《FEIPhenom飛納臺(tái)式掃描電鏡產(chǎn)品手冊(cè).pdf》由會(huì)員分享，可在線閱讀，更多相關(guān)《FEIPhenom飛納臺(tái)式掃描電鏡產(chǎn)品手冊(cè).pdf（6頁珍藏版）》請(qǐng)?jiān)谘b配圖網(wǎng)上搜索。
1、FEI 公司旗下 Phenom-World BV 榮譽(yù)出品 PHENOM TM G2 飛納臺(tái)式掃描電子顯微鏡第二代 數(shù)秒之內(nèi)，遍覽微觀世界 飛納將帶給您令人驚嘆的高質(zhì)量圖片和前所未有的便捷操作，詳情請(qǐng)咨詢 Phenom World BV 中國公司：復(fù)納科學(xué)儀器（上海）有限公司數(shù) 秒 之內(nèi)，遍覽 微觀 世界 數(shù)秒之內(nèi)，遍覽微觀世界 現(xiàn) 在，Phenom-World B.V. 向 您 隆 重 介 紹 第 二 代 Phenom( 飛納 ) 臺(tái)式掃描電鏡：Phenom G2 和電鏡能譜一 體化的 Phenom proX。 Phenom( 飛納 ) G2 和 proX 采用全新的硬件及軟件架 構(gòu)，
2、在繼承了前代快速成像、簡單易用等優(yōu)點(diǎn)的同時(shí)，為您 提供更加卓越的圖像質(zhì)量和精確的元素分析功能。 FEI 公司旗下 Phenom-World BV 榮譽(yù)出品 01 自 2007 年美國 FEI 公司發(fā)布第一代 Phenom( 飛納 ) 臺(tái)式掃描電鏡以來， Phenom( 飛納 ) 因其卓越的圖像質(zhì)量、 30 秒超快成像速度、簡單易用的操作界面以及接近光學(xué)顯 微鏡的超值價(jià)格，成為諸多科學(xué)家及工業(yè)研究人員的首選 顯微成像工具。 2009年，為了進(jìn)一步促進(jìn)Phenom(飛納)臺(tái)式掃描 電鏡的研發(fā)，F(xiàn)EI 公司與國際知名的 NTS-Group 公司、 Sioux 嵌入式系統(tǒng)公司合作，成立 Phenom-
3、World B.V. 公 司，專門從事新一代 Phenom( 飛納 ) 的研發(fā)生產(chǎn)。 Phenom G2 包含兩款： 專業(yè)版 G2 pro 標(biāo)準(zhǔn)版 G2 pure 主要參數(shù) : 產(chǎn)品主要特點(diǎn) : 高質(zhì)量的圖像 30s 快速成像 操作簡便，結(jié)合控制旋鈕和觸摸顯示器便可獲得 高倍 SEM 圖像 長壽命 / 高亮度 / 低色差 CeB6 燈絲 (1500 h) 自動(dòng)燈絲對(duì)中，自動(dòng)聚焦 圖像亮度、對(duì)比度自動(dòng)調(diào)節(jié) 光學(xué)與低倍電子雙重導(dǎo)航，想看哪里點(diǎn)哪里 直接觀測(cè)絕緣體，無需噴金 兼得樣品表面形貌與成份信息 防震設(shè)計(jì)，對(duì)放置環(huán)境無特殊要求 豐富的拓展模塊：全景圖像拼合、3D 粗糙度重 建、纖維測(cè)量系統(tǒng)
4、 ...... 多功能樣品杯選件：控溫樣品杯（-2550）、 自動(dòng)傾斜 / 旋轉(zhuǎn)樣品杯、降低荷電效應(yīng)樣品杯 ...... 02 20-120 x (G2 pro) 20 x (G2 pure) 80-45,000 x (G2 pro) 70-17,000 x (G2 pure) <25nm (G2 pro) <30nm (G2 pure) 5 kV <30s 四分割背散射電子探測(cè)器 臺(tái)式電腦大小 普通實(shí)驗(yàn)室或辦公室、廠房 光學(xué)顯微鏡 ： 電子顯微鏡 ： 分 辨 率： 加速電壓 ： 成像時(shí)間 ： 探 測(cè) 器： 主機(jī)體積 ： 放置環(huán)境 ：新 一代
5、電鏡能譜 一體化 Phenom proX 臺(tái)式掃描電子顯微鏡 電鏡主要參數(shù) 光學(xué)顯微鏡： 電子顯微鏡： 分辨率 ： 探測(cè)器 ： 加速電壓 ： 成像時(shí)間 ： 主機(jī)體積 ： 放置環(huán)境 ： 20-120 x 80-45,000 x <25nm 四分割背散射電子探測(cè)器 5kV、10kV、15kV <30s 臺(tái)式電腦大小 普通實(shí)驗(yàn)室或辦公室 能譜儀主要參數(shù) 探測(cè)器類型：硅漂移探測(cè)器（SDD） 冷 卻 方 式：無液氮 Peltier 效應(yīng)電制冷 探測(cè)器晶體活性面積：25mm 2 能量分辨率： 數(shù)秒之內(nèi)，遍覽微觀世界 032012 年 Phenom Word BV 公司推出了全世界第一款電鏡能譜一體化
6、臺(tái)式掃描電鏡 Phenom proX 系統(tǒng) 。Phenom proX 的能譜儀 (EDS) 完全嵌入在電鏡主機(jī)中，集成的能譜儀采用半導(dǎo)體制冷技術(shù)，無需額外冷卻設(shè)備。Phenom proX 繼承了 Phenom 系列產(chǎn)品簡單易用、低維護(hù)成本的優(yōu)點(diǎn)。 自動(dòng)可靠的元素識(shí)別 集成 EDS 的 Phenom proX 操作界面，點(diǎn)擊您感興趣的樣品位置，即可完成元素的定性定量分析。 元素分析軟件提供基本分析模式和高級(jí) 分析模式，用戶根據(jù)測(cè)試需要進(jìn)行選擇。 04FEI 公司旗下 Phenom-World BV 榮譽(yù)出品 高質(zhì)量的圖像 Phenom（飛納）G2 采用低加速電壓（5kV）、 低真空度（0.1mB
7、ar）、高靈敏度背散射電子探 測(cè)器與長壽命高亮度低色差 CeB6 燈絲的最優(yōu)化 組合，為您提供高信噪比、表面細(xì)節(jié)豐富的優(yōu)質(zhì) 圖像： 20 x-45,000 x 連續(xù)放大，分辨率 數(shù)秒之內(nèi)，遍覽微觀世界 操作簡便，全程導(dǎo)航 Phenom 獨(dú)一無二的設(shè)計(jì)將通常電子顯微鏡所具有的復(fù)雜性降低到類似于光學(xué)顯微鏡的水平，使更多用戶可以輕松使用。 Phenom（飛納）直觀的導(dǎo)航界面，用戶經(jīng)過半小時(shí)培訓(xùn)即可得到高質(zhì)量的圖像。 直接觀測(cè)不導(dǎo)電樣品 利用標(biāo)準(zhǔn)樣品杯（上圖）與降低荷電效應(yīng)樣品杯（下圖）得到的頭發(fā)圖像 降低荷電效應(yīng)樣品杯 利用控制旋鈕和觸摸屏您可以完成以下操作 自動(dòng) / 手動(dòng)聚焦 自動(dòng) / 手動(dòng)亮度
8、對(duì)比度調(diào)節(jié) 自動(dòng) / 手動(dòng)燈絲對(duì)中調(diào)節(jié) 自動(dòng)樣品移動(dòng) Phenom （飛納）采用馬達(dá)驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)，點(diǎn)擊屏幕上希望 觀測(cè)的區(qū)域，即可輕松移動(dòng)樣品。 全程導(dǎo)航 Phenom （飛納）獨(dú)有的光學(xué) / 低倍 SEM 導(dǎo)航功能，為您 全程提供整個(gè) / 局部樣品的導(dǎo)航圖像，點(diǎn)擊您感興趣的區(qū) 域即可準(zhǔn)確移動(dòng)樣品，不必再頻繁的縮小、放大圖像，方 便您在不同樣品、不同區(qū)域之間切換，輕松實(shí)現(xiàn)想看哪里 點(diǎn)哪里。 Phenom（飛納）操作界面。通過點(diǎn)擊右側(cè)圖標(biāo)可以 輕松完成圖像縮放、聚焦、亮度對(duì)比度調(diào)節(jié)、旋轉(zhuǎn)等 操作。 界面右側(cè)顯示光學(xué)導(dǎo)航和低倍 SEM 導(dǎo)航窗口， 方便用戶在不同樣品、不同區(qū)域間進(jìn)行切換。 Pheno
9、m 獨(dú)有的光學(xué)導(dǎo)航和低倍 SEM 導(dǎo)航窗口，導(dǎo)航 窗口中的彩色矩形框指示了主窗口中的觀測(cè)區(qū)域。 Phenom 結(jié)合控制旋鈕和觸摸顯示屏調(diào)節(jié) SEM 圖像 06 Phenom （飛納） 采用低真空技術(shù)， 背散射電子成像， 可以有效抑制荷電效應(yīng)的產(chǎn)生，使得直接觀測(cè)各種 不導(dǎo)電樣品成為可能，免去了耗時(shí)費(fèi)力的樣品預(yù)處 理過程。 利用降低荷電效應(yīng)樣品杯，更可將開始荷電的放大 倍數(shù)提高 8 倍左右。FEI 公司旗下 Phenom-World BV 榮譽(yù)出品 成份 & 表面形貌兩種成像模式 Phenom （飛納） 選擇背散射電子成像。 背散射電子的產(chǎn)率、出射角度，與樣 品成份和表面形貌息息相關(guān)，因而可 以同
10、時(shí)給出樣品成份和形貌信息。 Phenom（飛納）采用 4 分割背散射電 子探測(cè)器，為您提供兩種成像模式： - 成份模式（Full mode）: 同時(shí)給出樣 品表面形貌與成份信息，不同元素可 由其對(duì)比度的不同加以分辨。 - 形貌模式（Topographical mode）: 在圖像中去除了成份不同所造成的差 異，強(qiáng)化樣品的 3D 信息，使樣品表面 的凹凸起伏等微觀結(jié)構(gòu)更加明晰。尤 其適用于表面粗糙度和缺陷分析。 Phenom（飛納）可以快速的在兩種成 像模式間任意切換。 長壽命 / 高亮度 / 低色差 CeB6 燈絲 Phenom（飛納）采用只有 2.5ev 逸出功的 CeB6 燈絲，亮度為鎢燈
11、絲的 10 倍， 出射電子色差小，為您提供更高質(zhì)量的圖像，其使用壽命長達(dá) 1500 小時(shí)，為 鎢燈絲的 15-40 倍，可正常使用 1-3 年無需更換燈絲，免去了您頻繁更換燈 絲的麻煩，保證工作進(jìn)度。 環(huán)境適應(yīng)性高，完全防震 Phenom（飛納）可以放置在幾乎任意的室內(nèi)環(huán)境當(dāng)中，無需超凈間。各主 要部件相互固定，震動(dòng)不會(huì)引起各固件之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)，使得 Phenom 成 像不受震動(dòng)影響，可放置在較高樓層。 終身免費(fèi)的遠(yuǎn)程檢測(cè)功能 Phenom（飛納）擁有遠(yuǎn)程檢測(cè)功能， 通過網(wǎng)絡(luò)，專業(yè)工程師可隨時(shí)為您遠(yuǎn) 程檢測(cè)系統(tǒng)、答疑解難，為您提供全 方位的保護(hù)，讓您的 Phenom 隨時(shí)處 于最佳工作狀態(tài)。
12、安全入口 FEI 遠(yuǎn)程服務(wù) 工程師 防火墻 互 聯(lián) 網(wǎng) 防火墻 防火墻 FULL 模式成像原理 : 4 分割背散射 電子探測(cè)器扇區(qū)所得的信號(hào)相疊加。 TOPO 模式成像原理 : 4 分割背散射 電子探測(cè)器扇區(qū)所得的信號(hào)相抵消。 成份模式圖像 形貌模式圖像 CeB6 燈絲 07 數(shù)秒之內(nèi)，遍覽微觀世界 A A C C B B D D豐富的拓展功能：Phenom Pro Suite 應(yīng)用模塊 Phenom Pro Suite 是專為 Phenom（飛納）臺(tái)式掃描電子顯 微鏡設(shè)計(jì)的應(yīng)用模塊，其開發(fā)目的是使用戶可以從 Phenom 的 SEM 圖像中提取更多信息，拓展 Phenom 的應(yīng)用，滿足 特
13、定的用戶需求。 標(biāo)準(zhǔn)組件： - 自動(dòng)全景圖像拼合 - 遠(yuǎn)程控制界面 選配組件： -3D 粗糙度重建 - 纖維測(cè)試系統(tǒng) 自動(dòng)全景圖像拼合 主要特點(diǎn)： 最大.07mm 的超大視野（FOV），完整呈現(xiàn)樣品全貌 高達(dá)近 1 億像素的超高分辨率 自動(dòng)采集圖像，每分鐘可采集超過 100 張 1024 x 1024 分辨率的圖像 簡明的單頁用戶界面，操作簡便 可與纖維系統(tǒng)聯(lián)用 利用自動(dòng)全景圖像拼合得到的燈絲圖像，分辨率高達(dá) 8500 萬像素。 遠(yuǎn)程控制界面 Phenom Pro Suite 應(yīng)用模塊中的遠(yuǎn)程控制界面使得您可以在不同地點(diǎn)對(duì) Phenom（飛納）進(jìn)行遠(yuǎn)程操作，您也可以在報(bào)告 中實(shí)時(shí)
14、演示 Phenom 中的圖像；也為在不同地點(diǎn)同事之間的合作提供了便利。 Phenom Pro Suite 模塊用戶界面 08 應(yīng)用自動(dòng)全景圖像拼合模塊可以得到大范圍的 高分辨圖像。用戶只需在總覽圖中定義掃描區(qū) 域，自動(dòng)全景圖像拼合模塊將自動(dòng)開始以指定 的分辨率對(duì)該區(qū)域進(jìn)行掃描。所得圖像將拼合 成一副全景圖像加以保存，方便進(jìn)行進(jìn)一步的 觀測(cè)。 1024 x 1024 像素的照片局部特寫，揭示左圖方框內(nèi)樣品的表面細(xì)節(jié)。3D 粗糙度重建 FEI 公司旗下 Phenom-World BV 榮譽(yù)出品 3D 粗糙度重建摸塊（3D Roughness Recon-struction）是 Phenom（飛納）
15、臺(tái)式掃描電鏡所獨(dú)有的強(qiáng)大圖像處理工具。 借助 3D 粗糙度重建模塊，Phenom 可以產(chǎn)生樣品的 3D 還 原圖， 對(duì)其進(jìn)行任意旋轉(zhuǎn)， 并進(jìn)行亞微米量級(jí)的粗糙度測(cè)量， 幫助用戶更加細(xì)致的分析樣品形貌。 鉆頭表面 SEM 圖像，放大倍數(shù) 600 x。圖像中可以看到鉆頭表面磨 損所致的紋理，但由于為 2D 圖像，紋理的起伏不夠直觀，無法進(jìn) 行較為精確的測(cè)量。 鉆頭表面 SEM 圖像，放大倍數(shù) 2900 x 左：利用 3D 粗糙度重建模塊得到的鉆頭表面的 3D 重建圖像，圖像可進(jìn)行任意角度的旋轉(zhuǎn)，使得樣品表面的粗糙起伏變得更加明晰。圖 中包含三條測(cè)量曲線， 右側(cè)區(qū)域內(nèi)顯示了 Rz 與 Ra 的測(cè)量結(jié)
16、果。 右 ： 左圖中的測(cè)量結(jié)果的放大圖， 給出了樣品表面起伏高度的定量測(cè)量結(jié)果 ： 鉆頭表面最大溝壑深度為 1.13um。 09 數(shù)秒之內(nèi)，遍覽微觀世界 適用領(lǐng)域： 紋理分析 缺陷 & 失效分析 摩擦學(xué) - 磨損分析 機(jī)械加工的質(zhì)量控制 證物鑒定 ........ 主要特點(diǎn)： 自動(dòng)創(chuàng)建 3D 圖像 - 全 3D 圖像 - 2D 或 3D 圖像，通過顏色指示高度 - 過濾后的 3D 圖像 3D 圖像可任意旋轉(zhuǎn) 自動(dòng)粗糙度測(cè)量 - Ra（平均粗糙度）和 Rz（粗糙高度） - 用戶可設(shè)定波紋過濾 - 支持 5 線同時(shí)測(cè)量 遠(yuǎn)優(yōu)于光學(xué)或機(jī)械測(cè)量手段 - 高分辨率高精度 - 不破壞樣品 無需傾斜樣品
17、數(shù)秒之內(nèi)完成快速 3D 重建纖維系統(tǒng) 2.0 纖維系統(tǒng)使得直接觀察和測(cè)量微米、納米纖維變得前所未有 的快捷、簡單。結(jié)合 Phenom 臺(tái)式掃描電子顯微鏡，纖維 系統(tǒng)可以使您獲得微米、納米纖維的精確尺寸信息。 纖維系統(tǒng)的自動(dòng)圖像表征功能可以在幾秒內(nèi)完成數(shù)百次測(cè) 量，提供更加精確的數(shù)據(jù)。與以往耗時(shí)費(fèi)力且精確度難以保 證的手動(dòng)測(cè)量相比，纖維系統(tǒng)將為您節(jié)省大量時(shí)間、精力， 給您最大的回報(bào)。 纖維系統(tǒng)用戶界面，圖中顯示了纖維及孔徑測(cè)量 空氣過濾網(wǎng) SEM 圖像 左：纖維系統(tǒng)自動(dòng)進(jìn)行纖維直徑及孔徑的測(cè)量 右：左圖中纖維尺寸的分布柱狀統(tǒng)計(jì)圖。用戶可以對(duì)統(tǒng)計(jì)圖坐標(biāo)進(jìn) 行調(diào)整。纖維的最小、最大及平均尺寸均顯示在
18、圖片下方。 10 適用領(lǐng)域： 過濾網(wǎng)膜 織物 造紙 ...... 主要特點(diǎn)： 自動(dòng)測(cè)量，幾秒內(nèi)完成數(shù)百次測(cè)量， 節(jié)省時(shí)間 每張圖片測(cè)量 1-1000 組數(shù)據(jù)自動(dòng)生 成統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù) 可以觀察和測(cè)量從納米到微米量級(jí) 的纖維 同 Phenom 連接，可進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量 數(shù)據(jù)可以標(biāo)準(zhǔn)格式導(dǎo)出FEI 公司旗下 Phenom-World BV 榮譽(yù)出品 適用于不同領(lǐng)域的樣品杯 標(biāo)準(zhǔn)樣品杯 適用于高分辨率成像，可用于觀測(cè)粉末，薄膜，及各種 不規(guī)則形狀的三維樣品。 最大樣品尺寸：直徑 25mm；高 30mm 標(biāo)準(zhǔn) / 降低荷電效應(yīng)金相樣品杯 在顯微圖像觀測(cè)中，獲得表面平滑的樣品的常規(guī)辦法是鑲 嵌和拋光等技術(shù)。金相樣品
19、杯可用于觀測(cè)鑲嵌在樹脂等材 料中的樣品。 最大樣品尺寸：直徑 32mm；高 30mm 微型工具樣品杯 適用于鉆頭、鑼刀等長度較長，且有角度要求的樣品成像。 樣品直接裝進(jìn)樣品杯即可，無需其他輔助工具。 最大樣品尺寸：直徑 10mm；長度 100mm 傾斜角度：-5到 +40旋轉(zhuǎn)角度：+/-35 降低荷電效應(yīng)樣品杯 無需噴金，可以直接觀察不導(dǎo)電樣品，從而獲得樣品的原 始形貌和成份信息。 最大樣品尺寸：直徑 25mm；高 30mm X- 斷面觀測(cè)插件 適合于涂層以及多層半導(dǎo)體器件等 斷口、斷面的觀測(cè)，且不需要螺絲 等其它工具來固定樣品。 微型電子器件插件 采用特制夾具將微型電子器件無損 的固定在樣品
20、杯中。測(cè)試后，樣品 可以重新回到制備環(huán)節(jié)中去，或者 參與其他損耗檢測(cè)。 11 數(shù)秒之內(nèi)，遍覽微觀世界 降低荷電效應(yīng)控溫樣品杯 自動(dòng)控溫，適用于生物、有機(jī)等樣品，使樣品 減少水分的蒸發(fā)，得以保持原貌，并且減少電 子束對(duì)樣品的損傷，延長觀看時(shí)間。 最大樣品尺寸：直徑 25mm；高 5mm 控溫范圍：-25 到 +50 最大降溫速率：20 /min 自動(dòng)傾斜 / 旋轉(zhuǎn)樣品杯 內(nèi)置微型馬達(dá)，計(jì)算機(jī)控制傾斜、旋轉(zhuǎn)角度， 為您呈現(xiàn)樣品的隱藏特征， 展現(xiàn) 3D 圖像效果。 傾斜角度：-10到 +45 旋轉(zhuǎn)角度：360 連續(xù) 晶片上的引線 傾斜 0 旋轉(zhuǎn) 0 晶片上的引線 傾斜 25 旋轉(zhuǎn) 0 12 經(jīng)過冷
21、臺(tái)處理的蘋果組織 （-25 C） 蘋果 -25 C 2500 x 內(nèi)置微型馬達(dá) FEI 公司旗下 Phenom-World BV 榮譽(yù)出品 應(yīng)用示例 材料 碳纖維復(fù)合材料 1000 x 聚合物 10000 x 濾材 10000 x 聚合物 4237x 13材料 食品 直接觀測(cè)食品原料， 結(jié)晶體從 1500 倍開始融化， 樣品原始結(jié)構(gòu)破壞 溫控樣品杯冷凍后的食品原料，高倍下原始 結(jié)晶結(jié)構(gòu)清晰可見 14 催化劑 2400 x 酵母 6300 x應(yīng)用示例 纖維和金相 FEI 公司旗下 Phenom-World BV 榮譽(yù)出品 上海汽車 失效分析 3000 x 金相 1000 x 龍凈環(huán)保 纖維 20
22、000 x Al 2 O 3 表面 15000 x 15纖維和金相 微電子和電池 集成電路板 45000 x 太陽能電池表面 3000 x 鋰電池材料 10000 x 電池材料 10000 x 16應(yīng)用示例 生物和化工 FEI 公司旗下 Phenom-World BV 榮譽(yù)出品 蒼蠅腳 1952x 清華大學(xué) 聚合物小球 10000 x 17 福建纖檢局 白羊絨 5000 x 濾膜上的細(xì)菌 20000 x制藥和煙草 瑞升煙草 10000 x 藥物顆粒 5000 x 18 高分子 10000 x 載體 20000 x應(yīng)用示例 半導(dǎo)體 FEI 公司旗下 Phenom-World BV 榮譽(yù)出品 導(dǎo)電
23、膠 24000 x TiO2 顆粒 9300 x 金剛石 16800 x 藍(lán)寶石襯底 13000 x 19聚合物和其他 聚合物小球 30000 x 聚乙烯膜 10000 x 西門子 熒光染料 10000 x LED 模組 17000 x 20 數(shù)秒之內(nèi)，遍覽微觀世界 參數(shù)表 FEI 公司旗下 Phenom-World BV 榮譽(yù)出品 21 項(xiàng)目： - 系統(tǒng) - 放大倍數(shù) 光學(xué)顯微鏡 電子顯微鏡 - 分辨率 - 照明 光學(xué)顯微鏡 電子顯微鏡 - 加速電壓 - 探測(cè)器 光學(xué) 電子 光學(xué) - 圖像格式 - 圖像分辨率 - 數(shù)據(jù)存儲(chǔ) - 樣品臺(tái) - 載樣時(shí)間 -尺 寸&重 量 主
24、機(jī) 真空泵 電源 顯示器 - 溫度 - 濕度 - 電源 - 建議桌面尺寸 參數(shù)： 主機(jī)、觸摸屏顯示器、控制旋鈕、 隔膜真空泵、電源 20 x-120 x (G2 pro、proX 能譜版 ) 20 x (G2 pure) 80 x-45,000 x (G2 pro、proX 能譜版 ) 70 x-17,000 x (G2 pure) <25nm (G2 pro、proX 能譜版 ) <30nm (G2 pure) LEDs CeB6 燈絲 （壽命 1500 小時(shí)） 5kV (G2 pro、pure) 5kV、10kV、15kV (pro
25、X 能譜版 ) 彩色 CCD 相機(jī) 高靈敏度背散射電子探測(cè)器（可探測(cè)成份和形貌兩種模式） JPEG, TIFF，BMP 456 x 456, 684 x 684, 1024 x 1024，2048 x 2048 U 盤、電腦、網(wǎng)絡(luò) 電腦控制移動(dòng)的自動(dòng)樣品臺(tái)，移動(dòng)范圍 18 x 18 mm <15s 286 (w) x 566 (d) x 495 (h) mm, 50 kg 145 (w) x 220 (d) x 213 (h) mm, 4.5 kg 156 (w) x 300 (d) x 74 (h) mm, 3 kg 375 (w) x 203 (d) x 395 (h) mm, 4.6 kg 15 30 <80%RH 110-240V AC, 5060Hz, 300W(max.) 120cm x 75cm，載重 100kg
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