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1、 設(shè) 備 中 心 清 洗 組 12月 20日Rena清 洗 機(jī) 一 、 設(shè) 備 概 況 RENA 清洗設(shè)備 設(shè) 備 概 況InTex去 除 硅 片 表 面 的 污 染 物 ； 在 硅 片 表 面 腐 蝕 出 絨 面 ； 絡(luò) 合 硅 片 表 面 沾 污 的 金屬 離 子 。目 的 ：InOxSide目 的 ：去 除 硅 片 表 面 的 磷 硅 玻 璃 ； 去 掉 硅 片 背 面 及 周 邊 p-n結(jié) 。 工 作 流 程 制 絨 槽 上 料 臺(tái) 下 料 臺(tái) 干 燥 漂 洗 3# 酸 洗 漂 洗 2# 堿 洗 吹 干 漂 洗 1#InOxSide 刻 蝕 槽 上 料 臺(tái) 下 料 臺(tái) 干 燥 漂 洗
2、3# 酸 洗漂 洗 2#漂 洗 1# 堿 洗 Intex 開 機(jī) 前 檢 查1、 壓 縮 空 氣 : RENA 清 洗 機(jī) 的 Air Knifes 工 作 壓 力 規(guī) 定 46bar 的 氣 壓 。 開 機(jī) 前 檢 查2、 純 水 （ DI水 ） 純 水 壓 力 應(yīng) 在 3Bar - 4Bar， 溫 度 在 20 攝 氏 度 開 機(jī) 前 檢 查3、 冷 卻 水 ： 進(jìn) 水 溫 度 應(yīng) 在 20 攝 氏 度 以 下 ， 進(jìn) 水 回 水 壓 力 差 應(yīng)在 3Bar 以 上 進(jìn) 水 溫 度 回 水 溫 度 開 機(jī) 前 檢 查4、 化 學(xué) 品 供 應(yīng) ： 在 界 面 下 ，點(diǎn) 擊 10 查 看 各
3、Media Supply 均正 常 供 應(yīng)（ 箭 頭 均 為綠 色 ） 開 機(jī) 的 操 作 過(guò) 程1、 合 上 電 源 ， 開 啟 設(shè) 備 的 顯 示 器 電 源 開 關(guān) 電 源 按 鈕 開 機(jī) 的 操 作 過(guò) 程 點(diǎn) 擊 Login 進(jìn) 入 登 陸 界面 ， 輸 入 用 戶 名 及 密 碼 ，點(diǎn) 擊 ok 進(jìn)入 , 點(diǎn) 擊 開 機(jī) 的 操 作 過(guò) 程Conveyor按 鈕 1.點(diǎn) 擊 Manual 按鈕 ,隨 后 點(diǎn) F4（ 三 次 ） ，進(jìn) 入 rives 菜 單 ， 點(diǎn) 擊 All Conveyor,點(diǎn) 擊 star開始 滾 輪 轉(zhuǎn) 動(dòng) 。2.點(diǎn) F10 退回 主 界 面 開 機(jī) 的 操
4、 作 過(guò) 程 確 認(rèn) 界 面 各 模塊 單 元 上 方 顯示 黃 色“ Manual”狀態(tài) ， 且 滾 輪 顯示 藍(lán) 色 即 滾 動(dòng)狀 態(tài) . 開 機(jī) 的 操 作 過(guò) 程 確 認(rèn) 監(jiān) 測(cè) 屏 幕上 顯 示 各 模 塊溶 液 均 滿 槽（ 即 Full DI、Full Chem)和設(shè) 備 門 窗 均 關(guān)閉 。 所 有 槽 位工 作 狀 態(tài) 顯示 ready.ready Full Chem Full DI 開 機(jī) 的 操 作 過(guò) 程n 在 設(shè) 備 背 面 處 ， 確 認(rèn) KOH 槽 和 酸 槽 液 面 均 達(dá) 到 第 二 液 位 傳感 器 ( Pump Dry Protection)， 若 液 位
5、 不 夠 ， 通 知 當(dāng) 班 工 藝工 程 師 。 開 機(jī) 的 操 作 過(guò) 程信 息 欄 確 認(rèn) 各 模塊 有 無(wú) 報(bào)警 信 息 ，若 有 任 何異 常 ， 通知 當(dāng) 班 工藝 和 設(shè) 備工 程 師 。 開 機(jī) 的 操 作 過(guò) 程 Conveyor按 鈕 1.點(diǎn) 擊 Manual 按 鈕 ,隨 后 點(diǎn) F4（ 三 次 ） ，進(jìn) 入 rives 菜單 ， 點(diǎn) 擊 All Conveyor,點(diǎn) 擊 Stop 停 止 滾 輪轉(zhuǎn) 動(dòng) 。2.點(diǎn) F10 退 回主 界 面 。 開 機(jī) 的 操 作 過(guò) 程 點(diǎn) 擊 Mode Auto 按 鈕 ，設(shè) 備 進(jìn) 入 自動(dòng) 模 式 ， 在界 面 上 所 有操 作 單
6、 元 下方 從 黃 色“Manual”轉(zhuǎn)變 成 綠 色“Auto”Mode Auto 綠 色 Auto 開 機(jī) 的 操 作 過(guò) 程設(shè) 備 將 自 動(dòng) 開 始 從 Tank 中 向 Etch bath 添 加 腐 蝕 液添 加 到Etch bath 開 機(jī) 的 操 作 過(guò) 程n 界 面 上 Etch bath 單 元 下 方 顯 示 為 黃 色 “Filling chemie”和 黃色 not ready,等 待 Etch bath 添 加 完 成 ， 等 待 堿 槽 和 酸 槽溫 度 顯 示 穩(wěn) 定 ， 下 方 顯 示 為 綠 色添 加 完 成顯 示 為 綠 色 開 機(jī) 的 操 作 過(guò) 程n
7、“Full chemie”和 綠 色 “Ready”。 隨 后 點(diǎn) 擊 start按 鈕 各 模 塊自 動(dòng) 運(yùn) 行 變 為 綠 色 start按 鈕 開 機(jī) 的 操 作 過(guò) 程n 界 面 顯 示 各 模 塊 均 為 綠 色 “Ready”和 綠 色 in process 即設(shè) 備 進(jìn) 入 正 常 生 產(chǎn) 狀 態(tài) 。in process 關(guān) 機(jī) 的 操 作 過(guò) 程n點(diǎn) 擊 界 面 下 方 的 “Stop”按 鈕 stop按 鈕 關(guān) 機(jī) 的 操 作 過(guò) 程n確 認(rèn) 各 模 塊 均 停 止 工 作 ， 點(diǎn) 擊 “Mode manual 按 鈕進(jìn) 入 手 動(dòng) 模 式 ， Manual按 鈕 關(guān) 機(jī) 的
8、 操 作 過(guò) 程n 進(jìn) 入 “Manual”選 單 中 “Etch bath”， 點(diǎn) 擊 Drain Bath,即 把 Etch bath 中 的 反 應(yīng) 液 排 到 Tank內(nèi) 。 點(diǎn) 擊 F10 退 回 主 菜 單 ，確 認(rèn) Etch Bath 模 塊 顯 示 黃 色 not ready和 黃 色 drainingDrain Bath 關(guān) 機(jī) 的 操 作 過(guò) 程n 等 待 Etch bath 排 液 完 成 ， 在 Etch bath 模 塊 上 只 顯 示 為 黃色 “not ready”。 表 明 液 體 排 完 顯 示 為 黃 色“not ready” 關(guān) 機(jī) 的 操 作 過(guò) 程n用 水 槍 沖 洗 KOH 的 噴 淋 管 和 槽 體 ， 并 清 潔 設(shè) 備 表面 。 關(guān) 機(jī) 的 操 作 過(guò) 程n 檢 查 各 門 的 位 置 ， 正 確 地 調(diào) 整 好 它 們 。 正 確 為 綠 色 關(guān) 機(jī) 的 操 作 過(guò) 程n點(diǎn) 擊 右 上 角 的 “Log off”， 跳 出 一 個(gè) 對(duì) 話 框 。 點(diǎn) 擊 對(duì)話 框 中 “Log off”， 門 將 被 密 封 。 按 鈕 關(guān) 機(jī) 的 操 作 過(guò) 程n 關(guān) 閉 設(shè) 備 顯 示 器 ， 正 常 的電 腦 關(guān) 機(jī)不 可 直 接 按電 源 按 鈕 謝 謝 !
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