下容器頂部可能出現(xiàn)的最高工作壓力稱為容器的最大工作壓力。容器的設計壓力應該高于其最大工作壓力。
我們知道容器的最大工作壓力為1.8MPa，設計壓力一般取值為最高工作壓力的1.05～1.10倍。至于是取1.05還是取1.10，就取決于介質的危害性和容器所附帶的安全裝置。介質無害或裝有安全閥等就可以取下限1.05，否則就取上限1.10?？紤]到高溫等不確定因素，取上限值1.1.。
的選擇: 焊縫區(qū)是容器上強度比較薄弱的地方。焊縫區(qū)強度降低的原因在于焊接時可能出現(xiàn)缺陷；焊接熱影響區(qū)往往形成粗大晶粒區(qū)而使強度和塑性降低；由于結構鋼性約束造成焊接內應力過大。
焊接區(qū)強度主要決定于熔焊金屬，焊縫結構和施焊質量。因此在設計時應考慮母材的可焊性與焊接件的結構，選擇適當?shù)暮笚l和焊接工藝，而后按焊接接頭型式和焊縫的無損探傷檢驗要求，選取焊接接頭系數(shù)。
推薦的焊接接頭系數(shù)如下：
1、 雙面焊的對接焊縫：① 100％無損探傷 ＝1.0
②局部無損探傷＝0.85
2、 單面焊的對接焊縫：① 100％無損探傷 ＝0.9
②局部無損探傷＝0.8
⑶、雙面焊的對接焊縫：無無損探傷 ＝0.8
⑷、單面焊的對接焊縫：無無損探傷 ＝0.6
JB 4732標準中要求受壓元件焊縫必須100無損檢測，所以本次設計取焊縫系數(shù)為1.00
內壁計算具體如下：
筒內要求工作壓力1.8Mpa
Di＝400mm
設計壓力 P=1.1×1.8MPa =1.98MPa
壁厚：在1.98MPa
查壓力容器設計手冊知，1Cr18Ni9Ti在400℃材料的許用應力為 =108MPa
由公式計算內壓圓筒壁厚為：
= 6 mm
2)強度校核
① 內壓筒壁校核公式
上述計算所以滿足要求
②容器內壓圓筒最高許可工作壓力
=
=
4.2 筒體上部大法蘭的設計計算
又計算式4-14[2]得蓋厚
其中t——蓋的厚度mm
其中Dc——計算直徑mm
p——設計壓力MPa
——工作溫度下材料許用應力MPa
——焊縫系數(shù)
C——壁厚附加量mm
K——結構特征系數(shù)K=0.14（表4-26[2]）
所以 mm
所選法蘭蓋的厚度為36mm,滿足要求。
采用M1690螺栓20個，低合金螺栓1Cr18Ni9Ti，200C以下許用應力
螺栓承受拉力：
=
=
=
=
所以上述計算滿足要求。
5 真空室抽氣時間計算
5.1 氣體沿管道流動狀態(tài)及流導計算
氣體分子平均自由程
對于20 的空氣
=
=
式中 ——平均自由程[m]
n——氣體分子數(shù)密度[]
——氣體分子直徑[m]
T——氣體熱力學溫度[K]
k——玻耳茲曼常數(shù)，
p——氣體的壓力[Pa]
氣體的內摩擦（粘滯性）
各層之間的遷移量是動量，根據(jù)遷移方程列出內摩擦方程
=
由于麥克斯韋速度分布，方程式變?yōu)?
式中 L——內摩擦力[N]
——氣體分子的平均自由程[m]
——氣體分子熱運動的平均速度[m/s]
——氣體的密度[kg/]取1.293
S——面積[]
——氣體的粘滯系數(shù)[Pa·s]
T——氣體熱力學溫度[K]，去293K
M——氣體的摩爾質量[kg/mol]，取0.29kg/mol
——氣體分子直徑[m]，取m
C——肖節(jié)倫德常數(shù)[K]
代入公式得
氣體量
流量 Q=pS
流阻
G——氣體量[Pa·或Pa·L]
t——時間[s]
S——抽速[L/s]
p——壓力[Pa]
Q——流量[Pa·L/s]
W——流阻[s/L]
V——氣體體積[L]
氣體沿管道流動的狀態(tài)可分為4種：湍流、粘滯流、粘滯—分子流和分子流。
（1） 湍流：當氣體壓力和流速較高時，氣體流動是由慣性力在起作用，氣體流線不直，也不規(guī)則，而是出于漩渦狀態(tài)，即漩渦有時出現(xiàn)有時消失。管路中沒一點氣體的壓力和流速隨時間變化。氣體分子的運動速度和方向與氣流的平均速度和氣流的方向大致相同。實驗證明，管道中氣體的流量與氣體壓力梯度的平方根成正比，即。
（2） 粘滯流：粘滯流出現(xiàn)于氣體壓力較高、流速較小的情況下，通常發(fā)生在低真空管路中。它的慣性力很小，氣體內摩擦力起主要作用。流線的方向為直線，只是在管道的不規(guī)則處稍許玩去。管道中的氣體流量與壓力梯度成正比，即 。管壁附近的氣體幾乎不流動，一層氣體在另一層氣體上滑動，流速的最大值在管道的中心。氣體分子的平均自由程比管道截面線性尺寸小的多。
（3） 分子流:分子流出現(xiàn)于管道壓力很低時，一般出現(xiàn)于高真空管道中。此時氣體分子的平均自由程（管道直徑），分子之間碰撞次數(shù)很少，主要與管壁發(fā)生碰撞。每次碰撞之后，分子向前或向后運動。經數(shù)次后，部分分子有低壓端離開管道；有的返回到高壓端。
粘滯—分子流：介于粘滯流和分子流之間的流動狀態(tài)。
Re>2200 為湍流
Re<1200 為粘滯流
1200
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