《FEIPhenom飛納臺式掃描電鏡產(chǎn)品手冊.pdf》由會員分享，可在線閱讀，更多相關(guān)《FEIPhenom飛納臺式掃描電鏡產(chǎn)品手冊.pdf（6頁珍藏版）》請在裝配圖網(wǎng)上搜索。
1、FEI 公司旗下 Phenom-World BV 榮譽出品 PHENOM TM G2 飛納臺式掃描電子顯微鏡第二代 數(shù)秒之內(nèi)，遍覽微觀世界 飛納將帶給您令人驚嘆的高質(zhì)量圖片和前所未有的便捷操作，詳情請咨詢 Phenom World BV 中國公司：復納科學儀器（上海）有限公司數(shù) 秒 之內(nèi)，遍覽 微觀 世界 數(shù)秒之內(nèi)，遍覽微觀世界 現(xiàn) 在，Phenom-World B.V. 向 您 隆 重 介 紹 第 二 代 Phenom( 飛納 ) 臺式掃描電鏡：Phenom G2 和電鏡能譜一 體化的 Phenom proX。 Phenom( 飛納 ) G2 和 proX 采用全新的硬件及軟件架 構(gòu)，
2、在繼承了前代快速成像、簡單易用等優(yōu)點的同時，為您 提供更加卓越的圖像質(zhì)量和精確的元素分析功能。 FEI 公司旗下 Phenom-World BV 榮譽出品 01 自 2007 年美國 FEI 公司發(fā)布第一代 Phenom( 飛納 ) 臺式掃描電鏡以來， Phenom( 飛納 ) 因其卓越的圖像質(zhì)量、 30 秒超快成像速度、簡單易用的操作界面以及接近光學顯 微鏡的超值價格，成為諸多科學家及工業(yè)研究人員的首選 顯微成像工具。 2009年，為了進一步促進Phenom(飛納)臺式掃描 電鏡的研發(fā)，F(xiàn)EI 公司與國際知名的 NTS-Group 公司、 Sioux 嵌入式系統(tǒng)公司合作，成立 Phenom-
3、World B.V. 公 司，專門從事新一代 Phenom( 飛納 ) 的研發(fā)生產(chǎn)。 Phenom G2 包含兩款： 專業(yè)版 G2 pro 標準版 G2 pure 主要參數(shù) : 產(chǎn)品主要特點 : 高質(zhì)量的圖像 30s 快速成像 操作簡便，結(jié)合控制旋鈕和觸摸顯示器便可獲得 高倍 SEM 圖像 長壽命 / 高亮度 / 低色差 CeB6 燈絲 (1500 h) 自動燈絲對中，自動聚焦 圖像亮度、對比度自動調(diào)節(jié) 光學與低倍電子雙重導航，想看哪里點哪里 直接觀測絕緣體，無需噴金 兼得樣品表面形貌與成份信息 防震設(shè)計，對放置環(huán)境無特殊要求 豐富的拓展模塊：全景圖像拼合、3D 粗糙度重 建、纖維測量系統(tǒng)
4、 ...... 多功能樣品杯選件：控溫樣品杯（-2550）、 自動傾斜 / 旋轉(zhuǎn)樣品杯、降低荷電效應樣品杯 ...... 02 20-120 x (G2 pro) 20 x (G2 pure) 80-45,000 x (G2 pro) 70-17,000 x (G2 pure) <25nm (G2 pro) <30nm (G2 pure) 5 kV <30s 四分割背散射電子探測器 臺式電腦大小 普通實驗室或辦公室、廠房 光學顯微鏡 ： 電子顯微鏡 ： 分 辨 率： 加速電壓 ： 成像時間 ： 探 測 器： 主機體積 ： 放置環(huán)境 ：新 一代
5、電鏡能譜 一體化 Phenom proX 臺式掃描電子顯微鏡 電鏡主要參數(shù) 光學顯微鏡： 電子顯微鏡： 分辨率 ： 探測器 ： 加速電壓 ： 成像時間 ： 主機體積 ： 放置環(huán)境 ： 20-120 x 80-45,000 x <25nm 四分割背散射電子探測器 5kV、10kV、15kV <30s 臺式電腦大小 普通實驗室或辦公室 能譜儀主要參數(shù) 探測器類型：硅漂移探測器（SDD） 冷 卻 方 式：無液氮 Peltier 效應電制冷 探測器晶體活性面積：25mm 2 能量分辨率： 數(shù)秒之內(nèi)，遍覽微觀世界 032012 年 Phenom Word BV 公司推出了全世界第一款電鏡能譜一體化
6、臺式掃描電鏡 Phenom proX 系統(tǒng) 。Phenom proX 的能譜儀 (EDS) 完全嵌入在電鏡主機中，集成的能譜儀采用半導體制冷技術(shù)，無需額外冷卻設(shè)備。Phenom proX 繼承了 Phenom 系列產(chǎn)品簡單易用、低維護成本的優(yōu)點。 自動可靠的元素識別 集成 EDS 的 Phenom proX 操作界面，點擊您感興趣的樣品位置，即可完成元素的定性定量分析。 元素分析軟件提供基本分析模式和高級 分析模式，用戶根據(jù)測試需要進行選擇。 04FEI 公司旗下 Phenom-World BV 榮譽出品 高質(zhì)量的圖像 Phenom（飛納）G2 采用低加速電壓（5kV）、 低真空度（0.1mB
7、ar）、高靈敏度背散射電子探 測器與長壽命高亮度低色差 CeB6 燈絲的最優(yōu)化 組合，為您提供高信噪比、表面細節(jié)豐富的優(yōu)質(zhì) 圖像： 20 x-45,000 x 連續(xù)放大，分辨率 數(shù)秒之內(nèi)，遍覽微觀世界 操作簡便，全程導航 Phenom 獨一無二的設(shè)計將通常電子顯微鏡所具有的復雜性降低到類似于光學顯微鏡的水平，使更多用戶可以輕松使用。 Phenom（飛納）直觀的導航界面，用戶經(jīng)過半小時培訓即可得到高質(zhì)量的圖像。 直接觀測不導電樣品 利用標準樣品杯（上圖）與降低荷電效應樣品杯（下圖）得到的頭發(fā)圖像 降低荷電效應樣品杯 利用控制旋鈕和觸摸屏您可以完成以下操作 自動 / 手動聚焦 自動 / 手動亮度
8、對比度調(diào)節(jié) 自動 / 手動燈絲對中調(diào)節(jié) 自動樣品移動 Phenom （飛納）采用馬達驅(qū)動樣品臺，點擊屏幕上希望 觀測的區(qū)域，即可輕松移動樣品。 全程導航 Phenom （飛納）獨有的光學 / 低倍 SEM 導航功能，為您 全程提供整個 / 局部樣品的導航圖像，點擊您感興趣的區(qū) 域即可準確移動樣品，不必再頻繁的縮小、放大圖像，方 便您在不同樣品、不同區(qū)域之間切換，輕松實現(xiàn)想看哪里 點哪里。 Phenom（飛納）操作界面。通過點擊右側(cè)圖標可以 輕松完成圖像縮放、聚焦、亮度對比度調(diào)節(jié)、旋轉(zhuǎn)等 操作。 界面右側(cè)顯示光學導航和低倍 SEM 導航窗口， 方便用戶在不同樣品、不同區(qū)域間進行切換。 Pheno
9、m 獨有的光學導航和低倍 SEM 導航窗口，導航 窗口中的彩色矩形框指示了主窗口中的觀測區(qū)域。 Phenom 結(jié)合控制旋鈕和觸摸顯示屏調(diào)節(jié) SEM 圖像 06 Phenom （飛納） 采用低真空技術(shù)， 背散射電子成像， 可以有效抑制荷電效應的產(chǎn)生，使得直接觀測各種 不導電樣品成為可能，免去了耗時費力的樣品預處 理過程。 利用降低荷電效應樣品杯，更可將開始荷電的放大 倍數(shù)提高 8 倍左右。FEI 公司旗下 Phenom-World BV 榮譽出品 成份 & 表面形貌兩種成像模式 Phenom （飛納） 選擇背散射電子成像。 背散射電子的產(chǎn)率、出射角度，與樣 品成份和表面形貌息息相關(guān)，因而可 以同
10、時給出樣品成份和形貌信息。 Phenom（飛納）采用 4 分割背散射電 子探測器，為您提供兩種成像模式： - 成份模式（Full mode）: 同時給出樣 品表面形貌與成份信息，不同元素可 由其對比度的不同加以分辨。 - 形貌模式（Topographical mode）: 在圖像中去除了成份不同所造成的差 異，強化樣品的 3D 信息，使樣品表面 的凹凸起伏等微觀結(jié)構(gòu)更加明晰。尤 其適用于表面粗糙度和缺陷分析。 Phenom（飛納）可以快速的在兩種成 像模式間任意切換。 長壽命 / 高亮度 / 低色差 CeB6 燈絲 Phenom（飛納）采用只有 2.5ev 逸出功的 CeB6 燈絲，亮度為鎢燈
11、絲的 10 倍， 出射電子色差小，為您提供更高質(zhì)量的圖像，其使用壽命長達 1500 小時，為 鎢燈絲的 15-40 倍，可正常使用 1-3 年無需更換燈絲，免去了您頻繁更換燈 絲的麻煩，保證工作進度。 環(huán)境適應性高，完全防震 Phenom（飛納）可以放置在幾乎任意的室內(nèi)環(huán)境當中，無需超凈間。各主 要部件相互固定，震動不會引起各固件之間的相對運動，使得 Phenom 成 像不受震動影響，可放置在較高樓層。 終身免費的遠程檢測功能 Phenom（飛納）擁有遠程檢測功能， 通過網(wǎng)絡，專業(yè)工程師可隨時為您遠 程檢測系統(tǒng)、答疑解難，為您提供全 方位的保護，讓您的 Phenom 隨時處 于最佳工作狀態(tài)。
12、安全入口 FEI 遠程服務 工程師 防火墻 互 聯(lián) 網(wǎng) 防火墻 防火墻 FULL 模式成像原理 : 4 分割背散射 電子探測器扇區(qū)所得的信號相疊加。 TOPO 模式成像原理 : 4 分割背散射 電子探測器扇區(qū)所得的信號相抵消。 成份模式圖像 形貌模式圖像 CeB6 燈絲 07 數(shù)秒之內(nèi)，遍覽微觀世界 A A C C B B D D豐富的拓展功能：Phenom Pro Suite 應用模塊 Phenom Pro Suite 是專為 Phenom（飛納）臺式掃描電子顯 微鏡設(shè)計的應用模塊，其開發(fā)目的是使用戶可以從 Phenom 的 SEM 圖像中提取更多信息，拓展 Phenom 的應用，滿足 特
13、定的用戶需求。 標準組件： - 自動全景圖像拼合 - 遠程控制界面 選配組件： -3D 粗糙度重建 - 纖維測試系統(tǒng) 自動全景圖像拼合 主要特點： 最大.07mm 的超大視野（FOV），完整呈現(xiàn)樣品全貌 高達近 1 億像素的超高分辨率 自動采集圖像，每分鐘可采集超過 100 張 1024 x 1024 分辨率的圖像 簡明的單頁用戶界面，操作簡便 可與纖維系統(tǒng)聯(lián)用 利用自動全景圖像拼合得到的燈絲圖像，分辨率高達 8500 萬像素。 遠程控制界面 Phenom Pro Suite 應用模塊中的遠程控制界面使得您可以在不同地點對 Phenom（飛納）進行遠程操作，您也可以在報告 中實時
14、演示 Phenom 中的圖像；也為在不同地點同事之間的合作提供了便利。 Phenom Pro Suite 模塊用戶界面 08 應用自動全景圖像拼合模塊可以得到大范圍的 高分辨圖像。用戶只需在總覽圖中定義掃描區(qū) 域，自動全景圖像拼合模塊將自動開始以指定 的分辨率對該區(qū)域進行掃描。所得圖像將拼合 成一副全景圖像加以保存，方便進行進一步的 觀測。 1024 x 1024 像素的照片局部特寫，揭示左圖方框內(nèi)樣品的表面細節(jié)。3D 粗糙度重建 FEI 公司旗下 Phenom-World BV 榮譽出品 3D 粗糙度重建摸塊（3D Roughness Recon-struction）是 Phenom（飛納）
15、臺式掃描電鏡所獨有的強大圖像處理工具。 借助 3D 粗糙度重建模塊，Phenom 可以產(chǎn)生樣品的 3D 還 原圖， 對其進行任意旋轉(zhuǎn)， 并進行亞微米量級的粗糙度測量， 幫助用戶更加細致的分析樣品形貌。 鉆頭表面 SEM 圖像，放大倍數(shù) 600 x。圖像中可以看到鉆頭表面磨 損所致的紋理，但由于為 2D 圖像，紋理的起伏不夠直觀，無法進 行較為精確的測量。 鉆頭表面 SEM 圖像，放大倍數(shù) 2900 x 左：利用 3D 粗糙度重建模塊得到的鉆頭表面的 3D 重建圖像，圖像可進行任意角度的旋轉(zhuǎn)，使得樣品表面的粗糙起伏變得更加明晰。圖 中包含三條測量曲線， 右側(cè)區(qū)域內(nèi)顯示了 Rz 與 Ra 的測量結(jié)
16、果。 右 ： 左圖中的測量結(jié)果的放大圖， 給出了樣品表面起伏高度的定量測量結(jié)果 ： 鉆頭表面最大溝壑深度為 1.13um。 09 數(shù)秒之內(nèi)，遍覽微觀世界 適用領(lǐng)域： 紋理分析 缺陷 & 失效分析 摩擦學 - 磨損分析 機械加工的質(zhì)量控制 證物鑒定 ........ 主要特點： 自動創(chuàng)建 3D 圖像 - 全 3D 圖像 - 2D 或 3D 圖像，通過顏色指示高度 - 過濾后的 3D 圖像 3D 圖像可任意旋轉(zhuǎn) 自動粗糙度測量 - Ra（平均粗糙度）和 Rz（粗糙高度） - 用戶可設(shè)定波紋過濾 - 支持 5 線同時測量 遠優(yōu)于光學或機械測量手段 - 高分辨率高精度 - 不破壞樣品 無需傾斜樣品
17、數(shù)秒之內(nèi)完成快速 3D 重建纖維系統(tǒng) 2.0 纖維系統(tǒng)使得直接觀察和測量微米、納米纖維變得前所未有 的快捷、簡單。結(jié)合 Phenom 臺式掃描電子顯微鏡，纖維 系統(tǒng)可以使您獲得微米、納米纖維的精確尺寸信息。 纖維系統(tǒng)的自動圖像表征功能可以在幾秒內(nèi)完成數(shù)百次測 量，提供更加精確的數(shù)據(jù)。與以往耗時費力且精確度難以保 證的手動測量相比，纖維系統(tǒng)將為您節(jié)省大量時間、精力， 給您最大的回報。 纖維系統(tǒng)用戶界面，圖中顯示了纖維及孔徑測量 空氣過濾網(wǎng) SEM 圖像 左：纖維系統(tǒng)自動進行纖維直徑及孔徑的測量 右：左圖中纖維尺寸的分布柱狀統(tǒng)計圖。用戶可以對統(tǒng)計圖坐標進 行調(diào)整。纖維的最小、最大及平均尺寸均顯示在
18、圖片下方。 10 適用領(lǐng)域： 過濾網(wǎng)膜 織物 造紙 ...... 主要特點： 自動測量，幾秒內(nèi)完成數(shù)百次測量， 節(jié)省時間 每張圖片測量 1-1000 組數(shù)據(jù)自動生 成統(tǒng)計數(shù)據(jù) 可以觀察和測量從納米到微米量級 的纖維 同 Phenom 連接，可進行實時測量 數(shù)據(jù)可以標準格式導出FEI 公司旗下 Phenom-World BV 榮譽出品 適用于不同領(lǐng)域的樣品杯 標準樣品杯 適用于高分辨率成像，可用于觀測粉末，薄膜，及各種 不規(guī)則形狀的三維樣品。 最大樣品尺寸：直徑 25mm；高 30mm 標準 / 降低荷電效應金相樣品杯 在顯微圖像觀測中，獲得表面平滑的樣品的常規(guī)辦法是鑲 嵌和拋光等技術(shù)。金相樣品
19、杯可用于觀測鑲嵌在樹脂等材 料中的樣品。 最大樣品尺寸：直徑 32mm；高 30mm 微型工具樣品杯 適用于鉆頭、鑼刀等長度較長，且有角度要求的樣品成像。 樣品直接裝進樣品杯即可，無需其他輔助工具。 最大樣品尺寸：直徑 10mm；長度 100mm 傾斜角度：-5到 +40旋轉(zhuǎn)角度：+/-35 降低荷電效應樣品杯 無需噴金，可以直接觀察不導電樣品，從而獲得樣品的原 始形貌和成份信息。 最大樣品尺寸：直徑 25mm；高 30mm X- 斷面觀測插件 適合于涂層以及多層半導體器件等 斷口、斷面的觀測，且不需要螺絲 等其它工具來固定樣品。 微型電子器件插件 采用特制夾具將微型電子器件無損 的固定在樣品
20、杯中。測試后，樣品 可以重新回到制備環(huán)節(jié)中去，或者 參與其他損耗檢測。 11 數(shù)秒之內(nèi)，遍覽微觀世界 降低荷電效應控溫樣品杯 自動控溫，適用于生物、有機等樣品，使樣品 減少水分的蒸發(fā)，得以保持原貌，并且減少電 子束對樣品的損傷，延長觀看時間。 最大樣品尺寸：直徑 25mm；高 5mm 控溫范圍：-25 到 +50 最大降溫速率：20 /min 自動傾斜 / 旋轉(zhuǎn)樣品杯 內(nèi)置微型馬達，計算機控制傾斜、旋轉(zhuǎn)角度， 為您呈現(xiàn)樣品的隱藏特征， 展現(xiàn) 3D 圖像效果。 傾斜角度：-10到 +45 旋轉(zhuǎn)角度：360 連續(xù) 晶片上的引線 傾斜 0 旋轉(zhuǎn) 0 晶片上的引線 傾斜 25 旋轉(zhuǎn) 0 12 經(jīng)過冷
21、臺處理的蘋果組織 （-25 C） 蘋果 -25 C 2500 x 內(nèi)置微型馬達 FEI 公司旗下 Phenom-World BV 榮譽出品 應用示例 材料 碳纖維復合材料 1000 x 聚合物 10000 x 濾材 10000 x 聚合物 4237x 13材料 食品 直接觀測食品原料， 結(jié)晶體從 1500 倍開始融化， 樣品原始結(jié)構(gòu)破壞 溫控樣品杯冷凍后的食品原料，高倍下原始 結(jié)晶結(jié)構(gòu)清晰可見 14 催化劑 2400 x 酵母 6300 x應用示例 纖維和金相 FEI 公司旗下 Phenom-World BV 榮譽出品 上海汽車 失效分析 3000 x 金相 1000 x 龍凈環(huán)保 纖維 20
22、000 x Al 2 O 3 表面 15000 x 15纖維和金相 微電子和電池 集成電路板 45000 x 太陽能電池表面 3000 x 鋰電池材料 10000 x 電池材料 10000 x 16應用示例 生物和化工 FEI 公司旗下 Phenom-World BV 榮譽出品 蒼蠅腳 1952x 清華大學 聚合物小球 10000 x 17 福建纖檢局 白羊絨 5000 x 濾膜上的細菌 20000 x制藥和煙草 瑞升煙草 10000 x 藥物顆粒 5000 x 18 高分子 10000 x 載體 20000 x應用示例 半導體 FEI 公司旗下 Phenom-World BV 榮譽出品 導電
23、膠 24000 x TiO2 顆粒 9300 x 金剛石 16800 x 藍寶石襯底 13000 x 19聚合物和其他 聚合物小球 30000 x 聚乙烯膜 10000 x 西門子 熒光染料 10000 x LED 模組 17000 x 20 數(shù)秒之內(nèi)，遍覽微觀世界 參數(shù)表 FEI 公司旗下 Phenom-World BV 榮譽出品 21 項目： - 系統(tǒng) - 放大倍數(shù) 光學顯微鏡 電子顯微鏡 - 分辨率 - 照明 光學顯微鏡 電子顯微鏡 - 加速電壓 - 探測器 光學 電子 光學 - 圖像格式 - 圖像分辨率 - 數(shù)據(jù)存儲 - 樣品臺 - 載樣時間 -尺 寸&重 量 主
24、機 真空泵 電源 顯示器 - 溫度 - 濕度 - 電源 - 建議桌面尺寸 參數(shù)： 主機、觸摸屏顯示器、控制旋鈕、 隔膜真空泵、電源 20 x-120 x (G2 pro、proX 能譜版 ) 20 x (G2 pure) 80 x-45,000 x (G2 pro、proX 能譜版 ) 70 x-17,000 x (G2 pure) <25nm (G2 pro、proX 能譜版 ) <30nm (G2 pure) LEDs CeB6 燈絲 （壽命 1500 小時） 5kV (G2 pro、pure) 5kV、10kV、15kV (pro
25、X 能譜版 ) 彩色 CCD 相機 高靈敏度背散射電子探測器（可探測成份和形貌兩種模式） JPEG, TIFF，BMP 456 x 456, 684 x 684, 1024 x 1024，2048 x 2048 U 盤、電腦、網(wǎng)絡 電腦控制移動的自動樣品臺，移動范圍 18 x 18 mm <15s 286 (w) x 566 (d) x 495 (h) mm, 50 kg 145 (w) x 220 (d) x 213 (h) mm, 4.5 kg 156 (w) x 300 (d) x 74 (h) mm, 3 kg 375 (w) x 203 (d) x 395 (h) mm, 4.6 kg 15 30 <80%RH 110-240V AC, 5060Hz, 300W(max.) 120cm x 75cm，載重 100kg
FEIPhenom飛納臺式掃描電鏡產(chǎn)品手冊.pdf
