《磁控濺射技術(shù)和透明導(dǎo)電薄膜》由會(huì)員分享，可在線閱讀，更多相關(guān)《磁控濺射技術(shù)和透明導(dǎo)電薄膜（32頁珍藏版）》請(qǐng)?jiān)谘b配圖網(wǎng)上搜索。
1、,磁控濺射技術(shù)和透明導(dǎo)電薄膜,什么叫鍍膜,薄膜： 在固體表面上鍍上一層于基體材料不同的薄層材料。 厚度通常在幾微米以下。,濺射原理,濺射示意圖,成膜示意圖,磁控濺射原理,電子在加速飛向基片的過程中受到磁場(chǎng)洛侖磁力的影響，被束縛在靠近靶面的等離子體區(qū)域內(nèi)，并在磁場(chǎng)的作用下圍繞靶面作圓周運(yùn)動(dòng)，該電子的運(yùn)動(dòng)路徑很長，在運(yùn)動(dòng)過程中不斷的與氬原子發(fā)生碰撞電離出大量的氬離子轟擊靶材，經(jīng)過多次碰撞后電子的能量逐漸降低，擺脫磁力線的束縛，遠(yuǎn)離靶材，最終沉積在基片上。,等離子詳解,定義:等離子體是一種電離氣體，是離子、電子和高能原子的集合體，整體顯中性，它是一種由帶電粒子組成的電離狀態(tài). 等離子體的現(xiàn)象，所發(fā)
2、生的輝光放電原理，產(chǎn)生離子濺射基理（低壓氣體中顯示輝光的氣體放電現(xiàn)象，即是稀薄氣體中的自激導(dǎo)電現(xiàn)象） 洛侖磁力：運(yùn)動(dòng)電荷在磁場(chǎng)中受到的作用力,磁控濺射靶材結(jié)構(gòu)圖,磁控濺射設(shè)備,,射頻（RF）磁控濺射：SIO2,直流（DC）磁控濺射:ITO、MO、AL,中頻（MF）磁控濺射：SI、MO、AL、NB2O5,磁控濺射電源及靶材,薄膜的種類及應(yīng)用,電子工業(yè)：電極、電阻膜、電介質(zhì)膜、絕緣膜、透明導(dǎo)電膜、超導(dǎo)膜等。 光學(xué)工業(yè)：熒光膜、反射膜、增透膜、干涉膜等。 機(jī)械工業(yè)：硬化膜、耐熱膜、耐腐蝕膜等。 能源工業(yè)：聚熱膜、防反射膜、透射膜等。 傳感器：熱敏、氣敏、壓敏、氧氣傳感器、紅外線傳感器等。 其它：裝飾
3、膜等。,電學(xué)薄膜,光學(xué)薄膜,力學(xué)薄膜,裝飾薄膜,薄膜的制備手段,氣相法： 化學(xué)氣相沉積（CVD）硅烷和氮反應(yīng)形成氮化硅膜(Si3N4)把含有構(gòu)成薄膜元素的一種或幾種化合物的單質(zhì)氣體供給基片，利用加熱、等離子體、紫外光以及激光等能源，借助氣相作用或在基板表面的化學(xué)反應(yīng)（熱分解或化學(xué)合成）生長形成固態(tài)的薄膜。 物理氣相沉積（PVD）熱蒸發(fā) 濺射 離子鍍 分子束外延 液相法：化學(xué)鍍、電鍍、浸漬鍍等。 其他方法：噴涂、涂敷等。,磁控濺射儀器結(jié)構(gòu)圖,磁控濺射儀器外觀,磁控濺射技術(shù)的優(yōu)點(diǎn),薄膜與基底的結(jié)合力強(qiáng)。 鍍膜均勻，可鍍大面積薄膜。 鍍膜種類豐
4、富：各種金屬(合金)薄膜 各種金屬氧化物、碳化物、氮化物、硼化物等薄膜其它(如類金剛石薄膜等) 基底種類豐富：金屬、玻璃、陶瓷、 有機(jī)玻璃(薄膜)等,ITO膜層的主要成份是氧化銦錫。在厚度只有幾千埃的情況下，氧化銦透過率高，氧化錫導(dǎo)電能力強(qiáng)，液晶顯示器所用的ITO玻璃正是一種具有高透過率的導(dǎo)電玻璃。 電極膜（ITO層）Iindium Tin Oxido 銦 錫 氧化物,什么是ITO透明導(dǎo)電膜,透明導(dǎo)電薄膜,厚度：幾十幾百納米 透明性：與玻璃接近 導(dǎo)電性：與金屬接近,透明導(dǎo)電薄膜種類,氧化銦錫（ITO） 摻鋁氧化鋅（ZAO） 多層結(jié)構(gòu)： SiO2/ITO
5、 MO-AL-MO,透明導(dǎo)電薄膜的應(yīng)用,液晶顯示器（LCD）,觸摸屏,太陽能電池,除霜防霧,保溫、隔熱,電磁屏蔽,軍事領(lǐng)域： 雷達(dá)隱身,THANKS,中國觸摸屏網(wǎng)（),32,中國觸摸屏網(wǎng) 無“觸”不在,您下載的該觸摸屏技術(shù)文檔來自于中國觸摸屏網(wǎng)( ) What you are downloading are from China Touchscreen Site: ( ) 中國觸摸屏網(wǎng)四大版塊： 觸摸屏論壇： 觸摸屏供求商機(jī)： 招聘/找工作求職： 觸摸屏行業(yè)雜志： 1. 觸摸屏論壇：中國觸摸屏網(wǎng)論壇是觸控面板人討論觸摸屏技術(shù)，解決觸摸屏技術(shù)問題，發(fā)布觸摸屏產(chǎn)品供求信息，了解觸摸屏市場(chǎng)動(dòng)態(tài)，觸摸屏廠商招聘和找工作求職的第一平臺(tái)。 2. 觸摸屏供求商機(jī)：免費(fèi)發(fā)布觸摸屏相關(guān)產(chǎn)品：觸控面板、觸摸屏材料、觸摸屏設(shè)備、觸摸屏一體機(jī)、人機(jī)界面、大屏幕顯示器、廣告機(jī)、金融自助設(shè)備、薄膜開關(guān)、電子顯示屏等 3. 招聘/找工作求職：觸摸屏廠商招聘和觸摸屏行業(yè)人才找工作求職，招聘/找工作效果好！ 4. 觸摸屏雜志：觸動(dòng)中國電子雜志聚焦觸控面板行業(yè)資訊、追蹤技術(shù)潮流和市場(chǎng)趨勢(shì)。,
磁控濺射技術(shù)和透明導(dǎo)電薄膜
