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1、磁控濺射法沉積ITO薄膜及其透過率分析
磁控濺射法沉積ITO薄膜及其透過率分析
【摘 要】 采用磁控濺射法，在室溫，濺射功率為80W的條件下，選取不同的壓強，在石英玻璃和聚酯薄膜襯底上分別制成了高透過率的ITO薄膜，并進(jìn)行了性能比照，并得出柔性襯底的性能最優(yōu)時的壓強范圍。
【關(guān)鍵詞】 ITO薄膜 磁控濺射法 PET
ITO薄膜是一種用途廣泛的透明導(dǎo)電材料，其具有低電阻率、高可見光透射率、紅外高反射比、良好的化學(xué)穩(wěn)定性、玻璃基體結(jié)合牢固、抗擦傷以及半導(dǎo)體特性等優(yōu)點。由于ITO薄膜材料具有優(yōu)異的光電特性，其應(yīng)用得到迅速開展，目前ITO
2、薄膜的主要應(yīng)用是在平面顯示上，充當(dāng)陽極。大面積柔性基底薄膜由于其質(zhì)輕、價廉、便于實現(xiàn)多功能化而在國防和民用技術(shù)領(lǐng)域具有多種用途。
1 實驗根本思路
室溫條件下，濺射功率為80W時，控制實驗中的壓強變量，在普通材料石英玻璃與柔性材料PET上分別沉積ITO薄膜，并且對其進(jìn)行透過率測試，從而比照其透過率差異從而得到ITO薄膜在柔性襯底上沉積的最優(yōu)壓強范圍。
2 實驗過程
材料包括：普通材料石英玻璃；柔性材料：PET，全稱聚對苯二甲酸乙二醇酯，為高聚合物。其具有優(yōu)良的耐高、低溫性能；具有良好的強度，韌性和透明性，折射率為1.65，透光率達(dá)90%；PET薄膜電絕緣性較好，
3、在較寬溫度范圍內(nèi)變化較小，耐電暈性較差。
所用設(shè)備為中國地質(zhì)大學(xué)材料物理實驗室型號為JPGF-400的磁控濺射儀。
實驗利用控制變量法分別控制壓強條件，依據(jù)制備的ITO薄膜的透過率來判定膜的好壞程度?？刂乒β?0W，壓強分別在0.8pa、1.0pa、1.5pa、2.0pa的條件下，含氧量分別在1-1/40的范圍內(nèi)，分別得到多個ITO薄膜，選取每個襯底材料中4個壓強條件下產(chǎn)出的透過率最好的一個ITO薄膜，并進(jìn)行透過率測試，找到一個較好的壓強范圍。
3 實驗結(jié)果
4 結(jié)語
在室溫條件下，功率為80W時，PET襯底上沉積的ITO薄膜比石英玻璃上的具有略好的透過
4、率，均大于80%。柔性襯底PET上沉積的ITO薄膜在壓強為1.0pa左右，透過率最正確，平均值幾乎到達(dá)了90%以上。這說明，PET襯底上假設(shè)大面積沉積ITO薄膜，在透過率方面，完全可以很好的取代石英玻璃，并且更好的發(fā)揮出它質(zhì)輕價廉的優(yōu)勢。
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磁控濺射法沉積ITO薄膜及其透過率分析
