《西安交通大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院磁控濺射系統(tǒng)招標(biāo)》由會員分享，可在線閱讀，更多相關(guān)《西安交通大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院磁控濺射系統(tǒng)招標(biāo)（2頁珍藏版）》請?jiān)谘b配圖網(wǎng)上搜索。
1、個(gè)人資料整理，僅供個(gè)人學(xué)習(xí)使用
西安交通大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院磁控濺射系統(tǒng)招標(biāo)
技術(shù)協(xié)議
本系統(tǒng)由 2 個(gè)腔自組合而成，各腔室超高真空鏈接，實(shí)驗(yàn)樣品可以不破壞真空在其間轉(zhuǎn)移，具體參數(shù)指標(biāo)為：
1）掃描隧道顯微鏡腔：
1.1）原子操縱及自旋極化掃描隧道顯微鏡（ SP-STM ）腔：
空間分辨率： X,Y 軸 0.1? ；Z 軸： 0.01?
能量分辨率： ~1meV；時(shí)間分辨率： 1ms
溫度： ≤4.8K
穩(wěn)定性：熱漂移 < 2?/h ，最小工作電流 <
2、 500fA
輸運(yùn)測量：樣品臺具備至少 5 個(gè)外部引線電極，并包含高頻信號探測用的電纜
光學(xué)測量：配備光學(xué)透鏡組，其物鏡焦點(diǎn)始終處于隧穿結(jié)
液氦消耗： 4L 可以保持 60h 或以上，在樣品上施加 2T 磁場亦可保證 5K 溫度下維持時(shí)間超過 45h 小時(shí)。
包含樣 品準(zhǔn)備室 ，其 中配備：四軸 樣品架 （ manipulator ） , 樣品 控溫裝置
（ 100~1400K）；離子濺射槍及進(jìn)氣漏閥一套；低能電子衍射儀（ LEED/AES ），
紅外測溫儀，四極質(zhì)譜儀，樣品解理臺，可裝掩模板的樣品臺各一個(gè)，高溫蒸發(fā)源
3、≥ 1 個(gè)。真空度優(yōu)于 5 x 10-10 mbar，配備離子泵 /鈦升華泵組合一套和渦輪分子泵一臺。
1.2）自旋極化掃描及原子操縱相關(guān)參數(shù)：
1 / 2
個(gè)人資料整理，僅供個(gè)人學(xué)習(xí)使用
磁場強(qiáng)度： 2.0T
針尖：磁性包裹針（鎢針尖上鍍 Fe/Cr/Mn ）
自旋極化分別率：單原子
配備控制單元（ DSP Electronics）及相應(yīng) STM 測量軟件，軟件中應(yīng)內(nèi)置橫向（ 6 種典型模式）及縱向原子操縱模塊
原子操縱方向：橫向和縱向
可操縱
4、原子： Au、Pt、 In、 Dy 、Mn 、Co、 Fe 等
2）可移動式分子束外延（ MBE ）腔：
預(yù)留 11 個(gè)固體 /液體蒸發(fā)源接口，高溫蒸發(fā)源≥ 2 個(gè)
預(yù)留≥ 1 個(gè)氣體漏閥接口
樣品溫度范圍： 80K~ 1500K
腔壁為雙層，可通過液氮或冷氮?dú)饫鋮s
配有膜厚儀 (QMB)
真空度優(yōu)于 5 x 10-10 mbar，配備渦輪分子泵一臺。
配有快速進(jìn)樣室兩個(gè)： 分別連接在樣品準(zhǔn)備腔和分子束外延腔上， 真空度均須優(yōu)
于 5 x 10-8 mbar。
2 / 2
西安交通大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院磁控濺射系統(tǒng)招標(biāo)
