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1、磁控濺射鍍膜工藝簡介,2014.6.6,,尖端放電： 通常情況下空氣是不導電的，但是如果電場特別強，空氣分子中的正負電荷受到方向相反的強電場力，有可能被“撕”開，這個現(xiàn)象叫做空氣的電離。由于電離后的空氣中有了可以自由移動的電荷，空氣就可以導電了。空氣電離后產生的負電荷就是電子，失去電子的原子帶正電，叫做正離子。 由于同種電荷相互排斥, 導體上的靜電荷總是分布在表面上，而且一般說來分布是不均勻的(圖2)，導體尖端的電荷特別密集, 所以尖端附近空氣中的電場特別強, 使得空氣中殘存的少量離子加速運動。這些高速運動的離子撞擊空氣分子，使更多的分子電離。這時空氣成為導體，于是產生了尖端放電現(xiàn)象.,一
2、、名詞解釋,輝光放電： 低壓氣體中顯示輝光的氣體放電(空氣中的電子大概在1000對/cm3,由于高壓放電現(xiàn)象在低氣壓狀態(tài)下會產生輝光現(xiàn)象）現(xiàn)象，即是稀薄氣體中的自激導電現(xiàn)象。在置有板狀電極的玻璃管內充入低壓（約幾毫米汞柱）氣體或蒸氣，當兩極間電壓較高（約1000伏）時，稀薄氣體中的殘余正離子在電場中加速，有足夠的動能轟擊陰極，產生二次電子，經(jīng)簇射過程產生更多的帶電粒子，使氣體導電。輝光放電的特征是電流強度較?。s幾毫安），溫度不高，故電管內有特殊的亮區(qū)和暗區(qū)，呈現(xiàn)瑰麗的發(fā)光現(xiàn)象。,一、名詞解釋,等離子體： 將氣體加熱，當其原子達到幾千甚至上萬攝氏度時，電子就會被原子“甩”掉，原子變成只帶
3、正電荷的離子。此時，電子和離子帶的電荷相反，但數(shù)量相等，這種狀態(tài)稱做等離子態(tài) 。大家常見的霓虹燈，在它點亮以 后，燈管里的氣體就被電離了，成為電子與離子的混合物等離子體。極光，是我們看見的大自然里的等離子體。,一、名詞解釋,Sputter濺鍍定義： 在一相對穩(wěn)定真空狀態(tài)下，陰陽極間產生輝光放電，極間氣體分子被離子化而產生帶電電荷，其中正離子受陰極之負電位加速運動而撞擊陰極上之靶材，將其原子等粒子濺出，此濺出之原子則沉積于陽極之基板上而形成薄膜，此物理現(xiàn)象即稱濺鍍。而透過激發(fā)、解離、離子化等反應面產生的分子、原子、受激態(tài)物質、電子、正負離子、自由基、UV光（紫外光）、可見光等物質，而這些物質混合在一起的狀態(tài)就稱之為電漿（Plasma）。下圖為Sputter濺鍍模型（類似打臺球模型）：,一、名詞解釋,二、濺射原理解釋,二、濺射原理解釋,,二、濺射原理解釋,二、濺射原理解釋,三、磁控濺射原理解釋,三、磁控濺射原理解釋,三、磁控濺射原理解釋,三、磁控濺射原理解釋,三、磁控濺射原理解釋,使靶材原子或分子等濺射出來并在管面經(jīng)過吸附、凝結、表面擴散遷移、碰撞結合形成穩(wěn)定晶核。然后再通過吸附使晶核長大成小島，島長大后互相聯(lián)結聚結，最后形成連續(xù)狀薄膜。,三、磁控濺射原理解釋,四、反應濺射,四、反應濺射,四、反應濺射,五、常見薄膜,五、常見薄膜,六、影響薄膜質量的因素,請批評指正，謝謝！,
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